中间产品和蒸镀掩模制造技术

中间产品和蒸镀掩模。提供可抑制长边变形的蒸镀掩模。一种金属制的板状的中间产品，其布置有蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔，其中，所述中间产品具备：蒸镀掩模部分，其包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于蒸镀掩模部分的短边。蒸镀掩模部分的长边未与支承部分连接。

Intermediate products and steamed masks

Intermediate products and steamed masks. A steamed mask that inhibits long side deformation is provided. A metal plate shaped intermediate product arranged with a steamed mask, which includes a pair of long edges and a pair of short edges, and forms a plurality of through holes. The intermediate products are equipped with a steam plating mask, which includes a pair of long edges and a pair of short edges, and forms a plurality of through holes; and support parts. The part is surrounded by the evaporation mask portion and is partially connected to the short edge of the evaporation mask portion. The long side of the evaporation mask part is not connected with the supporting part.

【技术实现步骤摘要】
中间产品和蒸镀掩模
本技术涉及蒸镀掩模。此外，本技术涉及用于制作蒸镀掩模的中间产品。
技术介绍
近年来，对于被用于智能手机、平板电脑PC等便携设备的显示装置，要求高精细、例如像素密度为400ppi以上。此外，在便携设备中，对于应对超全高清的需求提高，在该情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。在显示装置中，由于响应性良好、消耗电力低及对比度高，有机EL(电致发光)显示装置受到瞩目。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知如下方法：使用形成有按所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，按所希望的图案形成像素。具体而言，进行如下的蒸镀工序：首先，使蒸镀掩模紧贴于有机EL显示装置用基板，接着，将紧贴的蒸镀掩模和基板一同放入到蒸镀装置中，使有机材料蒸镀到基板上。由此，能够按与蒸镀掩模的贯通孔的图案对应的图案在基板上形成包含有机材料的像素。在蒸镀工序中，蒸镀掩模被固定于具有规定的刚性的框架上。例如，在蒸镀掩模具有一对长边和一对短边的情况下，蒸镀掩模以在长边的方向上被拉抻的状态被固定于框架。由此，能够抑制蒸镀掩模挠曲，并能够提高像素的尺寸精度及位置精度。作为蒸镀掩模的制造方法，已知如下方法：如例如专利文献1公开的那样，通过使用光刻技术的蚀刻在金属板上形成贯通孔。例如，首先，在金属板的第一面上通过曝光/显影处理而形成第一抗蚀图案，此外，在金属板的第二面上通过曝光/显影处理而形成第二抗蚀图案。接着，对金属板的第一面中未被第一抗蚀图案覆盖的区域进行蚀刻以在金属板的第一面上形成第一开口部。然后，对金属板的第二面中未被第二抗蚀图案覆盖的区域进行蚀刻以在金属板的第二面上形成第二开口部。此时，以使第一开口部与第二开口部相通的方式进行蚀刻，从而能够形成贯通金属板的贯通孔。作为高效率地制造蒸镀掩模的方法，已知如下方法：首先，准备具有相当于多个蒸镀掩模的面积的金属板，接着，在金属板上形成应被形成为多个蒸镀掩模的多个贯通孔，然后，将各个蒸镀掩模从金属板中脱出。在例如专利文献1中，通过沿断裂线切断金属板，从而将蒸镀掩模从金属板中脱出。在专利文献1中，断裂线是按与蒸镀掩模的长边和短边对应的图案形成于金属板的穿孔线。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-55007号公报可以考虑到，在使穿孔线断裂时，蒸镀掩模从金属板上被拉抻，由此金属板变形。例如，在蒸镀掩模的长边可能出现波浪形状等的变形。其结果是，穿过位于蒸镀掩模的长边附近的贯通孔而附着在基板上的蒸镀材料的尺寸精度及位置精度降低。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供可有效地解决这样的课题的蒸镀掩模以及用于制作蒸镀掩模的中间产品。本技术是一种金属制的板状的中间产品，其布置有蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔，其中，所述中间产品具备：蒸镀掩模部分，其包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕所述蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于所述蒸镀掩模部分的所述短边，所述蒸镀掩模部分的所述长边未与所述支承部分连接。本技术是一种金属制的板状的中间产品，其布置有蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔，其中，所述中间产品具备：蒸镀掩模部分，其包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕所述蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于所述蒸镀掩模部分，所述蒸镀掩模部分的所述长边中与所述支承部分连接的部位的比率小于所述蒸镀掩模部分的所述短边中与所述支承部分连接的部位的比率。也可以这样：所述蒸镀掩模部分的所述长边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述长边中与所述支承部分连接的部分的宽度的总和除以所述长边的长度而计算出，所述蒸镀掩模部分的所述短边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述短边中与所述支承部分连接的部分的宽度的总和除以所述短边的长度而计算出。或者，也可以这样：所述蒸镀掩模部分的所述长边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述长边中与所述支承部分连接的部分的个数除以所述长边的长度而计算出，所述蒸镀掩模部分的所述短边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述短边中与所述支承部分连接的部分的个数除以所述短边的长度而计算出。在本技术的中间产品中，优选的是，所述蒸镀掩模部分的所述长边中的、沿所述中间产品的宽度方向观察所述长边的情况下与所述贯通孔重叠的区域未与所述支承部分连接。更优选的是，所述蒸镀掩模部分的所述长边的整个区域未与所述支承部分连接。在本技术的中间产品中，也可以这样：所述蒸镀掩模部分的所述短边包括朝向所述支承部分突出并且与所述支承部分连接的多个凸部。在本技术的中间产品中，也可以这样：所述蒸镀掩模部分和所述支承部分的厚度是50μm以下。在本技术的中间产品中，也可以这样：所述多个蒸镀掩模部分在与所述长边交叉的方向上排列，在相邻的两个所述蒸镀掩模部分的所述长边之间不存在所述支承部分。本技术是一种蒸镀掩模，其中，所述蒸镀掩模具备：金属制的板状基材，其包括一对长边和一对短边；和多个贯通孔，其形成于所述基材，在所述基材的所述短边局部地存在断裂面，另一方面，在所述基材的所述长边不存在断裂面。本技术是一种蒸镀掩模，其中，所述蒸镀掩模具备：金属制的板状基材，其包括一对长边和一对短边；和多个贯通孔，其形成于所述基材，所述基材的所述长边处的断裂面的比率小于所述基材的所述短边处的断裂面的比率。也可以这样：所述基材的所述长边处的断裂面的比率通过存在于所述长边的所述断裂面的宽度的总和除以所述长边的长度而计算出，所述基材的所述短边处的断裂面的比率通过存在于所述短边的所述断裂面的宽度的总和除以所述短边的长度而计算出。或者，也可以这样：所述基材的所述长边处的断裂面的比率通过存在于所述长边的所述断裂面的个数除以所述长边的长度而计算出，所述基材的所述短边处的断裂面的比率通过存在于所述短边的所述断裂面的个数除以所述短边的长度而计算出。在本技术的蒸镀掩模中，优选的是，所述断裂面不存在于在沿所述蒸镀掩模的宽度方向观察所述长边的情况下与所述贯通孔重叠的区域。更优选的是，在所述基材的所述长边上在整个区域不存在断裂面。在本技术的蒸镀掩模中，也可以这样：所述基材的所述短边包括向外侧突出并且具有所述断裂面的多个凸部。在本技术的蒸镀掩模中，也可以这样：所述基材的从所述长边到所述贯通孔的、所述基材的面方向上的最短距离是50μm以下。在本技术的蒸镀掩模中，也可以这样：所述基材的厚度是50μm以下。技术效果根据本技术，能够制造可抑制长边变形的蒸镀掩模。附图说明图1是示出具备本技术的一个实施方式的蒸镀掩模装置的蒸镀装置的图。图2是示出使用图1所示的蒸镀掩模装置来制造的有机EL显示装置的剖视图。图3是示出本技术的一个实施方式的蒸镀掩模装置的俯视图。图4是示出图3所示的蒸镀掩模的有效区域的局部俯视图。图5是沿着图4中的V-V线的剖视图。图6是沿着图4中的VI-VI线的剖视图。图7是沿着图4中的VII-VII线的剖视图。图8是放大示出图5所示的贯通孔及其附近的区域的剖视图。图9是用于对蒸镀掩模的制造方法的一个示例整体地进行说明的示意图。图10是示出在金属板上形成抗蚀膜的工序的图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种中间产品，其是金属制的板状的中间产品，布置有蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔，其中，所述中间产品具备：蒸镀掩模部分，其包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕所述蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于所述蒸镀掩模部分的所述短边，所述蒸镀掩模部分的所述长边未与所述支承部分连接。

