掩膜板用运载装置和运载系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩膜板用运载装置和运载系统，包括：支撑待运载的掩膜板的底部的第一支撑机构和第二支撑机构，第一支撑机构与第第二支撑机构平行设置，且两者沿第一水平方向延伸，第一支撑机构的支撑面和第二支撑机构的支撑面上分别设置有用于与待运载的掩膜板的一组相对侧面接触以定位掩膜板的第一转动机构和第二转动机构，第一转动机构和第二转动机构的转动轴均沿第一水平方向延伸。本实用新型专利技术提供的掩膜板用运载装置，可在运载掩膜板过程中对掩膜板进行定位，以及在掩膜板发生倾斜时对掩膜板进行调整，且调整过程中对掩膜板的磨损较小，从而能有效提升掩膜板的使用寿命。

Carrier and carrier system for masks

The utility model discloses a carrying device and a delivery system, a mask plate comprises a support for carrying the mask plate at the bottom of the first supporting mechanism and the supporting mechanism second is arranged in parallel, the first supporting mechanism and supporting mechanism of section second, and the first horizontal direction are respectively provided with the first support surface extension, supporting mechanism the support surface and the second supporting mechanism is used to mask carrying a group of opposite side contact to locate the mask plate first rotation mechanism and second rotation mechanism, rotating mechanism first rotation mechanism and second axis of rotation along the horizontal direction first. The utility model provides a mask with a carrying device, can be used for positioning the mask in a mask process, as well as the mask plate is tilted to the mask plate is adjusted, and the adjustment process in the wear of the mask plate, which can effectively improve the service life of the mask.

