一种用于研磨抛光机的修整环制造技术

一种用于研磨抛光机的修整环，修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与修整环对应使用的工装具有一个凹口，垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，挡片的底部被置于凹口内。通过在修整环的内壁设计一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装设计一个凹口，利用挡片固定修整环和工装的相对位置，解决了研磨过程中修整环与工装发生相对位移的棘手问题。

A dressing ring for grinding and polishing machine

A dressing ring used for grinding and polishing machine has at least one vertical groove on the inner wall of the dressing ring, and the fixture corresponding to the dressing ring has a notch. The position of the vertical groove is opposite to the position of the notch. An L-shaped baffle is placed in the space formed by the vertical groove and the vertical part of the baffle is placed in the vertical groove. Inside, the bottom of the baffle is placed in the notch. By designing a vertical groove on the inner wall of the dressing ring and a notch on the tooling corresponding to the dressing ring, the difficult problem of relative displacement between the dressing ring and the tooling in the grinding process is solved by fixing the relative position of the dressing ring and the tooling with the shield.

【技术实现步骤摘要】
一种用于研磨抛光机的修整环
本技术属于研磨抛光
，特别涉及一种用于研磨抛光机的修整环。
技术介绍
中国专利文献CN101148026A，公开了“一种修整环型智能超精密抛光机，包括机座、抛光盘、驱动电机、测速机构以及智能控制平台、所述抛光盘通过主轴安装在机座上，所述驱动电机的输出轴与主轴传动连接，所述主轴与测速机构传动连接，所述的智能控制平台连接驱动电机和测速机构，所述的超精密抛光机还包括修整环、修整环保持架，所述的修整环内安装用于夹装工件的基盘，所述的修整环位于所述抛光盘的上方，所述的修整环保持架安装在机座上，所述修正环保持架设有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段的两端设有摩擦轮，所述的修整环嵌入所述弧形段并靠接在两个摩擦轮上，且所述修整环与所述弧形段之间有间隙”。然而在实际研磨过程中，上述方案提及的修整环与用于承载研磨零件的工装之间，仅仅依靠相互间的摩擦力来维持位置的相对固定。由于摩擦力在研磨过程中很难保持一致稳定，修整环与工装间的位置时常发生相对移动，看起来是一种不同步的情况，对于研磨过程的控制带来不利影响。
技术实现思路
本技术的实施例提供了一种用于研磨抛光机的修整环，目的在于解决研磨过程中修整环与工装之间发生相对位移的问题。本技术的实施例之一是，一种用于研磨抛光机的修整环，所述修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装具有一个凹口，所述垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，所述挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，所述挡片的底部被置于所述凹口内。进一步的，所述挡片的垂直部与所述修整环的垂直凹槽壁采用螺钉固定连接。所述挡片的垂直部具有用于调节位置的腰形孔。所述修整环的环壁上开有用于流动研磨液的缝隙。本技术的实施例的有益效果之一是，通过在修整环的内壁设计一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装设计一个凹口，利用挡片固定修整环和工装的相对位置，解决了研磨过程中修整环与工装发生相对位移的棘手问题。附图说明通过参考附图阅读下文的详细描述，本技术示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本技术的若干实施方式，其中：图1本技术实施例中涉及的研磨抛光机示意图。图2本技术实施例中修整环结构示意图。1——气缸支架，2——气缸，3——压力盘，4——控制显示器，5——研磨盘，6——第一修整环，7——导轮，8——导轮臂，9——桌面，10——机架，11——工装，111——工件位，100——第二修整环，101——修整环垂直凹槽，102——工装凹口，103——挡片。具体实施方式如图1所示，在一些实施例中，研磨抛光机包括，机架、置于机架上的桌面、以及安装在桌面上的气缸支架。在气缸支架上垂直安装有3个气缸，每个气缸运动部都安装有压力盘。压力盘下方的桌面上，安装有可被电机驱动旋转的研磨盘。在研磨盘的边缘处安装有3个导轮臂，导轮臂的两端各有一个导轮。第一修整环被置于研磨盘上，被导轮臂的导轮夹持。工装被置于修整环内，工装是工件载盘，具有用于放置工件的工件位孔。在研磨工件时，压力盘在气缸驱动下向下移动，正好压住在位于修整环内的工件。修整环被导轮臂的导轮夹持，也处于旋转的状态。研磨盘在电机驱动下旋转对工件进行研磨。研磨控制操作则是通过安装在机架一侧的控制显示器完成的。如图2所示，在一些实施例中，第二修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与第二修整环对应使用的工装具有一个凹口，所述垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，所述挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，所述挡片的底部被置于所述凹口内。挡片的垂直部与所述修整环的垂直凹槽壁采用螺钉固定连接。所述挡片的垂直部具有用于调节位置的腰形孔。这个位置是挡片与修整环的固定的高度，以适应不同的工装尺寸。在至少一个实施例中，所述修整环的环壁上开有用于流动研磨液的缝隙。值得说明的是，虽然前述内容已经参考若干具体实施方式描述了本技术创造的精神和原理，但是应该理解，本技术并不限于所公开的具体实施方式，对各方面的划分也不意味着这些方面中的特征不能组合，这种划分仅是为了表述的方便。本技术旨在涵盖所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装具有一个凹口，所述垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，所述挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，所述挡片的底部被置于所述凹口内。

【技术特征摘要】
1.一种用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述修整环的内壁具有至少一个垂直凹槽，与所述修整环对应使用的工装具有一个凹口，所述垂直凹槽与凹口的位置相对，一个L形挡片被置于垂直凹槽与凹口形成的空间内，所述挡片的垂直部被置于所述垂直凹槽内，所述挡片的底部被置于所述凹口内。2.如权利要求1所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述挡片的垂直部与所述修整环的垂直凹槽壁固定连接。3.如权利要求2所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述挡片的垂直部与所述修整环的垂直凹槽壁采用螺钉固定连接。4.如权利要求3所述的用于研磨抛光机的修整环，其特征在于，所述挡片的垂直部具有用于调节位置的腰形孔。5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永成，
申请(专利权)人：上海致领半导体科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31