一种基板夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基板夹具，包括：支架、活动夹、将活动夹连接在支架上的固定件、以及固定在所述支架上的两个固定夹，活动夹位于两个固定夹之间；活动夹与支架活动连接，固定夹与支架固定连接，活动夹上设置挡块，固定夹上不设置挡块，该夹具可以让基板在进行溅镀的工艺时，由于溅击震动，基板弯曲，以及基板的运输过程中，应力释放等过程中，固定夹与活动夹之间不会产生剪切作用，从而解决了基板因为活动夹和固定夹的剪切造成的破片问题。

【技术实现步骤摘要】
一种基板夹具
本技术涉及一种基板的固定夹具，尤其涉及一种显示器面板制造过程中的基板承载使用的夹具。技术背景在显示器面板的制造过程中，基板破片问题是一个在加工过程中每一个环节都可能出现的问题，一旦发生破片，生产就需要报废，没有办法进行补救，尤其是现在面板的尺寸越来越大，面板的厚度越来越薄，导致破片的几率大大增加，导致生产的良率降低，生产的效率降低，并且生产的成本提升。在面板制造过程中，溅镀是一项非常重要的工序，并且在该工序中，基板需要通过夹具进行固定，在进行溅镀的过程中，基板处于溅击震动的状态下，夹具保证基板不会因为溅击震动导致脱离溅镀机台，并且夹持基板旋转或者移动至不同位置进行不同材质的溅镀成膜。由于溅镀的温度较高，基板比较薄，基板尺寸越来越大，因此很容易出现基板弯曲的现象，基板在溅镀机台上完成镀膜后产生弯曲和应力释放问题外加基板在腔室传送，夹具之间相对的晃动，产生剪切作用，并由此会产生剪切破片的问题，基板的镀膜厚度越厚，基板的尺寸越大，基板弯曲和应力释放越大，应力释放带来的剪切破片问题也就越明显。
技术实现思路
本技术提供了一种固定夹和活动夹的结构不同的夹具，可以解决基板在镀膜过程中由于震动、弯曲和应力释放造成的破片问题。一种基板夹具，包括：支架、活动夹、将活动夹连接在支架上的固定件、以及固定在支架上的两个固定夹，活动夹位于两个固定夹之间；活动夹与支架活动连接，固定夹与支架固定连接，活动夹包括活动夹背板、以及与活动夹背板底部相连且与活动夹背板垂直的活动夹支撑部，固定夹包括固定夹背板以及与固定夹背板底部相连且与固定夹背板垂直的固定夹支撑部，待固定基板由活动夹支撑部和固定夹支撑承载；活动夹还包括与活动夹背板平行且与活动夹支撑部相连的挡块，挡块对待固定基板进行限定。优选的，活动夹支撑部、活动夹背板以及挡块上设置有活动夹弹性缓冲层。优选的，活动夹弹性缓冲层为全氟醚橡胶。优选的，固定夹支撑部和固定夹背板上设置有固定夹弹性缓冲层。优选的，固定夹弹性缓冲层为全氟醚橡胶。优选的，固定件为螺栓，活动夹与支架之间通过螺栓固定且活动夹与支架之间留有空隙。优选的，还包括将固定夹连接至支架上的紧固件，紧固件为螺钉。优选的，固定夹和活动夹由热固性树脂制成。本技术提供了一种固定夹和活动夹的结构不同的夹具，该夹具的活动夹包括活动夹背板，与活动夹背板底部相连且与活动夹背板垂直的活动夹支撑部以及与活动夹背板平行且与活动夹支撑部相连的挡块，活动夹支撑部可以承载基板，挡块可以对基板活动进行限定，活动夹与支架的活动连接可以实现基板的自我调整，固定夹包括固定夹背板以及与固定夹背板底部相连且与固定夹背板垂直的固定夹支撑部，相比活动夹在结构上没有挡块，对于基板仅仅承担承载作用，没有挡块，使得基板进行溅镀的工艺时，溅击震动，基板弯曲，以及基板的运输过程中，应力释放等过程中，固定夹与活动夹之间不会产生剪切作用，从而避免了基板的破片问题。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术活动夹侧视图；图3为本技术固定夹侧视图；图4为本技术夹持状态示意图；图5为本技术第二实施例结构示意图；图6为本技术第二实施例活动夹侧视图；图7为本技术第二实施例固定夹侧视图。附图标记列表：1-支架，2-活动夹，3-固定夹，4-固定件，5-基板，6-活动夹背板，7-活动夹支撑部，8-挡块，9-活动夹弹性缓冲层，10-固定夹背板，11-固定夹支撑部，12-固定夹弹性缓冲层。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本技术，应理解这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围，在阅读了本技术之后，本领域技术人员对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。实施例1：如图1至图3所示为本技术的第一实施例，本实施例提供了一种基板夹具，包括：支架1、活动夹2、将活动夹2连接在支架1上的固定件4、以及通过紧固件(图未示)固定在支架1上的两个固定夹3。其中，活动夹2位于两个固定夹3之间，活动夹2与支架1活动连接；固定夹3与支架1固定连接。