一种蒸镀坩埚制造技术

技术编号:17678450 阅读:50 留言:0更新日期:2018-04-11 20:21
本实用新型专利技术涉及OLED显示器件的制程领域,具体公开了一种蒸镀坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体包括第一坩埚壁和上盖部,所述上盖部的顶端中心设有一出气孔,所述坩埚本体的第一坩埚壁内侧设有可移动的第二坩埚壁,本实用新型专利技术通过设置可移动的第二坩埚壁,第二坩埚壁会随着OLED材料的减少而向坩埚本体中间移动,使得OLED材料可以与第二坩埚壁一直保持充分接触,如此,加热功率不会有太大的波动,坩埚本体的温度也不会升高,保持加热速率稳定的同时也能防止材料发生裂化。

A kind of steamed crucible

The utility model relates to a OLED display device manufacturing field, specifically discloses an evaporation crucible comprises a crucible body, wherein the body comprises a first crucible crucible wall and the upper cover, the upper cover part of the top center is provided with a hole, the first crucible wall and the inner side of the pot body is provided with second crucible wall mobile second, the crucible wall of the utility model can be moved by setting the second crucible wall with reduced OLED material to the crucible body intermediate move, make OLED material with second crucible wall has maintained full contact, so that the heating power will not have too much volatility, the temperature of the crucible body do not rise keep the heating rate stable at the same time, can also prevent the occurrence of cracking material.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚
本技术涉及OLED显示器件的制程领域,尤其涉及一种蒸镀坩埚。
技术介绍
在平板显示行业,AMOLED(Active-MatrixOrganicLightEmittingDiode)显示器因其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色域广、高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界认为最有可能成为继液晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术。从一片大板玻璃变成一个个能显示五颜六色的AMOLED显示器的过程中需要经过一道必不可少的制程,那就是蒸镀,AMOLED显示器中的有机功能层及阴极都是通过蒸镀的方式沉积到背板上的。蒸镀过程中速率的稳定性极大的影响着显示器的性能,同时也对于工厂的产量有着极大的影响。其中坩埚是影响蒸镀过程中速率稳定的一个重要因素,其中升华型材料的速率是最不好控制的。一般的坩埚,随着升华型材料蒸发,材料和坩埚之间会形成空隙,材料无法和坩埚充分接触,很容易导致速率不稳定,且容易导致材料裂化。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供了一种能够保持加热速率稳定、防止材料发生裂化的蒸镀坩埚。为了解决上述技术问题,本技术提供的具体方案如下:一种蒸镀坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体本文档来自技高网...
一种蒸镀坩埚

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚,包括坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)包括第一坩埚壁(2)和上盖部(3),所述上盖部(3)的顶端中心设有一出气孔,其特征在于:所述坩埚本体(1)的第一坩埚壁(2)内侧设有可移动的第二坩埚壁(4)。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚,包括坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)包括第一坩埚壁(2)和上盖部(3),所述上盖部(3)的顶端中心设有一出气孔,其特征在于:所述坩埚本体(1)的第一坩埚壁(2)内侧设有可移动的第二坩埚壁(4)。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于:所述第一坩埚壁(2)和第二坩埚壁(4)之间填充有导热性好的填充材料。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚,其特征在于:所述第二坩埚壁(4)和第一坩埚壁(2)之间设有可伸缩支架(5)。4....

【专利技术属性】
技术研发人员:袁建南罗武峰蔡晓义柯贤军苏君海李建华
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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