真空舱门启闭机构制造技术

一种真空舱门启闭机构。为提供一种结构简单、使真空舱门密合性好的半导体制造设备部件，提出本实用新型专利技术，它包括框架、设有第一导杆的第一汽缸、设有第二导杆的第二汽缸、组设于阀门与第二导杆之间的连动组件及阀门；连动组件为枢设于第二导杆上并与阀门连接块；第一汽缸固定于框架上，第二汽缸固定于第一汽缸的第一导杆上。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体制造设备部件，特别是一种真空舱门启闭机构。处理晶圆、TFT及LCD玻璃基板的真空舱，通常藉由舱门启闭机构保持真空舱的密合性。但习用的真空舱启闭机构由于其为机械式机构，不仅结构较为复杂，而且通常存在密合性欠佳的不足。本技术的目的是提供一种结构简单、使真空舱门密合性好的真空舱门启闭机构。本技术包括框架、设有第一导杆的第一汽缸、设有第二导杆的第二汽缸、组设于阀门与第二导杆之间的连动组件及阀门；连动组件为枢设于第二导杆上并与阀门连接块；第一汽缸固定于框架上，第二汽缸固定于第一汽缸的第一导杆上。其中第二汽缸设有两第三导杆；连动组件还包括枢设于第二导杆上的滑块、固设于两第三导杆上的两限位元件、数杠杆及支撑杆；限位元件设有至少容置一杠杆及支撑杆的容槽，两限位元件相对的内侧面分别设与容槽贯通的长槽，杠杆一端穿过限位元件内侧面长槽与滑块连接，杠杆的另一端与固定安装于阀门上的连接块枢接；支撑杆两端分别枢接于限位元件及杠杆中点。第三导杆上设有环缘，并于环缘上设有环垫。阀门设有令其以确实密合真空舱门的环垫。框架上设有与第一汽缸下、上死点位置相对应的第一、二极限开关；第二汽缸上设有与枢设于第二导杆上滑块下死点位置相对应的第三极限开关；第二汽缸上设有与第一极限开关相对应的凸块；第二导杆上设有与第三极限开关相对应的压板。支撑杆两枢接点之间的距离为杠杆两枢接点之间距离的一半。由于本技术包括框架、设有第一导杆的第一汽缸、设有第二导杆的第二汽缸、组设于阀门与第二导杆之间的连动组件及阀门；连动组件为枢设于第二导杆上并与阀门连接块；第一汽缸固定于框架上，第二汽缸固定于第一汽缸的第一导杆上。当将真空舱门进行封盖时，第一汽缸的第一导杆向上顶推至上死点，并带动第二汽缸的第二导杆及阀门亦随之向上，以关闭真空舱门。不仅结构简单，而且使真空舱门密合性好，从而达到本技术的目的。附图说明图1、为本技术结构示意立体图。图2、为本技术结构示意正视图。图3、为图2中A-A剖视图(第一汽缸位于下死点)。图4、为图2中A-A剖视图(第一汽缸位于上死点)。图5、为本技术将真空舱门关闭状态示意图。以下结合附图对本技术进一步详细阐述。如图1、图2所示，本技术包括框架100、第一汽缸200、第二汽缸300及设有环垫410的阀门400。框架100顶部设有平台101，于平台101上设有第二及两第三导杆孔102、103，并于框架101上设有第一、二极限开关113、114。第一汽缸200系固定于框架100上，第二汽缸300固定于第一汽缸200的第一导杆210上，并由第一导杆210带动第二汽缸300相对第一汽缸200上、下运动，阀门400藉由连动组件40枢接于第二汽缸300的第二导杆310上，并由第二导杆310经连动组件40带动阀门400相对第二导杆310作水平运动。连动组件40包括滑块320、两限位元件110、数杠杆321、支撑杆322及连接块323。限位元件110设有至少容置一杠杆321及支撑杆322的容槽111，两限位元件110相对的内侧面分别设与容槽111贯通的长槽112，杠杆321一端穿过限位元件110内侧面长槽112与滑块320连接，杠杆321的另一端与固定安装于阀门400上的连接块323枢接；支撑杆322两端分别枢接于限位元件110及杠杆321中点，并令支撑杆322两枢接点之间的距离为杠杆321两枢接点之间距离的一半。如图1、图2、图3、图4所示，第二汽缸300设有与第一极限开关113相对应的凸块301及第三极限开关115，第二导杆310与第一汽缸200的第一导杆210同轴线，其上设有压板311，第二导杆310穿过框架100平台101上第二导杆孔102与位于平台101上方的滑块320枢接；第二汽缸300设有两第三导杆330，第三导杆330上设有环缘331，并于环缘331上设有环垫332。