The utility model is a graphite boat pair, including a graphite boat cover plate, a graphite boat chassis, a graphite boat cover plate pair, a medium module and a base for the graphite boat chassis. In this, the graphite boat cover plate is fixed to the middle module and the graphite boat chassis on the base, and the graphite boat cap is covered on the graphite boat chassis and the graphite boat bottom. The disc is centered on the base through the graphite boat cover plate alignment module and the graphite boat chassis alignment module. Advantages: 1, complete the graphite boat's alignment without increasing the steps of the manipulator and reducing the production capacity. 2, solved the problem of scrap discard caused by the position change of the graphite boat due to the aging and instability of the equipment. 3, improve the stability of Shi Mozhou's position in the chamber.
【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟对中装置
本技术涉及一种石墨舟对中装置,属于半导体
技术介绍
在半导体晶圆制备中,器件与外部的连接需要具有欧姆接触的金属电极来完成,因此在金属蒸发后需要快速退火来改善金属与半导体欧姆接触。对于化合物晶片的制程一般要在200℃-900℃,而快速退火炉是进行金属电极合金化的核心设备。由于化合物半导体材料不能像硅片那样充分吸收光的能量,所以在化合物半导体退火工艺中,我们通常将晶片放置到石墨舟里,然后再将石墨舟放置腔室内进行工艺。原有结构由于设备的使用与老化,机械手的传输不一定那么稳定,或者机械的水平、设备的水平发生问题的时候,不可避免的会发生石墨舟的盖板偏移、底盘偏移。这样会严重影响合金、退火晶片的均匀性,导致晶片报废。偏移更有甚者会导致盖板掉落破碎,或者压到晶片导致晶片破裂。通常做法会对晶片做一个对中,但是目前还未有对载具做对中的方案。
技术实现思路
本技术提出了一种石墨舟对中装置,旨在通过结构设计实现石墨舟底盘及盖板的自对中,减少晶片碎片,提高工艺稳定性。本技术的技术方案:一种石墨舟对中装置,其结构包括石墨舟盖板1,石墨舟底盘9,石墨舟盖板对中模块10,石墨舟底盘对中模块11和底座6;其中,石墨舟盖板对中模块10和石墨舟底盘对中模块11固定于底座6上,石墨舟盖板1盖于石墨舟底盘9上,石墨舟底盘9通过石墨舟盖板对中模块10和石墨舟底盘对中模块11对中于底座6上。本技术的有益效果:1、在不增加机械手步骤降低产能的情况下完成石墨舟的对中。2、解决了由于设备老化、不稳定导致石墨舟位置变动导致的晶片报废的情况。3、提高了石墨舟在腔室内位置的稳定性。附图说明 ...
【技术保护点】
1.一种石墨舟对中装置,其特征是包括石墨舟盖板,石墨舟底盘,石墨舟盖板对中模块,石墨舟底盘对中模块和底座;其中,石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块固定于底座上,石墨舟盖板盖于石墨舟底盘上,石墨舟底盘通过石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块对中于底座的中央。
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟对中装置,其特征是包括石墨舟盖板,石墨舟底盘,石墨舟盖板对中模块,石墨舟底盘对中模块和底座;其中,石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块固定于底座上,石墨舟盖板盖于石墨舟底盘上,石墨舟底盘通过石墨舟盖板对中模块和石墨舟底盘对中模块对中于底座的中央。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置,其特征在于:所述石墨舟盖板对中模块有3个。3.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置,其特征在于:所述石墨舟底盘对中模块有3个。4.根据权利要求1所述的一种石墨舟对中装置,其特征在于:所述石墨舟底盘上有通孔,对中模块预留槽,石墨舟盖板取样槽,石墨舟盖板边槽,晶片边槽和取晶片预留槽;其中,石墨舟底盘的圆周上表面有石墨舟盖板边槽,石墨舟盖板取样槽位于石墨舟底盘上表面,石墨舟盖板取样槽连接石墨舟盖板边槽和晶片边槽,石墨舟底盘中部上表面有晶片边槽,取晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:夏久龙,周明祥,王向阳,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第五十五研究所,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。