基板载置装置和方法、成膜装置和方法、对准装置和方法以及电子器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板载置装置和方法、成膜装置和方法、对准装置和方法以及电子器件的制造方法。在有机EL显示器的制造中降低将基板载置于载置体时的形变。使用基板载置装置，该基板载置装置具有夹持部件和载置部件，该夹持部件具有用于将基板的周缘部在基板的厚度方向上夹持的多个夹持件，该载置部件用于将基板载置在载置体之上，夹持部件具有可改变多个夹持件的夹持力的夹持力可变部件，夹持力可变部件使多个夹持件中的第一夹持件的夹持力以与多个夹持件中的第二夹持件独立的方式可变。

Substrate-mounted devices and methods, film-forming devices and methods, alignment devices and methods, and manufacturing methods of electronic devices

The invention provides a substrate mounting device and method, a film forming device and method, an alignment device and method, and a manufacturing method of an electronic device. In the manufacture of organic EL display, the deformation of substrate is reduced. Using a substrate mounting device, the substrate mounting device has a clamping part and a loading part, which have a plurality of clamping parts for clamping the periphery of the substrate in the thickness direction of the substrate. The loading part is used to mount the substrate on the loading body, and the clamping part has a clamping force that can change a plurality of clamping parts. The clamping force variable component makes the clamping force of the first clamping part of the plurality of clamping parts variable in a manner independent of the second clamping part of the plurality of clamping parts.

【技术实现步骤摘要】
基板载置装置和方法、成膜装置和方法、对准装置和方法以及电子器件的制造方法
本专利技术涉及基板载置装置、基板载置方法、成膜装置、成膜方法、对准装置、对准方法以及电子器件的制造方法。
技术介绍
在有机EL显示器等电子器件制造中，具有使有机材料蒸镀到基板上的工序。在蒸镀工序中，蒸镀装置利用支承或夹持基板的周缘部(四边)的基板保持单元来支承基板。此外，基板保持单元在支承基板的状态下，使基板与掩模等载置体接触并载置于掩模等载置体。在此，由基板的外周中的一方的相向边部(例如长边部)夹持基板，由基板的外周中的另一方的相向边部(例如短边部)不夹持而仅支承。在专利文献1中记载有通过蒸镀而制造有机EL显示器的装置的一例。专利文献1：日本特开2009-277655号公报在上述的对有机材料等进行蒸镀时的夹持工序中，在将成膜区域设于基板中央部的关系上，能够对基板进行夹持的部位仅限于基板的周缘部。因此，有时由于基板自身的重量而在中央部产生挠曲。特别是近年来，基板的大型化、薄型化得到发展，载置基板时由于基板的自重而导致的挠曲的影响增大。若在产生了挠曲的状态下将基板载置于载置体，则基板会产生形变，为了通过对准而修正该形变要花费时间或有可能造成制造品质降低。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而提出的，其目的在于，在有机EL显示器的制造中降低将基板载置于载置体时的形变。用于解决课题的方案为了上述目的，本专利技术采用以下的技术方案。