【技术特征摘要】
2016.10.07 JP 2016-1994201.一种中间产品，其是金属制的板状的中间产品，布置有蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔，其中，所述中间产品具备：蒸镀掩模部分，其包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕所述蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于所述蒸镀掩模部分的所述短边，所述蒸镀掩模部分的所述长边未与所述支承部分连接。2.一种中间产品，其是金属制的板状的中间产品，布置有蒸镀掩模，所述蒸镀掩模包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔，其中，所述中间产品具备：蒸镀掩模部分，其包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕所述蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于所述蒸镀掩模部分，所述蒸镀掩模部分的所述长边中与所述支承部分连接的部位的比率小于所述蒸镀掩模部分的所述短边中与所述支承部分连接的部位的比率。3.根据权利要求2所述的中间产品，其中，所述蒸镀掩模部分的所述长边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述长边中与所述支承部分连接的部分的宽度的总和除以所述长边的长度而计算出，所述蒸镀掩模部分的所述短边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述短边中与所述支承部分连接的部分的宽度的总和除以所述短边的长度而计算出。4.根据权利要求2所述的中间产品，其中，所述蒸镀掩模部分的所述长边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述长边中与所述支承部分连接的部分的个数除以所述长边的长度而计算出，所述蒸镀掩模部分的所述短边中与所述支承部分连接的部位的比率通过所述短边中与所述支承部分连接的部分的个数除以所述短边的长度而计算出。5.根据权利要求2所述的中间产品，其中，所述蒸镀掩模部分的所述长边中的、沿所述中间产品的宽度方向观察所述长边的情况下与所述贯通孔重叠的区域未与...

【专利技术属性】
技术研发人员：池永知加雄，丸冈敬典，松浦幸代，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP