真空腔的密闭装置制造方法及图纸

一种真空腔的密闭装置，由用以移动一升降框架的复数个长程气缸和一阀门组成，其特征在于：升降框架固设有复数个第一活塞杆与导杆以及至少一个短程气缸，其中第一活塞杆的另一端轴设于长程气缸，长程气缸可带动升降框架沿一固定方向移动，导杆的另一端装设有支撑架，每一短程气缸轴设有第二活塞杆，第二活塞杆平行于导杆和第一活塞杆，第二活塞杆可沿导杆的一平行方向移动，且每一第二活塞杆经由一转动杆和至少一传动杆连接至一连动杆，其中转动杆具有一较接近传动杆的支轴，支轴枢接于支撑架，转动杆的一端枢接第二活塞杆，转动杆的另一端枢接于传动杆，传动杆枢接于连动杆的中间部位，连动杆的两端分别枢接有至少一个转向机构；阀门枢接有转向机构。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种真空处理设备，如大型光电或半导体镀膜制造过程中的真空处理设备，特别涉及一种真空腔的密闭装置。本技术的另一目的在于提供一种真空腔的密闭装置，利用用以升降阀门的第一活塞杆与用以密闭阀门的第二活塞杆与导杆互相平行排列，使得壳体能呈扁平化设计，故本技术的真空腔的密闭装置具有超薄的型态，且其开启与密闭动作均不影响自动机械手臂的活动空间。本技术的目的是通过以下技术手段实现的一种真空腔的密闭装置，由用以移动一升降框架的复数个长程气缸和一阀门组成，其特征在于升降框架固设有复数个第一活塞杆与导杆以及至少一个短程气缸，其中第一活塞杆的另一端轴设于长程气缸，长程气缸可带动升降框架沿一固定方向移动，导杆的另一端装设有支撑架，每一短程气缸轴设有第二活塞杆，第二活塞杆平行于导杆和第一活塞杆，第二活塞杆可沿导杆的一平行方向移动，且每一第二活塞杆经由一转动杆和至少一传动杆连接至一连动杆，其中转动杆具有一较接近传动杆的支轴，支轴枢接于支撑架，转动杆的一端枢接第二活塞杆，转动杆的另一端枢接于传动杆，传动杆枢接于连动杆的中间部位，连动杆的两端分别枢接有至少一个转向机构；阀门枢接有转向机构。所述的一种真空腔的密闭装置的每一转向机构包含有一滑块、一支撑块和一推块，推块固设于阀门，滑块的第一端枢接于连动杆，且滑块的第一端枢接杆活动于支撑架的长透槽，滑块的第二端枢接于固设在阀门的推块，且滑块的中间点枢接于支撑块，而支撑块的另一端枢接至支撑架。支撑架包含一供转动杆的支轴枢接的固定横杆。阀门设有一环垫。所述的一种真空腔的密闭装置还包含一推杆以及枢接推杆两端的第二传动杆，其中推杆的中间部位枢接第二活塞杆，并且第二传动杆枢接转动杆的另一端。所述的一种真空腔的密闭装置由一扁平的壳体、一阀门、一密闭装置、一升降装置组成，其中壳体具有一开口；阀门装设于壳体内，阀门结合有复数个转向机构；密闭装置包含有一升降框架、一支撑架以及固定连接升降框架和支撑架的导杆，升降框架上装设有至少一个短程气缸以定点移动第二活塞杆，第二活塞杆能带动至少一转动杆、一传动杆及一连动杆，转动杆的支轴枢接于支撑架，传动杆枢接转动杆与连动杆的中间部位，而连动杆的两端分别枢接有转向机构以作动转向机构而密闭壳体的开口；升降装置包含有复数个长程气缸以定点移动第一活塞杆，第一活塞杆的一端连接密闭装置的升降框架用以升降移动该阀门与密闭装置，其中第一活塞杆平行于第二活塞杆。壳体具有一导向板以供导杆和第二活塞杆穿过。支撑架形成有供滑块的第一端枢接杆活动的长透槽。附图说明图1为本技术一实施例的立体透视图图2为本技术一实施例的真空腔的密闭装置在开启状态的正面透视图图3为沿图2之3-3剖线的截面图图4为本技术一实施例的真空腔密闭装置在移动定位时的正面透视图图5为沿图4之5-5剖线的截面图图6为本技术一实施例的真空腔的密闭装置在密闭状态的正面透视图图7为沿图6之7-7剖线的截面图图8为本技术的另一实施例的正面透视图密闭装置是用来密闭该阀门140的，其包含有一升降框架130和一支撑架132，升降框架130的较内侧固设有两导杆131，导杆131穿过壳体150的导向板152，且导杆131的另一端固定结合至壳体150内的支撑架132，支撑架132形成有复数个长透槽133，以供转向机构160的滑块162的第一端162a枢接杆活动(如图3所示)，支撑架132并包含有一固定横杆134，以供支轴136枢接转动杆123，此外，导向板152在导杆131和第二活塞杆121的穿套部位装设有O型环135，以增进气密与机械定位的缓冲效果。