一种滚磨单晶硅棒的滚磨机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种滚磨单晶硅棒的滚磨机，它包括机身（1）、设置于机身（1）顶部的横向液压滑台（2）和纵向液压滑台（3），横向液压滑台（2）的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸（4），动力机构的输出端连接有转轴（5），水平油缸（4）的活塞杆（15）的端部旋转安装有轴套（6），轴套（6）的左端面上设置有锥形头（7），锥形头（7）上套有套筒（8），套筒（8）与转轴（5）同轴设置，纵向液压滑台（3）的顶部固定安装有电机A（9），电机A（9）的输出轴上安装有前后设置的砂轮。本实用新型专利技术的有益效果是：结构紧凑、滚磨精度高、快速实现单晶硅棒的工装、能够滚磨不同长度的单晶硅棒、提高滚磨效率。

Rolling mill for rolling single crystal silicon rod

The utility model discloses a rolling mill for grinding monocrystalline silicon rods, which comprises a body (1), a transverse hydraulic slide (2) and a longitudinal hydraulic slide (3) arranged on the top of the body (1), a transverse hydraulic slide (2) on the top surface and a power mechanism and a horizontal hydraulic cylinder (4) respectively arranged on the left and right ends of the transverse hydraulic slide (2). The output end of the mechanism is connected with a rotating shaft (5), the end of the piston rod (15) of the horizontal cylinder (4) is rotated and installed with a shaft sleeve (6), the left end face of the shaft sleeve (6) is provided with a conical head (7), the conical head (7) is sleeved with a sleeve (8), the sleeve (8) is coaxially arranged with the rotating shaft (5), and the top of the longitudinal hydraulic slide table (3). A motor A (9) is fixedly installed, and the output shaft of the motor A (9) is provided with a front and rear grinding wheel. The utility model has the advantages of compact structure, high rolling precision, rapid realization of single crystal silicon rod assembly, rolling and grinding of single crystal silicon rods of different lengths, and improving rolling and grinding efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种滚磨单晶硅棒的滚磨机
本技术涉及单晶硅棒滚磨的
，特别是一种滚磨单晶硅棒的滚磨机。
技术介绍
单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。在制造性能良好的硅单晶方法中，直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片。其中滚磨的目的是利用砂轮将截面为不规整的单晶硅棒打磨成截面为圆形的单晶硅棒，现有的滚磨方式是在机床上进行的，即先利用三爪卡盘夹住单晶硅棒的一端，再在单晶硅棒的另一端面上打一锥形孔，然后将机床尾部的锥头插入于锥形孔中，从而实现了单晶硅棒的工装，转动三爪卡盘，三爪卡盘带动单晶硅棒旋转，同时工人利用砂轮靠在单晶硅棒外表面，从而磨成圆柱状单晶硅棒。然而，这种滚磨方式存在上料工序多的缺陷，降低了生产效率，此外在滚磨过程中还需要工人利用砂轮沿着单晶硅棒的轴线移动，才能对整个单晶硅棒滚磨，增大了工人的劳动强度，进一步降低了滚磨效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种结构紧凑、滚磨精度高、快速实现单晶硅棒的工装、能够滚磨不同长度的单晶硅棒、提高滚磨效率的滚磨单晶硅棒的滚磨机。