本实用新型提供了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵抽气机组，获得能与传统扩散泵相当的抽速，具有大幅度节省抽气能耗，缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点。

本发明提供了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵抽气机组，获得能与传统扩散泵相当的抽速，具有大幅度节省抽气能耗，缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点。

一种等离子体镀膜设备及其抽气工艺，其采用并联抽气的电弧钛泵+牵引分子泵+前级泵机组，取代现有技术串联抽气的涡轮分子泵（或扩散泵）+罗茨泵机组。由于电弧钛泵和牵引分子泵都是低能耗泵，加上电弧钛泵仅需在精抽阶段运行，运行时间不到整个抽气时间...