此外，在升降框架130装设有至少一个短程气缸120，以定点移动第二活塞杆121，在本实施例中，升降框架130装设有两个短程气缸120，其穿接两个第二活塞杆121，当短程气缸120进行定点移动第二活塞杆121时，第二活塞杆121依导杆131的一平行方向移动(如图4和图6所示)，而这些第一活塞杆111、第二活塞杆121与导杆131均相互平行，故真空腔的密闭装置可为扁平的设计。如图2和图3所示，第二活塞杆121穿过壳体150的导向板152并枢接至一转动杆123的一端，转动杆123以支轴136枢接于支撑架132的固定横杆134，而转动杆123的另一端枢接至一传动杆124，最好是支轴136接近传动杆124，使得转动杆123具有杠杆作用的传动效果，且传动杆124的一端枢接连动杆122的中间部位，连动杆122的两端分别枢接有至少一个转向机构160，利用转向机构160使阀门140水平移动，以密闭壳体150的开口151。如图3和图7所示，每一转向机构160包含有一滑块162、一支撑块163和一推块161，推块161固设于阀门140，而滑块162的第二端162C枢接于推块161，滑块162的第一端162a枢接于连动杆122，且在滑块第一端162a的枢接杆被支撑架132的长透槽133限位活动，且滑块162的中间点162b枢接于支撑块163，而支撑块儿163的另一端枢轴163a枢接至支撑架132。当上述真空腔的密闭装置100在开启状态时，如图2和图3所示，长程气缸110定点直线伸出第一活塞杆111，使得升降框架130往远离长程气缸110的方向移动，同时阀门140亦远离壳体150的开口151，而打开腔门，如图3所示，在移动过程中，转向机构160的滑块162的第一端162a与支撑块163的枢轴163a保持在较大的间隔，使得阀门140稍微缩回而与壳体150开口151的密闭面呈一间隙，使得移动阀门140时不摩擦接触壳体150。当欲密闭真空腔时，启动升降装置，以执行一上升动作，如图4和图5所示，长程气缸110定点直线缩回第一活塞杆111，使得升降框架I30往接近长程气缸110的方向移动，同时阀门140往开口151移动，此时，如图5所示，短程气缸120仍未作动，故转向机构160的滑块162第一端162a与支撑块163的枢轴163a仍保持在较大的间隔，使得阀门140与壳体150开口151呈一未密闭的间隙，故阀门140在不需要摩擦接触壳体150的情况下，顺利地定位移动阀门140至开口151处可水平闭合位置。之后，为了完全密闭壳体150的开口151，在第一活塞杆111移动至定位点之后，启动密闭装置，以进行一密闭动作，如图6和图7所示，第二活塞杆121连接一转动杆123的一端，转动杆123以支轴136枢接于支撑架132的固定横杆134，转动杆123的另一端枢接一传动杆124，再由传动杆124连接至一连动杆122，当第二活塞杆121被短程气缸120定位控制伸出，转动杆123以支轴136为轴心转动并同步带动传动杆124与连动杆122，并经由连动杆122带动转向机构160，使得转向机构160的滑块162的第一端162a往支撑块163的枢轴163a接近，当滑块162的第一端162a与支撑块163的枢轴163a之间具有一较小的间隔时，依据卡登圆变向原理，转向机构160滑块162的第二端162C往壳体开口151的密闭面水平移动，而同步直线顶推出推块161与阀门140，进行密闭壳体150开口151的动作，而阀门140被转向机构160顶推带动的移动方向与第二活塞杆121的移动方向呈垂直角度，使得阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈宗麟，
申请(专利权)人：沈宗麟，
类型：实用新型
国别省市：