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本发明涉及一种微波等离子体激发装置，包括磁控管、转换器、微波窗口和腔体，所述磁控管的输出端与转换器的输入端通过第一微波传输机构连通，所述转换器的输出端通过第二微波传输机构与微波窗口对接，所述微波窗口置于腔体上，所述第二微波传输机构的底侧设有...
该专利属于长沙新材料产业研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙新材料产业研究院有限公司授权不得商用。

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