即，一种基板载置装置，具有夹持部件和载置部件，该夹持部件具有用于将基板的周缘部在所述基板的厚度方向上夹持的多个夹持件；该载置部件用于将基板载置在载置体之上，其特征在于，所述夹持部件还具有可改变所述多个夹持件的夹持力的夹持力可变部件，所述夹持力可变部件使所述多个夹持件中的第一夹持件的夹持力以与所述多个夹持件中的第二夹持件独立的方式可变。本专利技术还采用以下的技术方案。即，一种基板载置方法，具有夹持工序和载置工序，在该夹持工序中，由多个夹持件将基板的周缘部在所述基板的厚度方向上夹持；在该载置工序中，将被夹持的基板载置于载置体，其特征在于，在所述夹持工序中，使多个夹持件中的第一夹持件的夹持力与第二夹持件的夹持力不同地夹持基板。本专利技术还采用以下的技术方案。即，一种基板载置方法，具有夹持工序和载置工序，在该夹持工序中，由夹持件将基板的周缘部在所述基板的厚度方向上夹持；在该载置工序中，将被夹持的基板载置于载置体，其特征在于，在所述夹持工序中，由所述夹持件夹持基板的周缘部中的第一边的内侧，不夹持所述基板的周缘部中的与所述第一边相向的第二边的内侧。专利技术的效果根据本专利技术，能够降低有机EL显示器的制造中基板载置于载置体时的形变。附图说明图1是示意性地表示电子器件的制造装置的结构的一部分的俯视图。图2是示意性地表示成膜装置的结构的剖视图。图3是基板保持单元的立体图。图4是表示有机EL显示装置的构造的图。图5是表示实施例1中的基板的夹持以及载置处理的流程的图。图6是表示在实施例1中对基板施加的夹持力的平面图。图7是表示实施例2中的基板保持单元以及夹持机构的结构的图。图8是表示实施例3的基板的夹持以及载置处理的流程的图。图9是表示实施例4的基板的夹持以及载置处理的流程的图。具体实施方式以下，参照附图说明本专利技术的优选的实施方式以及实施例。但以下的实施方式以及实施例仅例示地表示本专利技术的优选的结构，本专利技术的范围不受这些结构的限定。此外，以下的说明中的、装置的硬件结构以及软件结构、处理流程、制造条件、尺寸、材质、形状等只要没有特别特定的记载，本专利技术的范围就不限定于它们。本专利技术涉及在基板上形成薄膜的成膜装置及其控制方法，特别是涉及用于基板的高精度的搬送以及位置调整的技术。本专利技术能够优选应用于通过真空蒸镀在平行平板的基板的表面形成所希望的图案的薄膜(材料层)的装置。作为基板的材料，能够选择玻璃、树脂、金属等任意的材料，此外，作为蒸镀材料，也能够选择有机材料、无机材料(金属、金属氧化物等)等任意的材料。此外，不仅能够形成有机膜，也能够形成金属膜。具体而言，本专利技术的技术能够应用于有机电子器件(例如，有机EL显示装置、薄膜太阳能电池)、光学构件等的制造装置。特别是由于基板的大型化或显示面板的高精细化，进一步要求提高基板的搬送精度以及基板与掩模的对准精度，因此，有机EL显示装置的制造装置是本专利技术优选的应用例之一。[制造装置以及制造工艺]图1是示意性地表示电子器件的制造装置的结构的一部分的俯视图。图1的制造装置例如用于制造智能手机用的有机EL显示装置的显示面板。在智能手机用的显示面板的情况下，在对例如约1800mm×约1500mm、厚度约0.5mm的尺寸的基板进行了有机EL的成膜后，冲切该基板而制作多个小尺寸的面板。电子器件的制造装置如图1所示，一般具有多个成膜室111、112和搬送室110。在搬送室110内设有保持并搬送基板10的搬送机器人119。搬送机器人119例如是具有在多关节臂上安装有保持基板的机器人手的构造的机器人，进行基板10相对于各成膜室的搬入/搬出。在各成膜室111、112分别设有成膜装置(也称蒸镀装置)。由成膜装置自动地进行与搬送机器人119的基板10的交接、基板10与掩模的相对位置的调整(对准)、基板10向掩模上的固定、成膜(蒸镀)等一连串的成膜工艺。各成膜室的成膜装置虽然在蒸镀源的不同、掩模的不同等细微的点上有不同的部分，但是基本的结构(特别是关于基板的搬送和对准的结构)大致相同。以下，对各成膜室的成膜装置的相同结构进行说明。[成膜装置]图2是示意性地表示成膜装置的结构的剖视图。在以下的说明中，使用以铅垂方向为Z方向的XYZ正交坐标系。在成膜时基板被固定成与水平面(XY平面)平行，以此时的基板的宽度方向(与短边平行的方向)为X方向，以长度方向(与长边平行的方向)为Y方向。此外以θ表示绕Z轴的旋转角。成膜装置具有真空腔200。真空腔200的内部被维持在真空气氛或氮气等非活性气体气氛。在真空腔200的内部，大致设有基板保持单元210、掩模220、掩模台221、冷却板230和蒸镀源240。基板保持单元210是保持-搬送从搬送机器人119接受的基板10的部件，也被称为基板支架。掩模220是具有开口图案的金属掩模，被固定在框状的掩模台221之上，该开口图案与形成在基板10上的规定图案的薄膜图案相对应。