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本发明线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置包括：长的圆筒形波导管；电介质层，以与上述圆筒形波导管的外部面相接触的方式包围上述圆筒形波导管；以及第一磁控管及第二磁控管，用于向上述圆筒形波导管的两端供给电磁波，上述圆筒形波导管包括沿着...
该专利属于韩国基础科学支援研究院所有，仅供学习研究参考，未经过韩国基础科学支援研究院授权不得商用。

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