下载晶圆凸点制造挂具的技术资料

文档序号:1826006

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本实用新型提供了一种晶圆凸点制造挂具,安装在电镀槽边导电夹具上,用于晶圆凸点的生长和制造,解决了现有晶圆挂具结构复杂、成本高、对不同尺寸晶圆片更换不方便的问题。包括挂具主体板(10),主体板(10)和把手(14)上固定设置有导电板(12),...
该专利属于中国电子科技集团公司第二研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二研究所授权不得商用。

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