驱动模块和包括该驱动模块的塔式升降机构制造技术

一种塔式升降机构，包括：主框架，其在垂直方向上延伸；滑架模块，其被配置成能够在垂直方向上沿着主框架移动；以及驱动模块，其被设置在主框架，用于使滑架模块在垂直方向上移动。驱动模块包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使正时皮带轮旋转。

Driving module and tower lifting mechanism including the driving module

A tower type lifting mechanism, including the main frame, which extends in the vertical direction; the slide module is configured to move along the main frame in the vertical direction; and the drive module is set in the main frame to move the slide module in the vertical direction. The driving module includes a plurality of positive time belts, which are connected to the first end of the sliding frame module and the second ends connected to the weight module; the timing pulley is configured in a single form, and has a plurality of gear parts connected to the timing belt; and the driving unit is used to rotate the timing pulley.

【技术实现步骤摘要】
驱动模块和包括该驱动模块的塔式升降机构
本专利技术涉及一种驱动模块和包括该驱动模块的塔式升降机构。更具体地说，本专利技术涉及一种使滑架模块垂直地移动来将物体升起和降下的驱动模块，以及包括该驱动模块的塔式升降机构。
技术介绍
一般来说，在半导体或者显示器制造过程中，可以通过塔式升降机构在垂直方向上在多层的洁净室之间传送半导体晶圆或者显示器基板。塔式升降机构可以包括：滑架模块，用于传送物体；主框架，其在垂直方向上延伸，在主框架安装有用于引导滑架模块的导轨；以及驱动模块，用于利用正时皮带使滑架模块在垂直方向上移动。然而，当使用各自与正时皮带相接合的多个正时皮带轮时，正时皮带可能会脱离正时皮带轮，以致会损坏正时皮带轮和正时皮带。
技术实现思路
本专利技术提供一种能够提高正时皮带轮的刚性且能够防止正时皮带脱离正时皮带轮的驱动模块。根据本专利技术的一个方案，用于使塔式升降机构的滑架模块垂直地移动的驱动模块可以包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到所述滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与所述正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使所述正时皮带轮旋转。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：导环，用于防止所述正时皮带脱离所述正时皮带轮的所述齿轮部分。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：多个抵推单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用于朝向所述正时皮带的内侧表面推压所述正时皮带的外侧表面，由此使所述正时皮带与所述正时皮带轮的所述齿轮部分形成紧密接触。根据本专利技术的一些示例性实施方式，每个所述抵推单元可以包括：推辊，用于推压所述正时皮带的所述外侧表面。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：多个对位单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用于使所述正时皮带对齐所述正时皮带轮的所述齿轮部分。根据本专利技术的一些示例性实施方式，每个所述对位单元可以包括：至少一个第一对位滚轮，其被设置在所述正时皮带之间；多个第二对位滚轮，其分别被设置在所述正时皮带的两侧；至少一个固定块，所述第一对位滚轮被安装在所述固定块；以及多个可移动块，所述第二对位滚轮各自被安装在所述可移动块，且所述可移动块被配置成能够在与所述正时皮带轮的中心轴线平行的方向上移动。根据本专利技术的一些示例性实施方式，每个所述对位单元可以进一步包括：多个第二固定块，其被设置在所述可移动块的两侧；以及多个弹性部件，其分别被设置在所述可移动块和所述第二固定块之间。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：驱动轴，其与所述正时皮带轮相联接；以及电磁制动器，其与所述驱动轴相连接。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：衬套，其被设置在所述正时皮带轮和所述驱动轴之间；以及多个键，其分别被设置在所述正时皮带轮和所述衬套之间、以及所述衬套和所述驱动轴之间。根据本专利技术的另一个方案，塔式升降机构可以包括：主框架，其在垂直方向上延伸；滑架模块，其被配置成能够在所述垂直方向上沿着所述主框架移动；以及驱动模块，其被设置在所述主框架，用于使所述滑架模块在所述垂直方向上移动。此时，所述驱动模块可以包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到所述滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与所述正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使所述正时皮带轮旋转。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：多个抵推单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用于朝向所述正时皮带的内侧表面推压所述正时皮带的外侧表面，由此使所述正时皮带与所述正时皮带轮的所述齿轮部分紧密接触。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述驱动模块可以进一步包括：多个对位单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用于使所述正时皮带对齐所述正时皮带轮的所述齿轮部分。根据本专利技术的一些示例性实施方式，每个所述对位单元可以包括：至少一个第一对位滚轮，其被设置在所述正时皮带之间；多个第二对位滚轮，其分别被设置在所述正时皮带的两侧；至少一个固定块，所述第一对位滚轮被安装在所述固定块；多个可移动块，所述第二对位滚轮各自被安装在所述可移动块，且所述可移动块被配置成能够在与所述正时皮带轮的中心轴线平行的方向上移动；多个第二固定块，其被设置在所述可移动块的两侧；以及多个弹性部件，其分别被设置在所述可移动块和所述第二固定块之间。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述塔式升降机构可以进一步包括：多个制动模块，其被安装在所述滑架模块。此时，所述制动模块能够与所述主框架紧密接触，由此防止所述滑架模块在所述正时皮带破损时落下。根据本专利技术的一些示例性实施方式，每个所述制动模块可以包括：制动盘；转动轴，其与所述制动盘相联接，且相对于所述制动盘的中心偏心设置；以及制动器驱动单元，用于使所述制动盘绕所述转动轴旋转，以使所述制动盘的外周表面与所述主框架紧密接触，从而产生制动力。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述转动轴可以向上地与所述制动盘的所述中心间隔开，且所述制动盘的所述外周表面的一部分，即位于比所述转动轴还要低的位置的部分可以与所述主框架紧密接触。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述塔式升降机构可以进一步包括：多个连接单元，用于连接所述正时皮带和所述滑架模块；且每个所述连接单元可以包括：连接托架，其被安装在所述滑架模块；连接杆，其被配置成能够穿过所述连接托架在垂直方向上移动，且其上部被连接到所述正时皮带；止动部件，其被设置在所述连接托架下方且被联接到所述连接杆，由此防止所述连接杆向上地与所述连接托架分开；以及弹性部件，其被设置在所述连接托架和所述止动部件之间，用于在所述正时皮带破损时使所述连接杆向下移动。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述制动器驱动单元可以包括：制动器驱动部件，用于提供旋转力，以使所述制动盘的所述外周表面的一部分与所述主框架紧密接触；以及止动机构，用于在所述正时皮带处于正常状态时中断所述制动盘的旋转，并且在所述正时皮带破损而处于异常状态时解除所述制动盘的所述中断状态，以使所述制动盘旋转。此时，所述止动机构能够与所述连接杆的向下移动相配合来解除所述制动盘的所述中断状态。根据本专利技术的一些示例性实施方式，所述塔式升降机构可以进一步包括：传感器，用于检测所述正时皮带是否破损。本专利技术的上述概述并不意在描述本专利技术的每个所示出的实施方式或每个实现方案。接下来的详细描述和权利要求更具体地例示了这些实施方式。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，将更充分理解本专利技术的示例性实施方式，其中：图1是示出了本专利技术的一个示例性实施方式的驱动模块和包括该驱动模块的塔式升降机构的示意图；图2是示出了如图1所示的滑架模块的示意图；图3是示出了如图1所示的驱动模块的俯视图；图4是示出了如图3所示的正时皮带轮的剖视图；图5是示出了如图3所示的抵推单元和对位单元的前视图；图6是示出了如图3所示的抵推单元和对位单元的侧视图；图7是示出了如图1所示的主框架和导轨的俯视图；图8是示出了如图2所示的制动模块和引导单元的后视图；图9和图10是示出了如图8所示的制动模块的运行状态的示意图；图11是示出了如图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动模块，用于使塔式升降机构的滑架模块垂直地移动，所述驱动模块包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到所述滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与所述正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使所述正时皮带轮旋转。