成膜时基板10被载置在掩模220之上。因而，掩模220也承担作为载置基板10的载置体的作用。冷却板230是通过成膜时与基板10(的与掩模220相反侧的面)贴紧进而抑制基板10的温度上升来抑制有机材料的变质、劣化的构件。冷却板230也可以兼做磁铁板。所谓磁铁板，是通过利用磁力吸附掩模220从而提高成膜时的基板10与掩模220的贴紧性的构件。蒸镀源240由蒸镀材料、加热器、遮光器、蒸发源的驱动机构、蒸发率监视器等构成(均未图示)。在真空腔200之上(外侧)设有基板Z致动器250、夹具Z致动器251、冷却板Z致动器252、X致动器(未图示)、Y致动器(未图示)、θ致动器(未图示)。这些致动器例如由马达和滚珠丝杠、马达和线性引导件等构成。基板Z致动器250是用于使基板保持单元210的整体升降(Z方向移动)的驱动部件。夹具Z致动器251是用于使基板保持单元21本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板载置装置，具有夹持部件和载置部件，该夹持部件具有用于将基板的周缘部在所述基板的厚度方向上夹持的多个夹持件；该载置部件用于将所述基板载置在载置体之上，其特征在于，所述夹持部件具有可改变所述多个夹持件的夹持力的夹持力可变部件，所述夹持力可变部件使所述多个夹持件中的第一夹持件的夹持力以与所述多个夹持件中的第二夹持件独立的方式可变。

【技术特征摘要】
2017.05.22 JP 2017-1012511.一种基板载置装置，具有夹持部件和载置部件，该夹持部件具有用于将基板的周缘部在所述基板的厚度方向上夹持的多个夹持件；该载置部件用于将所述基板载置在载置体之上，其特征在于，所述夹持部件具有可改变所述多个夹持件的夹持力的夹持力可变部件，所述夹持力可变部件使所述多个夹持件中的第一夹持件的夹持力以与所述多个夹持件中的第二夹持件独立的方式可变。2.根据权利要求1所述的基板载置装置，其特征在于，所述第一夹持件是夹持所述基板的周缘部中的第一边的内侧的夹持件，所述第二夹持件是夹持所述基板的周缘部中的与所述第一边相向的边的内侧的夹持件。3.根据权利要求1所述的基板载置装置，其特征在于，所述第一夹持件是夹持所述基板的周缘部中的第一边的内侧的多个夹持件的一部分，所述第二夹持件是夹持所述基板的周缘部中的与所述第一边相向的第二边的内侧的多个夹持件的一部分。4.根据权利要求1所述的基板载置装置，其特征在于，所述夹持力可变部件是使所述第一夹持件的夹持力与所述第二夹持件的夹持力不同的夹持力可变部件。5.根据权利要求3所述的基板载置装置，其特征在于，夹持所述第一边的内侧的所述多个夹持件的各自的夹持力，比夹持所述第二边的内侧的所述多个夹持件的各自的夹持力强。6.根据权利要求5所述的基板载置装置，其特征在于，所述夹持力可变部件使夹持所述第一边的内侧的所述多个夹持件所包括的第三夹持件的夹持力与所述第一夹持件的夹持力不同。7.根据权利要求1所述的基板载置装置，其特征在于，所述夹持部件的夹持件具有用于支承所述基板的支承件和用于向所述支承件按压所述基板的按压件。8.根据权利要求1所述的基板载置装置，其特征在于，所述载置部件具有用于使所述基板升降的基板升降部件。9.根据权利要求1所述的基板载置装置，其特征在于，所述载置部件具有用于使所述载置体升降的载置体升降部件。10.一种对准装置，其特征在于，该对准装置具有：权利要求1～9中任一项所述的基板载置装置；以及位置调整部件，用于调整所述基板与所述载置体的相对位置。11.根据权利要求10所述的对准装置，其特征在于，所述载置体是为了在所述基板上进行规定图案的成膜而使用的、具有所述规定图案的掩模。12.一种成膜装置，其特征在于，该成膜装置具有权利要求11所述的对准装置，在所述基板上进行所述规定图案的成膜。13.一种基板载置方法，具有夹持工序和载置工序，在该夹持工序中，由多个夹持件将基板的周缘部在所述基板的厚度方向上夹持；在该载置工序中，将被夹持的所述基板载置于载置体，其特征在于，在所述夹持工序中，使多个夹持件中的第一夹持件的夹持力与第二夹持件的夹持力不同地夹持所述基板。14.根据权利要求13所述的基板载置方法，其特征在于，在所述夹持工序中，由所述第一夹持件夹持所述基板的周缘部中的第一边的内侧，由所述第二夹持件夹持所述基板的周缘部中的与所述第一边相向的第二边的内侧。15.根据权利要求13所述的基板载置方法，其特征在于，在所述夹持工序中，所述第一夹持件和所述第二夹持件中的一方的夹持件以所夹持着的所述基板的夹持位置能够移动的夹持...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井博，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP