掩膜板制造技术

本实用新型专利技术提供一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。本实用新型专利技术能够提高蒸镀时掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板
本技术涉及显示装置的制作领域，具体涉及一种掩膜板。
技术介绍
喷墨打印技术(InkjetPrinting，IJT)是有机电致发光显示基板的制作过程中常用技术，利用喷墨打印在显示区形成整层结构(如，阴极层)时，通常会使用开放式的掩膜板(OpenMask)，该掩膜板上设置有多个蒸镀开口。在蒸镀时，可以利用蒸镀源和所述开放式掩膜板对具有多个显示区的基板进行蒸镀，掩膜板上的每个蒸镀开口对应于基板上的一个显示区。因此，掩膜板的制作精度和对位精度直接影响着显示产品的质量。目前，通常采用在掩膜板上设置对位孔、在基板上设置对位标记的方式，将掩膜板与基板进行对位。但由于掩膜板的厚度较大，因此，受到工艺条件的限制，掩膜板上制作的对位孔的精度较低，且难以制作出尺寸较小的对位孔，从而影响对位精度，进而影响蒸镀效果。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜板，提高蒸镀时掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。为了解决上述技术问题之一，本技术提供一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。优选地，所述掩膜板还包括设置在所述凹槽内的掩膜条，所述掩膜条的厚度小于位于所述凹槽以外的掩膜板本体的厚度，所述掩膜条上设置有与所述凹槽底部的第一通孔一一对应的第二通孔，所述第一通孔朝向所述掩膜条的投影区域完全覆盖所述第二通孔所在区域。优选地，所述掩膜条的背离所述第一通孔的表面低于或平齐于所述掩膜板本体的第一表面。优选地，所述凹槽与所述掩膜条一一对应，且所述凹槽的延伸方向与所述掩膜条的延伸方向相同，所述凹槽底部设置有多个所述第一通孔。优选地，所述掩膜板本体的厚度在270μm～330μm之间；所述掩膜条的厚度在30μm～50μm之间。优选地，所述第二通孔的开口尺寸在95μm～105μm之间。优选地，所述凹槽的宽度在5mm～6mm之间。优选地，所述第一通孔的开口尺寸在3mm～4mm之间。优选地，所述掩膜板还包括安装框架，所述掩膜板本体固定在所述安装框架上。优选地，所述掩膜图形为贯穿所述掩膜板本体的蒸镀开口，所述掩膜板本体上设置有多个所述掩膜图形，多个所述掩膜图形排成多行多列，所述掩膜板本体上设置有多个所述凹槽，每个所述凹槽沿所述掩膜图形排列的列方向延伸，每相邻两个所述凹槽之间设置有多个所述掩膜图形。在本技术中，掩膜板的第一表面上设置有凹槽，第一通孔位于凹槽底部，因此，当第一通孔直接作为对位孔时，第一通孔(即，对位孔)贯穿的掩膜板本体的厚度有所减少，从而更有利于提高对位孔的制作精度，并有利于制作尺寸较小的对位孔，从而有利于对位孔落入检测设备的检测范围，以便于检测对位孔与基板上对位标记的实际对位情况，进而有利于提高掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果；当第一通孔不直接作为对位孔，而是在凹槽内设置掩膜条等其他结构时，可以将该结构的厚度设置得较小，并在该结构上设置作为对位孔的第二通孔，这种情况下，第二通孔所贯穿的结构的厚度较小，也有利于提高对位孔的制作精度，并有利于制作尺寸较小的对位孔，以便于对位孔落入检测设备的检测范围，进而有利于提高掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术提供的掩膜板的俯视图；图2是图1中I区放大图；图3是沿图1中A-A线的剖视图；图4是显示基板上的标准蒸镀区的示意图；图5是本技术提供的掩膜板的制作方法流程图；图6是固定掩膜条时第二通孔与显示基板上的张网标记示意图；图7是本技术利用掩膜板进行的蒸镀方法示意图。其中，附图标记为：10、掩膜板本体；10a、掩膜板本体的外边界；11、掩膜图形；12、凹槽；13、第一通孔；14、第三通孔；20、掩膜条；21、第二通孔；30、安装框架；30a、安装框架的内边界；40、标记条；50、张网标记。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。