一种微波等离子体激发装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微波等离子体激发装置，包括磁控管、转换器、微波窗口和腔体，所述磁控管的输出端与转换器的输入端通过第一微波传输机构连通，所述转换器的输出端通过第二微波传输机构与微波窗口对接，所述微波窗口置于腔体上，所述第二微波传输机构的底侧设有出风口；还包括气冷系统，气冷系统将气体导向磁控管，所述气体依次流过磁控管、第一微波传输机构、转换器和第二微波传输机构后从出风口流出。本发明专利技术冷却效果好，通过气冷系统对装置整体进行冷却，同时对装置各部位进行冷却降温，有利于装置精密度的提升和装置的持续正常工作；在磁控管、转换器和微波窗口等热量集中位置辅设相应冷却液流道，可进一步提升降温效果，提升使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体激发装置
本专利技术涉及一种微波等离子体激发装置，特别是涉及一种微波等离子体激发装置的冷却系统。
技术介绍
微波加热、激发相比于其他加热、激发方式具有速度快、均匀性好、操作方便、洁净性好、节能环保等优势，因此微波系统被广泛应用于加热、离子激发设备。一般地，微波系统包括微波源、微波传导系统，在部分设备中还包括了耦合天线系统、微波窗口等部件。微波系统中的磁控管、变压器等部件是主要的发热部件，而微波磁控管的使用温度过高会大大降低磁控管的使用寿命，现有技术中，往往采用单一的水冷或风冷的冷却方式，而水冷要达到足够好的冷却效果，需要铺设大量/大面积的冷却水流道，大量/大面积的冷却水流道的铺设对设备的使用设计造成较大限制，而且单一水冷却效果欠佳，不能满足冷却要求。同时，单一的水冷方式也会大幅度缩短微波传输系统、微波窗口等部件的使用寿命。现有技术中，微波窗口处的冷却一般仅仅采用冷却水进行冷却，然而微波窗口的面积较大，而且窗口材料（如石英）往往导热系数不高，从而导致微波窗口中心温度降低困难，材料温度分布不均匀，从而导致材料内应力、腐蚀、体积变化等问题，对材料的使用寿命和密封效果产生不好本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微波等离子体激发装置，包括磁控管（2）、转换器（6）、微波窗口（14）和腔体（7），所述磁控管（2）的输出端与转换器（6）的输入端通过第一微波传输机构（3）连通，所述转换器（6）的输出端通过第二微波传输机构（13）与微波窗口（14）对接，所述微波窗口（14）置于腔体（7）上，其特征在于，所述第二微波传输机构（13）的底侧设有出风口（9）；还包括气冷系统（1），气冷系统（1）将气体导向磁控管（2），所述气体依次流过磁控管（2）、第一微波传输机构（3）、转换器（6）和第二微波传输机构（13）、微波窗口（14）后从出风口（9）流出。

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体激发装置，包括磁控管（2）、转换器（6）、微波窗口（14）和腔体（7），所述磁控管（2）的输出端与转换器（6）的输入端通过第一微波传输机构（3）连通，所述转换器（6）的输出端通过第二微波传输机构（13）与微波窗口（14）对接，所述微波窗口（14）置于腔体（7）上，其特征在于，所述第二微波传输机构（13）的底侧设有出风口（9）；还包括气冷系统（1），气冷系统（1）将气体导向磁控管（2），所述气体依次流过磁控管（2）、第一微波传输机构（3）、转换器（6）和第二微波传输机构（13）、微波窗口（14）后从出风口（9）流出。2.根据权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述磁控管（2）的周围设有第一冷却液流道，所述第一冷却液流道与冷却液供应机构连通。3.根据权利要求2所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述冷却液体包括水、乙二醇型冷却液、甘油型冷却液、酒精...

【专利技术属性】
技术研发人员：范杰，黄翀，
申请(专利权)人：长沙新材料产业研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43