金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法技术

本发明专利技术涉及金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法。本发明专利技术的目的是提供一种延伸差率小的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的延伸差率为10×10

【技术实现步骤摘要】
金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法本申请是分案申请，其原申请的中国国家申请号为201480003445.3，申请日为2014年1月10日，专利技术名称为“金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法”。
本专利技术涉及通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模的金属板。本专利技术还涉及金属板的制造方法。此外，本专利技术还涉及使用金属板制造用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模的方法。
技术介绍
近年来，对于智能手机和平板电脑等可携带器件中使用的显示装置，要求高精细、例如像素密度为300ppi以上。另外，可携带器件中，在对应全高清上的需要正在提高，这种情况下，显示装置的像素密度要求为例如450ppi以上。由于响应性好、耗电低，有机EL显示装置受到瞩目。作为有机EL显示装置的像素形成方法，已知的方法是，使用包含以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所期望的图案形成像素。具体地说，首先，使蒸镀掩模密合于有机EL显示装置用的基板，接着，将密合的蒸镀掩模和基板一同投入蒸镀装置，进行有机材料等的蒸镀。蒸镀掩模一般如下制造得到：通过利用了照相平版印刷技术的蚀刻而在金属板形成贯通孔，从而制造上述蒸镀掩膜(例如专利文献1)。例如，首先，在金属板上形成抗蚀剂膜，接着在使曝光掩模密合于抗蚀剂膜的状态下将抗蚀剂膜曝光以形成抗蚀剂图案，其后，将抗蚀剂图案作为掩模对金属板进行蚀刻，从而形成贯通孔。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-39319号公报
技术实现思路
使用蒸镀掩模在基板上进行蒸镀材料的成膜的情况下，不仅基板，蒸镀掩模也附着有蒸镀材料。例如，蒸镀材料中也存在沿着相对于蒸镀掩模的法线方向大幅倾斜的方向而飞向基板的蒸镀材料，这样的蒸镀材料在到达基板前会到达蒸镀掩模的贯通孔的壁面从而附着。这种情况下，可以认为，蒸镀材料难以附着在基板中的位于蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的区域，其结果，附着的蒸镀材料的厚度比其他部分小、或者产生未附着蒸镀材料的部分。即，可以认为，蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的蒸镀不稳定。因此，在为了形成有机EL显示装置的像素而使用蒸镀掩模的情况下，像素的尺寸精度和位置精度降低，其结果，导致有机EL显示装置的发光效率降低。为了解决这样的问题，考虑将用于制造蒸镀掩模的金属板的厚度减薄。这是因为，通过减小金属板的厚度，可使蒸镀掩模的贯通孔的壁面的高度变小，由此，可降低蒸镀材料中的附着于贯通孔壁面上的蒸镀材料的比例。但是，为了得到厚度小的金属板，在轧制母材来制造金属板时需要加大轧制率。在此，轧制率是指利用(母材的厚度-金属板)/(母材的厚度)算出的值。轧制后实施了退火等热处理的情况下，通常轧制率越大，基于轧制的变形的不均匀程度也越大。例如，根据宽度方向(与母材的传送方向正交的方向)的位置，金属板的延伸率不同，其结果，金属板出现起伏形状，这是众所周知的。具体地说，可以举出：在宽度方向的端部的起伏的形状，其被称为波浪边；在宽度方向的中央部的起伏形状，其被称为中间波纹。若出现这样的起伏形状，则不能使曝光掩模充分密合于金属板上的抗蚀剂膜，其结果，可以认为在金属板上形成的贯通孔的位置精度和尺寸精度会降低。若贯通孔的位置精度和尺寸精度降低，则通过使用蒸镀掩模而得到的有机EL显示装置的像素的尺寸精度和位置精度会降低。另外，为了削减蒸镀掩模的制造成本，首先，众所周知的是，在金属板的整个区域形成2个以上的与一个有机EL显示装置对应的包含2个以上贯通孔的有效区域，其后，沿着金属板的长度方向将金属板切断为2个以上，由此，一次制作出2个以上的细长状蒸镀掩模。但是，金属板的延伸率根据宽度方向的位置而不同的情况下，切断后得到的2个以上细长状蒸镀掩模的长度不同。这种情况下，蒸镀掩模的有效区域的各贯通孔的间距在各蒸镀掩模中也不同，其结果，也可以认为，通过使用蒸镀掩模而得到的有机EL显示装置的像素的尺寸和位置因个体的不同而出现偏差。本专利技术的目的是提供可有效解决这样的问题的金属板、金属板的制造方法和蒸镀掩模的制造方法。