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低碳、无油大抽速真空抽气机组制造技术
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文档序号:17970751
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本实用新型提供了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组,其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵抽气机组,获得能与传统扩散泵相当的抽速,具有大幅度节省抽气能耗,缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点。...
该专利属于储昕所有,仅供学习研究参考,未经过储昕授权不得商用。
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