两第三导杆330顶端穿过框架100平台101上第三导杆孔103，并与位于滑块320两侧以使滑块320在其内上下滑动的限位元件110固定连接。当第一汽缸200的第一导杆210带动第二汽缸300向下缩回最低点时的位置为下死点，第二汽缸300的凸块301恰抵压设于框架100的第一极限开关113，当第一汽缸200的第一导杆210带动第二汽缸300推出至最高点时的位置为上死点，该第二汽缸300的上缘恰抵住设于框架100上的第二极限开关114，同时第二汽缸300的第三导杆330的环缘331利用环垫332抵于框架100的平台101，环垫332具有气密作用，以防止空气经由第二汽缸300的第三导杆330与平台101间的间隙流通，藉由第一、二极限开关113、114控制第一汽缸200于上、下死点间动作的行程。如图4、图5所示，当第二汽缸300的第二导杆310推动滑块320向上至最高点时的位置是上死点；当第二汽缸300的第二导杆310拉动滑块320向下最低点时位置为下死点。当第一汽缸200的第一导杆210上升使第二汽缸300上缘抵推第二极限开关114时，使第二导杆310下升，直至第二汽缸300的第二导杆310上压板311恰抵住设于第二汽缸300上第三极限开关115，藉由第二、三极限开关114、115控制第二汽缸300拉动滑块320于上、下死点间动作的行程。如图3、图4、图5所示，当将真空舱门500进行封盖时，第一汽缸200的第一导杆210系位于下方的下死点，因此，第二汽缸300的第二导杆310经连动组件40所枢接的阀门400尚未正对真空舱门500，即阀门400与真空舱门500之间保持有垂直及水平距离。如图3所示，藉由第一极限开关113控制第一汽缸200的第一导杆210向上顶推至上死点，使第二汽缸300的第二、三导杆310、330及阀门400亦随之向上。如图4所示，使第二汽缸300抵压第二极限开关114，此时阀门400对正真空舱门500，即阀门400与真空舱门500之间只保持水平距离。如图5所示，第二极限开关114被触动后控制第二汽缸300的第二导杆310向下缩回，第二导杆310带动滑块320及杠杆321一端向下，由于该杠杆321中间枢接于支撑杆322，杠杆原理造成杠杆321经由连接块323带动阀门400向真空舱门500水平顶推，并且由于支撑杆322两端分别枢接于限位元件110及杠杆321中点，使阀门400能够保持水平状推向真空舱门500进行封盖，直至第二导杆310上的压板311恰抵住设于第二汽缸300上第三极限开关115，并藉由设置于阀门400上的环垫410，使阀门400与真空舱门500之间真正密闭，确实将真空舱门500加以密合。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空舱门启闭机构，其特征在于它包括框架、设有第一导杆的第一汽缸、设有第二导杆的第二汽缸、组设于阀门与第二导杆之间的连动组件及阀门；连动组件为枢设于第二导杆上并与阀门连接块；第一汽缸固定于框架上，第二汽缸固定于第一汽缸的第一导杆上。

【技术特征摘要】
1.一种真空舱门启闭机构，其特征在于它包括框架、设有第一导杆的第一汽缸、设有第二导杆的第二汽缸、组设于阀门与第二导杆之间的连动组件及阀门；连动组件为枢设于第二导杆上并与阀门连接块；第一汽缸固定于框架上，第二汽缸固定于第一汽缸的第一导杆上。2.根据权利要求1所述的真空舱门启闭机构，其特征在于所述的第二汽缸设有两第三导杆；连动组件还包括枢设于第二导杆上的滑块、固设于两第三导杆上的两限位元件、数杠杆及支撑杆；限位元件设有至少容置一杠杆及支撑杆的容槽，两限位元件相对的内侧面分别设与容槽贯通的长槽，杠杆一端穿过限位元件内侧面长槽与滑块连接，杠杆的另一端与固定安装于阀门上的连接块枢接；支撑杆两端分别枢接...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈宗麟，
申请(专利权)人：沈宗麟，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]