下载真空蒸镀设备及蒸发源装置的技术资料

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本公开提供一种真空蒸镀设备及蒸发源装置,涉及真空蒸镀技术领域。本公开的蒸发源装置应用于包括蒸镀腔室的镀膜设备,且该蒸发源装置包括:具有第一开放端的容置腔,所述容置腔朝向所述蒸镀腔室,并且所述第一开放端连接于所述蒸镀腔室的外壁;坩埚,至少部分...
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