具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备，在抛粗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与镀银槽之间、挖孔槽与脱银槽之间、脱银槽与酸洗槽之间、扩孔槽与碱洗槽之间、碱洗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与慢提槽之间均设置有清水槽，在挂钩进入每个工艺槽之后，增加一个洗钩动作，保持挂钩的清洁，避免了槽体与槽体之间因为挂钩传输引起的污染。本实用新型专利技术具有完善的工艺流程，工艺的严谨性，杜绝了因为挂钩问题引起的酸碱接触，污染槽体，在实际过程中做到真正意义上的酸碱隔离。

【技术实现步骤摘要】
具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备
本技术涉及清洗设备
，尤其是涉及黑硅清洗设备，本技术提供一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备。
技术介绍
现有的黑硅清洗设备中不具有洗钩槽，在机械臂运作时，完全按照从前至后，提篮放篮的顺序进行作业，在工艺槽和清水槽之间没有洗钩动作。挂钩在进入碱槽后会直接进入酸槽，导致槽体间的不必要的反应引起槽体污染；由于缺乏洗钩动作，导致最后酸槽出来的挂钩会直接进入烘干槽提取烘干后的硅片，从而会导致有酸液滴到硅片表面引起酸残留的风险。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了克服现有的黑硅清洗设备中不具有洗钩槽，挂钩在进入碱槽后会直接进入酸槽，导致槽体间的不必要的反应引起槽体污染和导致有酸液滴到硅片表面引起酸残留的风险的问题，提供一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备，包括机械臂和依次设置的抛粗槽、酸洗槽、镀银槽、挖孔槽、脱银槽、酸洗槽、扩孔槽、碱洗槽、酸洗槽、慢提槽、烘干槽，所述抛粗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与镀银槽之间、挖孔槽与脱银槽之间、脱银槽与酸洗槽之间、扩孔槽与碱洗槽之间、碱洗槽与酸洗槽之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备，包括机械臂和依次设置的抛粗槽、酸洗槽、镀银槽、挖孔槽、脱银槽、酸洗槽、扩孔槽、碱洗槽、酸洗槽、慢提槽、烘干槽，其特征在于：所述抛粗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与镀银槽之间、挖孔槽与脱银槽之间、脱银槽与酸洗槽之间、扩孔槽与碱洗槽之间、碱洗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与慢提槽之间均设置有清水槽，机械臂在清洗槽内进行洗钩。

【技术特征摘要】
1.一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备，包括机械臂和依次设置的抛粗槽、酸洗槽、镀银槽、挖孔槽、脱银槽、酸洗槽、扩孔槽、碱洗槽、酸洗槽、慢提槽、烘干槽，其特征在于：所述抛粗槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：虞凯，季九江，张凯胜，姚伟忠，孙铁囤，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32