一种可以调节施压重心的压力盘及其调节方法技术

本发明专利技术公开一种可以调节施压重心的压力盘及其调节方法，涉及抛光加工技术领域，包括同轴设置的上盘体和下盘体，上盘体用于连接旋转驱动机构，下盘体用于向受压件施压；上盘体与下盘体的边缘固定连接，上盘体与下盘体之间具有与二者同轴的圆柱形空腔；上盘体的中部与下盘体的中部通过连接件进行连接，连接件与上盘体、下盘体同轴设置，用于调节下盘体与上盘体之间的距离，使下盘体在内凹、平整和外凸三种结构形式之间切换；本发明专利技术通过调节连接件，能够对下盘体施压面的形态进行调节，进而调节压力盘的施压重心，适应受压件的形状变化，从而减少受压件的修整次数，提高工作效率，降低修整成本。修整成本。修整成本。

【技术实现步骤摘要】
一种可以调节施压重心的压力盘及其调节方法


[0001]本专利技术涉及抛光加工
，特别是涉及一种可以调节施压重心的压力盘及其调节方法。

技术介绍

[0002]传统研磨/抛光方案使用的压力盘是固定造型，一旦设定好无法轻易改变。在生产过程中，传统压力盘会给研磨件施加一定的压力，从而提高研磨速率。但在研磨过程中，由于研磨件各区域线速度的不同，以及研磨盘或抛光盘的平整度不同，总会使研磨件边缘到中心呈现不同的去除速率，最终使得研磨件外凸或者凹陷，进一步造成产品平行度和平面度未能达到预期要求。
[0003]当研磨件外凸或者凹陷时，只能通过再次研磨或者加工大盘重新获取较高的精准度。但是此方法严重影响工程进度且整体维护成本较大。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种可以调节施压重心的压力盘及其调节方法，以解决现有技术存在的问题，能够对下盘体施压面的形态进行调节，进而调节压力盘的施压重心，适应受压件的形状变化，从而减少受压件的修整次数，提高工作效率，降低修整成本。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：本专利技术提供一种可以调节施压重心的压力盘，包括同轴设置的上盘体和下盘体，所述上盘体用于连接旋转驱动机构，所述下盘体用于向受压件施压；所述上盘体与所述下盘体的边缘固定连接，所述上盘体与所述下盘体之间具有与二者同轴的圆柱形空腔；所述上盘体的中部与所述下盘体的中部通过连接件进行连接，所述连接件与所述上盘体、所述下盘体同轴设置，用于调节所述下盘体与所述上盘体之间的距离，使所述下盘体在内凹、平整和外凸三种结构形式之间切换。
[0006]优选的，所述上盘体和/或所述下盘体的中部同轴设置有圆柱形凹槽。
[0007]优选的，所述连接件包括调节螺栓，所述下盘体的中心位置设置有通孔，所述通孔的外侧同轴设置有用于容纳所述调节螺栓上螺帽的容纳槽，所述容纳槽的深度大于所述螺帽的高度；所述上盘体的中心位置设置有内螺纹孔，所述调节螺栓穿过所述通孔和所述圆柱形空腔连接于所述内螺纹孔中；调节所述调节螺栓拧入所述内螺纹孔中的长度。
[0008]优选的，所述上盘体的边缘与所述下盘体的边缘之间通过均匀设置的若干连接螺栓进行连接。
[0009]优选的，所述调节螺栓的大小大于所述连接螺栓。
[0010]优选的，所述调节螺栓、所述上盘体和所述下盘体均为不锈钢材质。
[0011]本专利技术还提供一种可以调节施压重心的压力盘的调节方法，包括以下步骤：将上盘体与下盘体扣合并利用连接螺母进行连接，调节螺栓拧入内螺纹孔内，使下盘体向下凹陷，且调节螺栓仍有向下拧紧的余量，然后将下盘体的施压面车削平整；当压力盘施压重心需要外移时，拧紧调节螺栓，下盘体的施压面向内凹陷，压力盘的施压重心向外偏移，直至
达到所需要求；当压力盘施压重心需要内移时，松开调节螺栓，下盘体的施压面向外凸起，压力盘的施压重心向内偏移，直至达到所需要求。
[0012]优选的，在拧紧或松开调节螺栓过程中，利用测量元件测量施压面的凹陷或凸起的数值。
[0013]本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0014]1、本专利技术通过调节连接件，能够对下盘体施压面的形态进行调节，进而调节压力盘的施压重心，适应受压件的形状变化，从而减少受压件的修整次数，提高工作效率，降低修整成本；
[0015]2、本专利技术利用调节螺栓对下盘体进行调节，调节结构更加简单，容易实现，便于进行大范围推广。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本专利技术中压力盘的结构示意图；
