晶圆凸点制造挂具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆凸点制造挂具，安装在电镀槽边导电夹具上，用于晶圆凸点的生长和制造，解决了现有晶圆挂具结构复杂、成本高、对不同尺寸晶圆片更换不方便的问题。包括挂具主体板（１０），主体板（１０）和把手（１４）上固定设置有导电板（１２），主体板（１０）设置有一圆形导电盘（８），导电板（１２）与导电盘（８）固定连接，在导电盘周围的主体板（１０）上嵌套有螺纹套（９），法兰（２）通过紧固塑料螺钉（１）和螺纹套（９）将晶圆片固定在主体板（１０）上的导电盘（８）上，在法兰（２）的外圈与主体板（１０）之间设置有密封圈（３），在法兰的内圈与导电盘（８）之间设置有密封圈（４）。适合于各种晶圆片凸点的制造。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶圆凸点制造挂具，包括挂具主体板（１０）、在主体板（１０）的上方固定设置的把手（１４）及把手上方的固定块（１３），其特征在于，在所述的主体板（１０）和把手（１４）上固定设置有导电板（１２），在挂具主体板（１０）的前面板的中部固定设置有一圆形导电盘（８），导电板（１２）与导电盘（８）固定连接，在导电盘周围的主体板（１０）上嵌套有金属罗纹套（９），法兰（２）通过紧固塑料螺钉（１）和金属罗纹套（９）将晶圆片固定在挂具主体板（１０）上的导电盘（８）上，在法兰（２）的外圈与主体板（１０）之间设置有密封圈（３），在法兰（２）的内圈与导电盘（８）之间设置有密封圈（４）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：欧萌，景璀，张蕾，魏红军，杨振，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二研究所，
类型：实用新型
国别省市：14[中国|山西]