第1的本专利技术涉及一种金属板的制造方法，该金属板通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模，其中，上述蒸镀掩模的上述贯通孔通过对上述金属板进行蚀刻而形成，上述金属板的制造方法具备下述工序：轧制工序，在该工序中，对母材进行轧制而得到上述金属板；和切断工序，在该工序中，以预定范围切掉上述金属板的宽度方向的两端，上述切断工序后的上述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同；将上述切断工序后的上述金属板的上述长度的最小值称为基准长度，将上述切断工序后的上述金属板的宽度方向的各位置处的上述金属板的上述长度与上述基准长度之差相对于上述基准长度的比例称为延伸差率时，满足以下条件(1)～(3)，(1)上述切断工序后的上述金属板的宽度方向的中央部分的上述延伸差率为10×10-5以下；(2)上述切断工序后的上述金属板的宽度方向的端部的上述延伸差率为20×10-5以下；和(3)上述端部的上述延伸差率大于上述中央部分的上述延伸差率的最大值；上述中央部分包括上述切断工序后的上述金属板的宽度方向的中央部，其是占上述金属板的宽度的40％的部分。基于本专利技术的金属板的制造方法可以进一步具备退火工序，在该工序中，将通过上述轧制工序所得到的上述金属板退火，以除去上述金属板的内部应力。在基于本专利技术的金属板的制造方法中，上述退火工序可以一边在长度方向拉伸上述金属板一边实施。在基于本专利技术的金属板的制造方法中，上述退火工序可以在上述金属板卷取于芯材上的状态下实施。在基于本专利技术的金属板的制造方法中，优选上述母材的热膨胀系数与基板的热膨胀系数同等，该基板上隔着由上述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。在基于本专利技术的金属板的制造方法中，上述母材可以含有因瓦合金材料。第2的本专利技术涉及一种金属板，该金属板是通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模的金属板，其中，上述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同，将上述金属板的上述长度的最小值称为基准长度，将上述金属板的宽度方向的各位置处的上述金属板的上述长度与上述基准长度之差相对于上述基准长度的比例称为延伸差率时，满足以下条件(1)～(3)，(1)上述金属板的宽度方向的中央部分的上述延伸差率为10×10-5以下；(2)上述金属板的宽度方向的端部的上述延伸差率为20×10-5以下；和(3)上述端部的上述延伸差率大于上述中央部分的上述延伸差率的最大值；上述中央部分包括上述金属板的宽度方向的中央部，其是占上述金属板的宽度的40％的部分。基于本专利技术的金属板的热膨胀系数优选与基板的热膨胀系数为同等的值，该基板上隔着由上述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。基于本专利技术的金属板可以含有因瓦合金材料。第3的本专利技术涉及一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于上述有效区域的周围的周围区域，其中，该制造方法包括下述工序：准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同；抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在上述金属板上形成抗蚀剂图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模的2个以上的有效区域沿着与蒸镀掩模的长度方向平行的一个方向隔着预定的间隔而排成一列，其中，该制造方法包括下述工序：准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同；抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案；和蚀刻工序，该工序中，将所述抗蚀剂图案作为掩模对所述金属板进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部；将所述金属板的所述长度的最小值称为基准长度，将所述金属板的宽度方向的各位置处的所述金属板的所述长度与所述基准长度之差相对于所述基准长度的比例称为延伸差率时，满足以下条件(1)～(3)，(1)所述金属板的宽度方向的中央部分的所述延伸差率为10×10

【技术特征摘要】
2013.01.10 JP 2013-002923;2013.08.05 JP 2013-162711.一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模的2个以上的有效区域沿着与蒸镀掩模的长度方向平行的一个方向隔着预定的间隔而排成一列，其中，该制造方法包括下述工序：准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同；抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案；和蚀刻工序，该工序中，将所述抗蚀剂图案作为掩模对所述金属板进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部；将所述金属板的所述长度的最小值称为基准长度，将所述金属板的宽度方向的各位置处的所述金属板的所述长度与所述基准长度之差相对于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：池永知加雄，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP