高频激励脉冲产生等离子或激光脉冲方法设备和控制单元技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于借助高频激励脉冲产生等离子脉冲或激光脉冲的方法和设备、尤其气体放电激光器、以及用于高频激励脉冲发生器的控制单元
本专利技术涉及一种用于借助高频激励脉冲产生等离子脉冲或激光脉冲的方法和设备、尤其气体放电激光器，其中，为了满足等离子脉冲或激光脉冲预给定值借助高频激励脉冲激励介质。此外，本专利技术涉及一种用于高频激励脉冲发生器的控制单元和一种具有这种控制单元的高频激励脉冲发生器。
技术介绍
已知，在产生激光脉冲的情况下发生激光介质的改变，所述改变例如在所产生的激光脉冲的功率方面发生作用。也就是说，相同的激励脉冲在同样的激光射束产生器的情况下不一直导致相同的输出激光脉冲。一种已知的措施是所谓的“预燃”(Simmern)，以便提升改变的激光介质在通过高频激励脉冲产生的输出激光脉冲的可重复性方面的影响。在预燃的情况下，在用于产生激光输出脉冲的激励脉冲之间附加地通过短的预燃脉冲激励激光介质，其中，但是，通过预燃脉冲的激励保持在激光发射的阈值以下。由此使激光介质保持在尽可能恒定的状态(接近激励阈值)。预燃例如在US2012/189031A1中描述。在DE11201300202...
【技术保护点】
一种用于借助高频激励脉冲(13)产生等离子脉冲或激光脉冲(14)的方法，其中，为了满足等离子脉冲或激光脉冲预给定值(11)借助高频激励脉冲(13)激励介质(2)，其中，至少部分地根据所述介质(2)的先前高频激励确定所述高频激励脉冲(13)，其特征在于，至少部分地如此实现所述高频激励脉冲(13)的确定，使得所述介质(2)的通过所述先前高频激励的剩余激励越高，则使所述高频激励脉冲(13)越强烈地能量降低。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于借助高频激励脉冲(13)产生等离子脉冲或激光脉冲(14)的方法，其中，为了满足等离子脉冲或激光脉冲预给定值(11)借助高频激励脉冲(13)激励介质(2)，其中，至少部分地根据所述介质(2)的先前高频激励确定所述高频激励脉冲(13)，其特征在于，至少部分地如此实现所述高频激励脉冲(13)的确定，使得所述介质(2)的通过所述先前高频激励的剩余激励越高，则使所述高频激励脉冲(13)越强烈地能量降低。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，使所述高频激励脉冲(13)至少部分地能量降低，其方式是：将所述高频激励脉冲(13)缩短，尤其在改变所述高频激励脉冲的开始时刻和/或结束时刻的情况下将所述高频激励脉冲缩短。3.根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过所述高频激励脉冲(13)，激励气体放电激光器的激光介质(2)、优选CO或CO2气体放电激光器的激光介质和/或通电的气体放电激光器(1)的激光介质。4.根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，为了确定所述高频激励脉冲(13)，使用高频激励脉冲(13)的开始与由此产生的等离子脉冲或激光脉冲(14)的开始之间的滞后时间(tv)的量度，其中，优选根据所述介质(2)的剩余激励的量度确定所述滞后时间(tv)的量度。5.根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，为了确定所述高频激励脉冲(13)，动用所存储的计算模型，优选地以便确定所述介质(2)的剩余激励的量度和/或高频激励脉冲(13)的开始与由此产生的等离子脉冲或激光脉冲(14)的开始之间的滞后时间(tv)的量度。6.根据以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，为了确定所述介质(2)的剩余激励的量度...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·舒尔茨，T·贝克，
申请(专利权)人：通快激光与系统工程有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。