活动夹2包括活动夹背板6、与活动夹背板6底部相连且与活动夹背板6垂直的活动夹支撑部7、以及与活动夹背板6平行且与活动夹支撑部7相连的挡块8。固定夹3包括固定夹背板10、以及与固定夹背板10底部相连且与固定夹背板10垂直的固定夹支撑部11。固定件4为螺栓，活动夹2与支架1之间通过螺栓固定且活动夹2与支架1之间留有空隙。连接支架1和固定夹3的紧固件为螺钉。固定夹3为两个，分别设置在活动夹2的两侧，且与活动夹2之间留有间隙。在本实施例中，如图4所示，在对基板5进行夹持的过程中，活动夹2的活动夹支撑部7和固定夹3的固定夹支撑部11均可以承载基板5，活动夹2的挡块8可以对基板5活动进行限定，活动夹2与支架1的活动连接可以实现基板5的自我调整。由于固定夹3与活动夹2相比，固定夹3没有设置挡块8，对于基板5仅仅承担承载作用，没有挡块8，使得基板进行溅镀的工艺时，溅击震动，基板5弯曲，以及基板5的运输以及应力释放等过程中，固定夹3与活动夹2之间不会产生剪切作用，从而避免了基板5的破片问题。实施例2：如图5至图7所示为本技术的第二实施例，本实施例提供了一种基板夹具，包括：支架1、活动夹2、将活动夹2连接在支架1上的固定件(图未示)、以及通过紧固件(图未示)固定在支架1上的固定夹3。其中，活动夹2位于两个固定夹3之间，活动夹2与支架1活动连接，固定夹3与支架1固定连接。活动夹2包括活动夹背板6、与活动夹背板6底部相连且与活动夹背板6垂直的活动夹支撑部7、以及与活动夹背板6平行且与活动夹支撑部7相连的挡块8。固定夹3包括固定夹背板10、以及与固定夹背板10底部相连且与固定夹背板10垂直的固定夹支撑部11。固定件为螺栓，活动夹2与支架1之间通过螺栓固定且活动夹2与支架1之间留有空隙。连接支架1和固定夹3的紧固件为螺钉，固定夹3为两个，分别设置在活动夹2的左右，且与活动夹2之间留有间隙。活动夹2的活动夹支撑部7、活动夹背板6以及挡块8上设置有活动夹弹性缓冲层9，活动夹弹性缓冲层9为全氟醚橡胶。固定夹3的固定夹支撑部11和固定夹背板10上设置有固定夹弹性缓冲层12，固定夹弹性缓冲层12为全氟醚橡胶。分别在固定夹3和活动夹2上设置固定夹弹性缓冲层12和活动夹弹性缓冲层9，可以在对基板5进行夹持的过程中降低对于基板5的磨损划伤，并且使用全氟醚橡胶可以保证固定夹弹性缓冲层12和活动夹弹性缓冲层9具有一定的耐热性，在溅射工艺的高温下，保持良好的弹性，更好的保护基板5，防止磨损划伤等不良的出现，同时可以降低溅击时的震动幅度，降低基板5的震动破片可能性，使得本技术的实用性得到了进一步提升。本技术提供了一种固定夹和活动夹的结构不同的夹具，该夹具的活动夹包括活动夹背板，与活动夹背板底部相连且与活动夹背板垂直的活动夹支撑部以及与活动夹背板平行且与活动夹支撑部相连的挡块，活动夹支撑部可以承载基板，挡块可以对基板活动进行限定，活动夹与支架的活动连接可以实现基板的自我调整，固定夹包括固定夹背板以及与固定夹背板底部相连且与固定夹背板垂直的固定夹支撑部，相比活动夹在结构上没有挡块，对于基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板夹具，包括：支架、活动夹、将所述活动夹连接在所述支架上的固定件、以及固定在所述支架上的两个固定夹，所述活动夹位于两个固定夹之间，其特征在于：所述活动夹与支架活动连接，所述固定夹与支架固定连接，所述活动夹包括活动夹背板、以及与活动夹背板底部相连且与活动夹背板垂直的活动夹支撑部，所述固定夹包括固定夹背板以及与固定夹背板底部相连且与固定夹背板垂直的固定夹支撑部，待固定基板由所述活动夹支撑部和固定夹支撑承载；所述活动夹还包括与活动夹背板平行且与活动夹支撑部相连的挡块，所述挡块对待固定基板进行限定。

【技术特征摘要】
1.一种基板夹具，包括：支架、活动夹、将所述活动夹连接在所述支架上的固定件、以及固定在所述支架上的两个固定夹，所述活动夹位于两个固定夹之间，其特征在于：所述活动夹与支架活动连接，所述固定夹与支架固定连接，所述活动夹包括活动夹背板、以及与活动夹背板底部相连且与活动夹背板垂直的活动夹支撑部，所述固定夹包括固定夹背板以及与固定夹背板底部相连且与固定夹背板垂直的固定夹支撑部，待固定基板由所述活动夹支撑部和固定夹支撑承载；所述活动夹还包括与活动夹背板平行且与活动夹支撑部相连的挡块，所述挡块对待固定基板进行限定。2.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于：所述活动夹支撑部、活动夹背板以及挡块上设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏飞，王艳昌，马钟鸣，翟云华，沙双庆，
申请(专利权)人：南京中电熊猫平板显示科技有限公司，南京中电熊猫液晶显示科技有限公司，南京华东电子信息科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32