一种共面解耦的XY高精运动平台制造技术

本发明专利技术实施例提供了一种共面解耦的XY高精运动平台，通过将第一底座、第一运动组件、第二底座、第二运动组件和动平台以层叠式的结构呈现，能够有效利用空间、精简整个平台的架构并简化组件的组成，且由于第一运动组件和第二运动组件的运动方向垂直，将动平台拆成三块子组件，通过第一运动组件和第二运动组件的各自运动来控制动平台的整体运动以及子组件之间的相对运动，在同一平面对宏微两级(共四个驱动源)并行驱动实现双重解耦，实现XY方向上的宏微复合运动，实现平面空间位置的精准定位。

A XY high precision motion platform with coplanar decoupling

The embodiment of the invention provides a XY high precision motion platform which is coplanar decoupling. By presenting the first base, the first motion component, the second base, the second motion component and the moving platform, it can effectively use space, simplify the structure of the whole platform and simplify the composition of the components, and the first movement component The moving platform is perpendicular to the motion direction of the second motion component, and the moving platform is dismantled into three sub components. Through the motion of the first motion component and the second motion component, the whole motion of the moving platform and the relative motion between the sub components are controlled. The realization of the dual decoupling of the macro micro two level (a total of four driving sources) is realized in the same plane. Now the macro and micro compound movement in the direction of XY is to realize the precise location of the plane space position.

【技术实现步骤摘要】
一种共面解耦的XY高精运动平台
本专利技术涉及微电子制造加工领域，尤其涉及一种共面解耦的XY高精运动平台。
技术介绍
随着微电子制造业的高速发展，微电子产品高质量高产能的制造，微电子制造装备对其核心运动平台及系统在空间利用率、行程、速度、加速度、运动稳定性等方面提出了极高的综合性要求。现有的XY平台大多采用两个电机串联的模式组合而成，结构系统不紧凑，空间利用率不高，并存在着连带环节冗杂，运动组件多，负载大等缺陷，难以很好的满足高速运动与精密定位要求。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种共面解耦的XY高精运动平台，能够有效利用空间，并能实现在高速运动环境下的精密定位。本专利技术提供了一种共面解耦的XY高精运动平台，包括：第一底座、第二底座、第一运动组件、第二运动组件和动平台；所述第一底座、所述第一运动组件、所述第二底座、所述第二运动组件和所述动平台从下往上依次层叠设置；所述第一运动组件的第一运动方向和所述第二运动组件的第二运动方向相互垂直；所述动平台由子动平台、第一辅助运动件和第二辅助运动件两两之间连接构成；所述第一运动组件用于带动所述动平台进行沿所述第一运动方向的宏运动；所述第二运本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，包括：第一底座、第二底座、第一运动组件、第二运动组件和动平台；所述第一底座、所述第一运动组件、所述第二底座、所述第二运动组件和所述动平台从下往上依次层叠设置；所述第一运动组件的第一运动方向和所述第二运动组件的第二运动方向相互垂直；所述动平台由子动平台、第一辅助运动件和第二辅助运动件两两之间连接构成；所述第一运动组件用于带动所述动平台进行沿所述第一运动方向的宏运动；所述第二运动组件用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第二运动方向的宏运动；所述第一运动组件还用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所...

【技术特征摘要】
1.一种共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，包括：第一底座、第二底座、第一运动组件、第二运动组件和动平台；所述第一底座、所述第一运动组件、所述第二底座、所述第二运动组件和所述动平台从下往上依次层叠设置；所述第一运动组件的第一运动方向和所述第二运动组件的第二运动方向相互垂直；所述动平台由子动平台、第一辅助运动件和第二辅助运动件两两之间连接构成；所述第一运动组件用于带动所述动平台进行沿所述第一运动方向的宏运动；所述第二运动组件用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第二运动方向的宏运动；所述第一运动组件还用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第一运动方向的微运动；所述第二运动组件还用于在所述第一辅助运动件和所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台进行沿所述第二运动方向的微运动。2.根据权利要求1所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一运动组件包括：第一宏运动件和与所述第一宏运动件弹性连接的第一宏微运动件，两者之间设有第一压电陶瓷；所述第二运动组件包括：第二宏运动件和与所述第二宏运动件弹性连接的第二宏微运动件，两者之间设有第二压电陶瓷。3.根据权利要求2所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一宏运动件上具有第一延伸件，所述第一延伸件具有第一空槽；所述第一宏微运动件上具有容纳所述第一延伸件的第一空腔，所述第一空腔上设有用于嵌入所述第一空槽非端部的第一凸起；所述第二宏运动件上具有第二延伸件，所述第二延伸件具有第二空槽；所述第二宏微运动件上具有容纳所述第二延伸件的第二空腔，所述第二空腔上设有用于嵌入所述第二空槽非端部的第二凸起。4.根据权利要求3所述的共面解耦的XY...

【专利技术属性】
技术研发人员：高健，张金迪，钟永彬，张揽宇，刘亚超，陈新，陈云，汤晖，贺云波，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44