真空蒸镀设备及蒸发源装置制造方法及图纸

本公开提供一种真空蒸镀设备及蒸发源装置，涉及真空蒸镀技术领域。本公开的蒸发源装置应用于包括蒸镀腔室的镀膜设备，且该蒸发源装置包括：具有第一开放端的容置腔，所述容置腔朝向所述蒸镀腔室，并且所述第一开放端连接于所述蒸镀腔室的外壁；坩埚，至少部分设于所述容置腔内；喷嘴，连通于所述坩埚，且位于所述容置腔外。本公开的蒸发源装置通过将坩埚部分设置于蒸发腔室外，增加了蒸发源的尺寸，延长了蒸发源的更换周期，生产周期缩短，并可提高产品的产量。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀设备及蒸发源装置
本公开涉及蒸镀
，具体而言，涉及一种真空蒸镀设备及蒸发源装置。
技术介绍
目前，CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池的制造，通常采用通过真空镀膜的工艺，以降低制造成本，提高光电转换效率。现有真空蒸镀设备一般包括蒸镀腔室和蒸发源等，蒸发源安装于蒸镀腔室内，且蒸发源包括可容纳物料的坩埚。但是，受限于蒸发源尺寸的限制，需要频繁的补充蒸发物料，增加生产周期，影响产量。更换蒸发物料的过程中也需要清洁蒸发腔室，进步一部的增加生产周期。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种真空蒸镀设备及蒸发源装置，解决蒸发源的大小受到蒸镀腔室尺寸的限制，生产周期较长的问题。根据本公开的一个方面，提供一种蒸发源装置，应用于包括蒸镀腔室的镀膜设备，所述蒸发源装置包括：具有第一开放端的容置腔，所述容置腔朝向所述蒸镀腔室，并且所述第一开放端连接于所述蒸镀腔室的外壁；坩埚，至少部分设于所述容置腔内；喷嘴，连通于所述坩埚，且位于所述容置腔外。在本公开的一种示例性实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源装置，应用于包括蒸镀腔室的镀膜设备，其特征在于，所述蒸发源装置包括：具有第一开放端的容置腔，所述容置腔朝向所述蒸镀腔室，并且所述第一开放端连接于所述蒸镀腔室的外壁；坩埚，至少部分设于所述容置腔内；喷嘴，连通于所述坩埚，且位于所述容置腔外。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，应用于包括蒸镀腔室的镀膜设备，其特征在于，所述蒸发源装置包括：具有第一开放端的容置腔，所述容置腔朝向所述蒸镀腔室，并且所述第一开放端连接于所述蒸镀腔室的外壁；坩埚，至少部分设于所述容置腔内；喷嘴，连通于所述坩埚，且位于所述容置腔外。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一开放端的外周设有法兰，所述法兰能与所述蒸镀腔室的外壁连接。3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括：加热体，设于所述坩埚和所述容置腔之间，用于对所述坩埚进行加热。4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热体为环绕于所述坩埚外的筒状结构。5.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热体为涂布于所述坩埚外壁的石墨涂层。6.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括：第一隔热层，环绕于所述加热体外，且位于所述加热体和所述容置...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄春泉，周文炎，邹以慧，包立强，丁度泽，
申请(专利权)人：华夏易能广东新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44