[0018]图2为下盘体的施压面内凹时的结构示意图；
[0019]图3为下盘体的施压面外凸时的结构示意图；
[0020]其中，1、上盘体；2、下盘体；3、调节螺栓；4、连接螺栓。
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]本专利技术的目的是提供一种可以调节施压重心的压力盘及其调节方法，以解决现有技术存在的问题，能够对下盘体施压面的形态进行调节，进而调节压力盘的施压重心，适应受压件的形状变化，从而减少受压件的修整次数，提高工作效率，降低修整成本。
[0023]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0024]如图1～图3所示，本实施例提供一种可以调节施压重心的压力盘，包括同轴设置的上盘体1和下盘体2，上盘体1用于连接旋转驱动机构，下盘体2用于向受压件施压；上盘体1与下盘体2的边缘固定连接，上盘体1与下盘体2之间具有与二者同轴的圆柱形空腔；上盘体1的中部与下盘体2的中部通过连接件进行连接，连接件与上盘体1、下盘体2同轴设置，用于调节下盘体2与上盘体1之间的距离，使下盘体2在内凹、平整和外凸三种结构形式之间切换。
[0025]使用时，将上盘体1与下盘体2同轴固定，并利用连接件将下盘体2的中部与上盘体1的中部连接。正常工作时，下盘体2的施压面平整。长时间加工后，当受压件呈外凸形状时，
压力盘施压重心需要外移，即增大下盘体2外边缘区域施压能力，则调节连接件使下盘体2施压面向内凹陷，此时压力盘的施压重心则向外偏移，受压件在外边缘承受压力高于中部受到的压力。当受压件呈凹陷形状时，压力盘施压重心需要内移，下盘体2的中心区域先接触受压件，调节连接件使下盘体2向外慢慢凸起。此时压力盘施压重心向内偏移，受压件在中间受到的压力大于在外边缘受到的压力，受压件中部的去处速率提高，抵消受压件内部线速度低，去除量少的情况。
[0026]本实施例中受压件为耐磨盘或抛光盘。
[0027]因此，本实施例通过调节连接件，能够对下盘体2施压面的形态进行调节，进而调节压力盘的施压重心，适应受压件的形状变化，从而减少受压件的修整次数，提高工作效率，降低修整成本。
[0028]本实施例中上盘体1和/或下盘体2的中部同轴设置有圆柱形凹槽，一个或两个圆柱形凹槽形成圆柱形空腔，使得上盘体1和下盘体2之间具有足够的空间供下盘体2向内凹陷。
[0029]进一步的，本实施例中连接件包括调节螺栓3，下盘体2的中心位置设置有通孔，通孔的外侧同轴设置有用于容纳调节螺栓3上螺帽的容纳槽，容纳槽的深度大于螺帽的高度；上盘体1的中心位置设置有内螺纹孔，调节螺栓3穿过通孔和圆柱形空腔连接于内螺纹孔中；调节调节螺栓3拧入内螺纹孔中的长度，进而调节下盘体2的型面。需要说明的是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可以调节施压重心的压力盘，其特征在于，包括同轴设置的上盘体和下盘体，所述上盘体用于连接旋转驱动机构，所述下盘体用于向受压件施压；所述上盘体与所述下盘体的边缘固定连接，所述上盘体与所述下盘体之间具有与二者同轴的圆柱形空腔；所述上盘体的中部与所述下盘体的中部通过连接件进行连接，所述连接件与所述上盘体、所述下盘体同轴设置，用于调节所述下盘体与所述上盘体之间的距离，使所述下盘体在内凹、平整和外凸三种结构形式之间切换。2.根据权利要求1所述的可以调节施压重心的压力盘，其特征在于，所述上盘体和/或所述下盘体的中部同轴设置有圆柱形凹槽。3.根据权利要求1或2所述的可以调节施压重心的压力盘，其特征在于，所述连接件包括调节螺栓，所述下盘体的中心位置设置有通孔，所述通孔的外侧同轴设置有用于容纳所述调节螺栓上螺帽的容纳槽，所述容纳槽的深度大于所述螺帽的高度；所述上盘体的中心位置设置有内螺纹孔，所述调节螺栓穿过所述通孔和所述圆柱形空腔连接于所述内螺纹孔中；调节所述调节螺栓拧入所述内螺纹孔中的长度。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈肖文，
申请(专利权)人：上海致领半导体科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：