下载具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备的技术资料

文档序号:19030057

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本实用新型涉及一种具有机械臂洗钩槽的黑硅清洗设备,在抛粗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与镀银槽之间、挖孔槽与脱银槽之间、脱银槽与酸洗槽之间、扩孔槽与碱洗槽之间、碱洗槽与酸洗槽之间、酸洗槽与慢提槽之间均设置有清水槽,在挂钩进入每个工艺槽之后,增加一个...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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