【技术实现步骤摘要】
一种腔室密封装置
本技术属于密封的
,特别涉及一种腔室密封装置。
技术介绍
目前,在液晶面板制造过程中,所有腔室内密封均使用剖面为C型设计的,此设计在高温腔室内弹性较差,C型密封装置使用不超过6个月就会变形,经盖板下压后无法还原,丢失C型的厚度,从而导致腔室密封不良,腔室密封不良会导致腔室内异物高发,直接影响设备稼动率、良品率等,对生产企业造成损失。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种腔室密封装置,具有很强的抗压性能,不易变形,可有效的改善腔室密封不良的状况,且使用寿命长。本技术提供一种腔室密封装置,包括长方形框体,所述长方形框体的四条边的侧面均呈梯形,每条边的斜面上均间隔设置多个凹槽,每个凹槽内设有水平面以及与水平面一端垂直连接的竖直面,所述水平面上均设有与腔室固定的固定孔。进一步,所述水平面为边的底面,所述垂直面从边的表面向下延伸至水平面形成的。进一步,每条边的侧面均呈直角梯形,每条边的斜面朝向所述长方形框体的外侧。进一步,所述长方形框体为一体成型。进一步,所述长方形框体采用弹性材料制成的。进一步,所述凹槽的剖面呈直角三角形。进一步,所述长方形框体的每条边的梯形体的角部采用弧化处理。本技术通过将密封装置设计为梯形结构,梯形结构具有很强的抗压性能,不易变形,自身高度不易丢失,可有效的改善腔室密封不良的状况,确保不影响产品的良率;梯形结构密封装置使用寿命长。附图说明图1为本技术密封装置结构示意图;图 ...
【技术保护点】
1.一种腔室密封装置,其特征在于:包括长方形框体,所述长方形框体的四条边的侧面均呈梯形,每条边的斜面上均间隔设置多个凹槽,每个凹槽内设有水平面以及与水平面一端垂直连接的竖直面,所述水平面上均设有与腔室固定的固定孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种腔室密封装置,其特征在于:包括长方形框体,所述长方形框体的四条边的侧面均呈梯形,每条边的斜面上均间隔设置多个凹槽,每个凹槽内设有水平面以及与水平面一端垂直连接的竖直面,所述水平面上均设有与腔室固定的固定孔。
2.根据权利要求1所述的腔室密封装置,其特征在于:所述水平面为边的底面,所述垂直面从边的表面向下延伸至水平面形成的。
3.根据权利要求1所述的腔室密封装置,其特征在于:每条边的侧面均呈直角梯形,每条边的...
【专利技术属性】
技术研发人员:庄恩泽,赵辉,沙双庆,翟云华,金杨林,郭维兵,
申请(专利权)人:南京中电熊猫平板显示科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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