A fixed-point hydrodynamic pressure measuring system for hydrodynamic suspension polishing is provided. In the hydrodynamic suspension polishing equipment, a groove is arranged in the parallel area below the polishing tool plate and a workpiece is pasted in the groove. The polishing tool plate is installed at the lower end of the ball spline shaft; the system comprises a pressure sensor, a balance adjusting screw and a conductive sliding ring. One of the workpiece positions, together with the opening of the polishing tool plate, is fixed at the position of the workpiece from top to bottom by the pressure transducer for hydraulic pressure measurement. A conductive slip ring is installed on the bead spline shaft, the inner ring of the conductive slip ring cooperates with the ball spline shaft, the outer ring of the conductive slip ring is fixed at the bottom of the intermediate support plate, the connecting wire of the inner ring of the conductive slip ring is connected with the pressure sensor, and the connecting wire of the outer ring of the conductive slip ring is the data output terminal. The utility model has higher accuracy.
【技术实现步骤摘要】
液动压悬浮抛光定点流体压力检测系统
本技术涉及非接触抛光流体压力检测领域,具体而言,涉及一种液动压悬浮抛光流体压力的检测系统。
技术介绍
液动压悬浮抛光方法是应用于原子级超光滑低损伤表面加工的一种抛光方法。在液动压悬浮抛光过程中,抛光工具盘在伺服电机的驱动下旋转并带动液体流动,流动的液体会对黏贴在抛光工具盘底面的试样产生液体压力作用,该液体压力的大小和分布对试样的表面材料去除率和表面均匀性有着重要影响。因此,对抛光加工过程中工件区域的压力测量是研究其作用机制非常有效的手段之一。现有的一种液动压力、浮力及上浮距离检测方法,压力传感器固定在容器底部,在同一圆周方向布置四个,传感器径向位置与试样贴片位置相对应。当抛光工具盘扫掠过传感器位置,传感器以一定的采样频率采集到压力信号。测得的压力信号通过数据采集卡输送到计算机中保存起来。由于该专利方法中的抛光工具盘底面流道结构是周期性的,因此测出来的压力信号也是周期性变化。虽然该压力时间变化具有一定参考价值,但并不是目标固定点(工件位置)的压力。而且传感器布置在容器底部,测得的是容器近底部的液体压力,由于抛光液膜厚的存在,与实际需要测量的工件贴片处的压力存在一定偏差。
技术实现思路
为了克服已有抛光流体压力检测的准确性较低的不足,本技术提供了一种准确性较高的液动压悬浮抛光定点流体压力检测系统,以采集到目标固定点(工件位置)的压力。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种液动压悬浮抛光定点流体压力检测系统,液动压悬浮抛光设备中,抛光工具盘下方的平行区域开有凹槽,所述凹槽内粘贴有工件,所述抛光工具盘安装在滚珠花键轴的下端;所 ...
【技术保护点】
1.一种液动压悬浮抛光定点流体压力检测系统,液动压悬浮抛光设备中,抛光工具盘下方的平行区域开有凹槽,所述凹槽内粘贴有工件,所述抛光工具盘安装在滚珠花键轴的下端;其特征在于:所述系统包括压力传感器、平衡调节螺柱和导电滑环,将其中一个工件位置连同抛光工具盘开孔,用于液动压力测量的压力传感器自上而下固定在该工件位置;在该工件位置对称一侧的位置上,采用相同方式固定平衡调节螺柱,平衡调节螺柱与压力传感器质量和转动惯量相等;在滚珠花键轴上安装导电滑环,导电滑环的内环与滚珠花键轴配合,导电滑环的外环固定在中间支撑板底部,导电滑环的内环的连接线与压力传感器相连接,导电滑环的外环的连接线为数据输出端。
【技术特征摘要】
1.一种液动压悬浮抛光定点流体压力检测系统,液动压悬浮抛光设备中,抛光工具盘下方的平行区域开有凹槽,所述凹槽内粘贴有工件,所述抛光工具盘安装在滚珠花键轴的下端;其特征在于:所述系统包括压力传感器、平衡调节螺柱和导电滑环,将其中一个工件位置连同抛光工具盘开孔,用于液动压力测量的压力传感器自上而下固定在该工件位置;在该工件位置对称一侧的位置上,采用相同方式固定平衡调节螺柱,平衡调节螺柱与压力传感器质量和转动惯量相等;在滚珠花键轴上安装导电滑环,导电滑环的内环与滚珠花键轴配合,导电滑环的外环固定在中间支撑板底部,导电滑环的内环的连接线与压力传感器相连接,导电滑环的外环的连接线为数据输出端。2.如权利要求1所述的液动压悬浮抛光定点流体压力检测系统,其特征在于:所述系统还包括信号调理放大器,所述压力传感器与所...
【专利技术属性】
技术研发人员:尹林志,文东辉,朴钟宇,吴晓峰,薛凯元,
申请(专利权)人:浙江工业大学,
类型:新型
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。