【技术实现步骤摘要】
掩膜板用运载装置和运载系统
本技术涉及显示
，特别涉及一种掩膜板用运载装置和运载系统。
技术介绍
目前，在制备有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)面板时，需要通过蒸镀工艺将各膜层蒸镀至面板上。在蒸镀过程中需要使用高精度金属掩膜板(以下简称掩膜板)。掩膜板一般包括固定框架(Frame)和固定于固定框架上的掩膜条(Sheet)。图1是现有技术中的一种掩膜板用运载装置的截面示意图，图2为图1所示运载装置对处于倾斜状态的掩膜板进行调整时的示意图，如图1和图2所示，该运载装置包括：平行设置的第一支撑机构1和第二支撑机构2，第一支撑机构1和第二支撑机构用2于支撑待运载的掩膜板5，第一支撑机构1的支撑面和第二支撑机构2的支撑面上分别设置有第一三角台3和第二三角台4，第一三角台1的倾斜面和第二三角台4的倾斜面可实现对位于支撑机构上的掩膜板5进行定位。具体地，两三角台倾斜面底部之间的距离等于掩膜板5的宽度。当掩膜板5倾斜时，掩膜板5的一个底角会位于相应侧的三角台的倾斜面上；此时，在重力作用下，掩膜板5位于倾斜面上的底角会顺着三角台的倾斜面下滑下来，直至掩膜板5处于水平。然而，在下滑过程中，掩膜板的边缘底角部分会发生磨损，甚至会产生毛刺凸起，从而会导致掩膜板整体不平整；此外，掩膜板的边缘底角磨损还会导致对应位置的刚性变化，对应位置的掩膜条的拉力也会变化，从而导致掩膜条产生形变。掩膜板整体不平整、掩膜条发生形变均会直接影响蒸镀效果。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜板用运载装置和运载系统。为实现上述目的，本技术提供了一种掩膜板用运载装置，包括：支撑待运载的掩膜板的底部的第一支撑机构和第二支撑机构，所述第一支撑机构与所述第二支撑机构平行设置，且两者沿第一水平方向延伸；所述第一支撑机构的支撑面和所述第二支撑机构的支撑面上分别设置有用于与待运载的掩膜板的一组相对侧面接触以定位所述掩膜板的第一转动机构和第二转动机构；所述第一转动机构和所述第二转动机构的转动轴均沿第一水平方向延伸。可选地，所述第一转动机构包括：第一轴承；所述第二转动机构包括：第二轴承。可选地，所述第一轴承的数量为多个，多个所述第一轴承沿所述第一水平方向排列；所述第二轴承的数量为多个，多个所述第二轴承沿所述第一水平方向排列。可选地，第一转动机构和所述第二转动机构的表面均设置有由耐摩材料构成的保护层。可选地，所述耐摩材料包括：不锈钢或陶瓷。可选地，还包括：驱动所述第一转动机构和所述第二转动机构沿第一水平方向进行运动的第一水平驱动机构；所述第一水平驱动机构与所述第一转动机构和所述第二转动机均连接。可选地，还包括：驱动所述第一转动机构和所述第二转动机构沿第二水平方向进行运动的第二水平驱动机构；所述第二水平驱动机构与所述第一转动机构和所述第二转动机均连接；所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直。可选地，还包括：驱动所述第一转动机构和所述第二转动机构沿竖直方向进行运动的竖直驱动机构；所述竖直驱动机构与所述第一转动机构和所述第二转动机均连接。可选地，还包括：驱动所述第一支撑机构和所述第二支撑机构沿第二水平方向进行运动的第三水平驱动机构；所述第三水平驱动机构与所述第一转动机构和所述第二转动机均连接；所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直。为实现上述目的，本技术还提供了一种运载系统，包括：运载装置，该运载装置采用上述的掩膜板用运载装置。本技术具有以下有益效果：本技术提供了一种掩膜板用运载装置和运载系统，包括：支撑待运载的掩膜板的底部的第一支撑机构和第二支撑机构，第一支撑机构与第二支撑机构平行设置，且两者沿第一水平方向延伸，第一支撑机构的支撑面和第二支撑机构的支撑面上分别设置有用于与待运载的掩膜板的一组相对侧面接触以定位掩膜板的第一转动机构和第二转动机构，第一转动机构和第二转动机构的转动轴均沿第一水平方向延伸。本技术提供的掩膜板用运载装置，可在运载掩膜板过程中对掩膜板进行定位，以及在掩膜板发生倾斜时对掩膜板进行调整，且调整过程中对掩膜板的磨损较小，从而能有效提升掩膜板的使用寿命。附图说明图1是现有技术中的一种掩膜板用运载装置的截面示意图；图2为图1所示运载装置对处于倾斜状态的掩膜板进行调整时的示意图；图3为本技术实施例一提供的一种掩膜板用运载装置的结构示意图；图4为图3中A-A向的截面示意图；图5为本技术提供的运载装置对处于倾斜状态的掩膜板进行调整时的示意图；图6为本技术中第一转动机构和第二转动机构的结构示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术提供的一种掩膜板用运载装置和运载系统进行详细描述。图3为本技术实施例一提供的一种掩膜板用运载装置的结构示意图，图4为图3中A-A向的截面示意图，如图3和图4所示，该掩膜板用运载装置包括：平行设置的第一支撑机构1和第二支撑机构2，两者沿第一水平方向X延伸，两者用于支撑待运载的掩膜板5(固定框架)的底部。第一支撑机构1的支撑面上设置有第一转动机构6，第一转动机构6的转动轴均沿第一水平方向X延伸，第一转动机构6用于与掩膜板5的第一侧面接触；第二支撑机构2的支撑面上设置有第二转动机构7，第二转动机构7的转动轴均沿第一水平方向X延伸，第二转动机构7用于与掩膜板5的第二侧面接触，第一侧面和第二侧面为掩膜板5上的一组相对侧面。在本实施例中，通过第一转动机构6和第二转动机构7可实现对位于支撑机构上的掩膜板5进行定位，以及在掩膜板5发生倾斜时，对掩膜板5进行自动调整。图5为本技术提供的运载装置对处于倾斜状态的掩膜板5进行调整时的示意图，如图5所示，以掩膜板5的第二侧面倾斜至较高位置时为例，在重力的作用下，掩膜板5的第二侧面会沿着第二转动机构7的表面向下滑动，直至掩膜板5处于水平状态。在此过程中，第二转动机构7在摩擦力的作用下也会发生逆时针转动，即第二侧面与第二转动机构7的表面之间产生滚动摩擦。需要说明的是，当掩膜板5的第一侧面倾斜至较高位置时，第一侧面与第一转动机构6的表面之间产生滚动摩擦。具体情况，此处不再进行详细描述。与现有技术相比，本技术的方案通过设置第一转动机构6和第二转动机构7，以使得掩膜板5发生倾斜时，使得处于较高位置的侧面与对应的转动机构产生滚动摩擦，以减小侧面与转动机构之间的摩擦力，从而能降低掩膜板5边缘因摩擦产生的损伤，从而能延长掩膜板5的使用寿命。图6为本技术中第一转动机构和第二转动机构的结构示意图，如图6所示，可选地，第一转动机构6包括：第一轴承601；第二转动机构7包括：第二轴承701。进一步可选地，第一轴承601的数量为多个，多个第一轴承601沿第一水平方向X排列；第二轴承701的数量为多个，多个第二轴承701沿第一水平方向X排列。本技术中，在掩膜板5的两侧均设置多个轴承，可有效提升对掩模板的定位效果。需要说明的是，上述第一转动机构6和第二转动机构7均为轴承的情况，仅起到示意性作用，其不会对本技术的技术方案产生限制。本领域技术人员应该知晓的是，本技术中的转动机构可以为任意能够进行旋转的结构。此处不再一一举例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板用运载装置，其特征在于，包括：支撑待运载的掩膜板的底部的第一支撑机构和第二支撑机构，所述第一支撑机构与所述第二支撑机构平行设置，且两者沿第一水平方向延伸；所述第一支撑机构的支撑面和所述第二支撑机构的支撑面上分别设置有用于与待运载的掩膜板的一组相对侧面接触以定位所述掩膜板的第一转动机构和第二转动机构；所述第一转动机构和所述第二转动机构的转动轴均沿第一水平方向延伸。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板用运载装置，其特征在于，包括：支撑待运载的掩膜板的底部的第一支撑机构和第二支撑机构，所述第一支撑机构与所述第二支撑机构平行设置，且两者沿第一水平方向延伸；所述第一支撑机构的支撑面和所述第二支撑机构的支撑面上分别设置有用于与待运载的掩膜板的一组相对侧面接触以定位所述掩膜板的第一转动机构和第二转动机构；所述第一转动机构和所述第二转动机构的转动轴均沿第一水平方向延伸。2.根据权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述第一转动机构包括：第一轴承；所述第二转动机构包括：第二轴承。3.根据权利要求2所述的运载装置，其特征在于，所述第一轴承的数量为多个，多个所述第一轴承沿所述第一水平方向排列；所述第二轴承的数量为多个，多个所述第二轴承沿所述第一水平方向排列。4.根据权利要求1所述的运载装置，其特征在于，第一转动机构和所述第二转动机构的表面均设置有由耐摩材料构成的保护层。5.根据权利要求4所述的运载装置，其特征在于，所述耐摩材料包括：不锈钢或陶瓷。6.根据权利要求1所述的运载装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚跃东，黄俊杰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11