低碳、无油大抽速真空抽气机组制造技术

本实用新型专利技术提供了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵抽气机组，获得能与传统扩散泵相当的抽速，具有大幅度节省抽气能耗，缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点。

【技术实现步骤摘要】
低碳、无油大抽速真空抽气机组
本技术属于真空
，尤其涉及一种低碳、无油大抽速真空抽气机组。
技术介绍
传统扩散泵具有抽速大、价格低和维护方便等优点，几十年来，一直是大型工业高真空设备的主流泵种，然而，该扩散泵存在如下缺点：1.油蒸汽污染大：扩散泵利用油蒸汽喷射流抽气，油蒸汽污染严重，影响真空产品的质量。3.能耗高：一台几万L/s的扩散泵抽气机组，耗电高达30～50万度/年。上述缺点是当今真空产业亟待解决，但一直未能攻克的难题。
技术实现思路
本技术的目的在于采用一种可显著降低油蒸汽污染和能耗的低碳、无油大抽速真空抽气机组。本技术是这样实现的，一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。本技术还提供了另一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。具体地，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成。具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。本技术还提供了另一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、化学吸附泵机组、深冷水汽泵、径流泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第二真空阀，所述真空室和深冷水汽泵之间设有第三真空阀，所述真空室和径流泵机组之间设有第四真空阀，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第五真空阀与前级泵连接。具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。本技术的低碳、无油大抽速真空抽气机组利用径流泵机组、深冷水汽泵和化学吸附泵机组抽气能力的互补性将径流泵机组、深冷水汽泵和化学吸附泵机组的抽气能力实现最优化，从而取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵+罗茨泵机组，消除油蒸汽污染，实现消除油蒸汽污染，显著提高真空产品质量，降低抽气能耗约80％的目的。附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例一提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的示意图。图2是本技术实施例二提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的示意图。图3是本技术实施例三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的示意图。图4是本技术实施例一、二、三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的泵筒的示意图。图5是沿图4中的A-A方向的剖视图。图6是本技术实施例一、二、三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的剖视图。图7是本技术实施例一、二、三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的静轮的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例一无油真空泵组装在二个真空壳体内的低碳、无油大抽速真空抽气机组如图1所示，本技术实施例一提供的一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室11，真空室11分别与粗抽泵机组12、真空壳体13、化学吸附泵机组14、放气阀15和真空规16连接，真空室11和粗抽泵机组12之间设有第一真空阀17，真空室11和真空壳体13之间设有第二真空阀18，真空壳体13内部上方设有深冷水汽泵19，真空壳体13内部下方设有径流泵机组110，径流泵机组110由四台并联抽气的立式复合径流分子泵组成，径流泵机组110的排气口通过第三真空阀112与前级泵111连接，真空室11和化学吸附泵机组14之间设有第四真空阀113，化学吸附泵机组14由六台电弧钛泵并联组成。如图4～图7所示，本实施例一的立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒41，泵筒41的侧壁开设有进气口42和排气口(未示出)，泵筒41内设有径流抽气单元，该径流抽气单元包括转子43、静轮44和动密封45，转子43上固设有两平圆盘状的动轮46，两动轮46平行且间隔设置，静轮44设于两动轮46之间，静轮44与两动轮46平行设置，动密封45位于下方的动轮46的下方，静轮44和动密封45均固设于泵筒41的侧壁上；位于上方的动轮46的外侧设有一组涡轮叶列47，涡轮叶列47由上向下抽气；静轮44上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽441，静轮44的中部未设置隔板，由于静轮44的中部未设置隔板，从而提高了气体的抽速。如图4～图7所示，本实施例一的立式复合径流分子泵的工作原理如下：(1)本实施例一的进气口42设在泵筒41的侧壁，泵筒41外侧的气体依次经进气口42和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。

【技术特征摘要】
1.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。2.根据权利要求1所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。3.根据权利要求1所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。4.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。5.根据权利要求4所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛...

【专利技术属性】
技术研发人员：储昕，
申请(专利权)人：储昕，
类型：新型
国别省市：广东,44