线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置包括：长的圆筒形波导管；电介质层，以与上述圆筒形波导管的外部面相接触的方式包围上述圆筒形波导管；以及第一磁控管及第二磁控管，用于向上述圆筒形波导管的两端供给电磁波，上述圆筒形波导管包括沿着长度方向形成的2个以上的狭缝。若使用这种线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置，则随着使用圆形波导管，可使为了维持圆形波导管的内部和外部的压力差而设置的电介质层的厚度薄，由此，从圆形波导管放射的电磁波的衰减减少，可增加电磁波的强度。

Linear electromagnetic wave plasma source and plasma processing device using the same

A linear electromagnetic wave plasma source and a plasma treatment device used in the invention include a long cylindrical wave tube, and a dielectric layer that surrounds the above cylindrical wave catheter in contact with the external face of the cylindrical wave tube, and the first magnetron and the two magnetic control tube for the above cylindrical wave tube. The two ends provide electromagnetic waves, and the cylindrical wave guides include more than 2 slits formed along the length direction. With the use of such a linear electromagnetic wave plasma source and the use of the plasma processing device, the thickness of the dielectric layer is thinner with the use of a circular waveguide tube to maintain the internal and external pressure of the circular waveguide, thereby reducing the attenuation of electromagnetic waves from the circular waveguide and increasing the power of electricity. The intensity of the magnetic wave.

【技术实现步骤摘要】
线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置
本专利技术涉及线性电磁波等离子体源即使用其的等离子体处理装置，更详细地，涉及如下的等离子体源和将其利用于被处理对象的等离子体处理装置：设置有两侧呈开放状的圆形波导管和以紧贴的方式包围其的圆形电介质管，电磁波通过位于圆形波导管的两侧的多个磁控管向圆形波导管的内部传递，形成于圆形波导管的多个狭缝通过电介质层放射电磁波，由此，产生等离子体。
技术介绍
通常，等离子体被定义为不是固体、液体及气体的第四物质，为气体的一部分被电离的气体，等离子体内具有自由电子、阳离子、中性子及中心分子，它们之间产生不间断的相互作用，因此，各自的成分和浓度控制很重要。若以工程学视角观察等离子体，则当做可通过外部电磁场形成及控制的气体区域。为了将这种等离子体向如基板的被处理对象放射而制造的机构称为等离子体源，等离子体源根据产生等离子体的方式分为电子回旋共振(ECR：ElectronCyclotronResonance)等离子体源、反应离子刻蚀(RIE：ReactiveIonEtching)源、电容耦合等离子体(CCP：CapacitivelyCoupledPlasma本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线性电磁波等离子体源，其特征在于，包括：长的圆筒形波导管；电介质层，以与上述圆筒形波导管的外部面相接触的方式包围上述圆筒形波导管；以及第一磁控管及第二磁控管，用于向上述圆筒形波导管的两端供给电磁波，上述圆筒形波导管包括沿着长度方向形成的2个以上的狭缝。

【技术特征摘要】
2016.12.23 KR 10-2016-01778341.一种线性电磁波等离子体源，其特征在于，包括：长的圆筒形波导管；电介质层，以与上述圆筒形波导管的外部面相接触的方式包围上述圆筒形波导管；以及第一磁控管及第二磁控管，用于向上述圆筒形波导管的两端供给电磁波，上述圆筒形波导管包括沿着长度方向形成的2个以上的狭缝。2.根据权利要求1所述的线性电磁波等离子体源，其特征在于，线性电磁波等离子体源包括：第一模式转换器及第二模式转换器，位于上述圆筒形波导管的两端，以能够进行电磁波传输的方式分别相连接，用于将直角波导管的模式切换为圆筒形波导管模式；以及第一直角波导管及第二直角波导管，以能够进行电磁波传输的方式分别与上述第一模式转换器及第二模式转换器相连接，上述第一磁控管及第二磁控管向上述第一直角波导管及第二直角波导管提供电磁波。3.根据权利要求1所述的线性电磁波等离子体源，其特征在于，上...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘铉钟，
申请(专利权)人：韩国基础科学支援研究院，
类型：发明
国别省市：韩国,KR