作为本技术的一方面，提供一种掩膜板，结合图1至图3所示，包括掩膜板本体10，掩膜板本体10上设置有掩膜图形11，掩膜板本体10包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽12，凹槽12位于掩膜图形11以外的区域，凹槽12底部设置有贯穿掩膜板本体10的第一通孔13。应当理解的是，第一通孔13的开口小于凹槽12的底面大小。本技术提供的所述掩膜板尤其适用于对显示基板进行蒸镀，其中，第一通孔13可以直接作为对位孔，用于在蒸镀前进行掩膜板与显示基板的对位。其中，所述显示基板包括与掩膜图形11一一对应的显示区和与所述对位孔一一对应的标准蒸镀区(如图4中所示)；当所述对位孔与标准蒸镀区一一对正时，掩膜图形11与显示区一一对正。在进行对位时，可以先利用所述掩膜板对其中一张显示基板进行预蒸镀，预蒸镀后，利用检测设备检测经过所述对位孔而蒸镀至显示基板上的蒸镀材料是否位于标准蒸镀区中，若偏离该标准蒸镀区，则调整掩膜板的位置。其中，上述检测设备可以为像素位置校准(PixelPositionAligenment，PPA)检查机。当然，第一通孔13也可以不直接作为对位孔，而是在凹槽12内设置掩膜条等其他结构，并在该结构上另外设置与第一通孔13对应的第二通孔，第二通孔作为对位孔。现有技术中通常直接在掩膜板本体上刻蚀对位孔，以用于掩膜板与显示基板的对位，而由于掩膜板的厚度较大，直接刻蚀容易导致对位孔的制作精度较低，导致对位精度降低；并且，掩膜板的厚度较大时，难以制作尺寸较小的对位孔，而检测设备的检测范围是有限的，因此，当对位孔尺寸过大时，检测设备难以检测到对位孔与基板上对位标记的实际对位情况，从而降低对位精度，进而影响蒸镀效果。而本技术中，掩膜板的第一表面上设置有凹槽12，第一通孔13位于凹槽12底部，因此，当第一通孔13直接作为对位孔时，第一通孔13(即，对位孔)贯穿的掩膜板本体10的厚度有所减少，从而更有利于提高对位孔的制作精度，并有利于制作尺寸较小的对位孔，从而有利于对位孔落入检测设备的检测范围，以便于检测对位孔与基板上对位标记的实际对位情况，进而有利于提高掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果；当第一通孔13不直接作为对位孔，而是在凹槽12内设置掩膜条等其他结构时，可以将该结构的厚度设置得较小，并在该结构上设置作为对位孔的第二通孔，这种情况下，对位孔所贯穿的结构的厚度较小，也有利于提高对位孔的制作精度，并有利于制作尺寸较小的对位孔，以便于对位孔落入检测设备的检测范围，进而有利于提高掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。作为本技术的优选实施方式，结合图1至图3所示，所述掩膜板还包括设置在凹槽12内的掩膜条20，掩膜条20的厚度小于位于凹槽12以外的掩膜板本体10的厚度，掩膜条20上设置有与凹槽12底部的第一通孔13一一对应的第二通孔21，第一通孔13朝向掩膜条本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，其特征在于，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，其特征在于，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括设置在所述凹槽内的掩膜条，所述掩膜条的厚度小于位于所述凹槽以外的掩膜板本体的厚度，所述掩膜条上设置有与所述凹槽底部的第一通孔一一对应的第二通孔，所述第一通孔朝向所述掩膜条的投影区域完全覆盖所述第二通孔所在区域。3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜条的背离所述第一通孔的表面低于或平齐于所述掩膜板本体的第一表面。4.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述凹槽与所述掩膜条一一对应，且所述凹槽的延伸方向与所述掩膜条的延伸方向相同，所述凹槽底部设置有多个所述第一通孔。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张微，曹鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11