本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种滚磨单晶硅棒的滚磨机，它包括机身、设置于机身顶部的横向液压滑台和纵向液压滑台，所述横向液压滑台的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸，动力机构的输出端连接有转轴，水平油缸的活塞杆的端部旋转安装有轴套，轴套的左端面上设置有锥形头，锥形头上套有套筒，套筒与转轴同轴设置，所述纵向液压滑台的顶部固定安装有电机A，电机A的输出轴上安装有前后设置的砂轮，该滚磨机还包括控制器，所述控制器与动力机构、水平油缸、横向液压滑台、纵向液压滑台和电机A连接。所述动力机构包括电机B和减速箱，电机B的输出端与减速箱的输入端连接。所述转轴连接于减速箱的输出端。所述横向液压滑台的顶部还设置有导向座。所述水平油缸的活塞杆滑动安装于导向座的导向孔中。本技术具有以下优点：本技术结构紧凑、滚磨精度高、快速实现单晶硅棒的工装、能够滚磨不同长度的单晶硅棒、提高滚磨效率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的主视图；图中，1-机身，2-横向液压滑台，3-纵向液压滑台，4-水平油缸，5-转轴，6-轴套，7-锥形头，8-套筒，9-电机A，10-砂轮，11-电机B，12-减速箱，13-导向座，15-活塞杆，16-单晶硅棒。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的描述，本技术的保护范围不局限于以下所述：如图1~2所示，一种滚磨单晶硅棒的滚磨机，它包括机身1、设置于机身1顶部的横向液压滑台2和纵向液压滑台3，所述横向液压滑台2的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸4，动力机构的输出端连接有转轴5，水平油缸4的活塞杆15的端部旋转安装有轴套6，轴套6的左端面上设置有锥形头7，锥形头7上套有套筒8，套筒8与转轴5同轴设置，所述纵向液压滑台3的顶部固定安装有电机A9，电机A9的输出轴上安装有前后设置的砂轮10。该滚磨机还包括控制器，所述控制器与动力机构、水平油缸4、横向液压滑台2、纵向液压滑台3和电机A9连接，通过控制器能够控制水平油缸4活塞杆的伸出或缩回，进一步改变转轴5与套筒8之间的水平间距，从而利于夹持不同长度的单晶硅棒，同时控制器还能控制横向液压滑台2做往复的左右运动，同时还能控制电机A9和电机B11的启动或关闭。所述动力机构包括电机B11和减速箱12，电机B11的输出端与减速箱12的输入端连接；所述转轴5连接于减速箱12的输出端。所述横向液压滑台2的顶部还设置有导向座13。所述水平油缸4的活塞杆15滑动安装于导向座13的导向孔中。本技术的工作过程如下：将待滚磨单晶硅棒16的左端面抵靠于转轴5的端面上，再控制水平油缸4的活塞杆15向左伸出使套筒8抵靠于单晶硅棒16的右端面上，从而实现了单晶硅棒的快速工装，无需采用三爪卡盘夹持且无需在硅棒尾部钻锥形孔，极大提高了工装效率；工装后，控制纵向液压滑台3伸出使砂轮10接触到单晶硅棒16外表面，随后控制电机A9和电机B11启动，电机A9带动砂轮10做高速旋转运动，电机B11的转矩经减速箱12减速后传递给转轴5，转轴5带动单晶硅棒16绕自身轴线做旋转运动，同时控制横向液压滑台2做左右往复运动，砂轮10滚磨单晶硅棒，经一段时间滚磨后得到柱状单晶硅棒，因此无需人工手持砂轮打磨单晶硅棒，减轻了工人的劳动强度，提高了滚磨效率，提高了滚磨精度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滚磨单晶硅棒的滚磨机，其特征在于：它包括机身（1）、设置于机身（1）顶部的横向液压滑台（2）和纵向液压滑台（3），所述横向液压滑台（2）的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸（4），动力机构的输出端连接有转轴（5），水平油缸（4）的活塞杆（15）的端部旋转安装有轴套（6），轴套（6）的左端面上设置有锥形头（7），锥形头（7）上套有套筒（8），套筒（8）与转轴（5）同轴设置，所述纵向液压滑台（3）的顶部固定安装有电机A（9），电机A（9）的输出轴上安装有前后设置的砂轮（10），该滚磨机还包括控制器，所述控制器与动力机构、水平油缸（4）、横向液压滑台（2）、纵向液压滑台（3）和电机A（9）连接。

【技术特征摘要】
1.一种滚磨单晶硅棒的滚磨机，其特征在于：它包括机身（1）、设置于机身（1）顶部的横向液压滑台（2）和纵向液压滑台（3），所述横向液压滑台（2）的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸（4），动力机构的输出端连接有转轴（5），水平油缸（4）的活塞杆（15）的端部旋转安装有轴套（6），轴套（6）的左端面上设置有锥形头（7），锥形头（7）上套有套筒（8），套筒（8）与转轴（5）同轴设置，所述纵向液压滑台（3）的顶部固定安装有电机A（9），电机A（9）的输出轴上安装有前后设置的砂轮（10），该滚磨机还包括控制器，所述控制器与动力机构、水平油缸（4）、横向...

【专利技术属性】
技术研发人员：王全文，杨蛟，李鹭，
申请(专利权)人：成都青洋电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51