【技术特征摘要】
2016.10.31 KR 10-2016-01430211.一种驱动模块，用于使塔式升降机构的滑架模块垂直地移动，所述驱动模块包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到所述滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与所述正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使所述正时皮带轮旋转。2.根据权利要求1所述的驱动模块，进一步包括：导环，用于防止所述正时皮带脱离所述正时皮带轮的所述齿轮部分。3.根据权利要求1所述的驱动模块，进一步包括：多个抵推单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，并用于朝向所述正时皮带的内侧表面推压所述正时皮带的外侧表面，由此使所述正时皮带与所述正时皮带轮的所述齿轮部分形成紧密接触。4.根据权利要求3所述的驱动模块，其中每个所述抵推单元包括：推辊，用于推压所述正时皮带的所述外侧表面。5.根据权利要求1所述的驱动模块，进一步包括：多个对位单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用于使所述正时皮带对齐所述正时皮带轮的所述齿轮部分。6.根据权利要求5所述的驱动模块，其中每个所述对位单元包括：至少一个第一对位滚轮，其被设置在所述正时皮带之间；多个第二对位滚轮，其分别被设置在所述正时皮带的两侧；至少一个固定块，所述第一对位滚轮被安装在所述固定块；以及多个可移动块，所述第二对位滚轮各自被安装在所述可移动块，且所述可移动块被配置成能够在与所述正时皮带轮的中心轴线平行的方向上移动。7.根据权利要求6所述的驱动模块，其中每个所述对位单元进一步包括：多个第二固定块，其被设置在所述可移动块的两侧；以及多个弹性部件，其分别被设置在所述可移动块和所述第二固定块之间。8.根据权利要求1所述的驱动模块，进一步包括：驱动轴，其与所述正时皮带轮相联接；以及电磁制动器，其与所述驱动轴相连接。9.根据权利要求8所述的驱动模块，进一步包括：衬套，其被设置在所述正时皮带轮和所述驱动轴之间；以及多个键，其分别被设置在所述正时皮带轮和所述衬套之间、以及所述衬套和所述驱动轴之间。10.一种塔式升降机构，包括：主框架，其在垂直方向上延伸；滑架模块，其被配置成能够在所述垂直方向上沿着所述主框架移动；以及驱动模块，其被设置在所述主框架，用于使所述滑架模块在所述垂直方向上移动；其中，所述驱动模块包括：多个正时皮带，其分别具有被连接到所述滑架模块的第一端部和被连接到配重模块的第二端部；正时皮带轮，其以单件形式配置，且具有与所述正时皮带相接合的多个齿轮部分；以及驱动单元，用于使所述正时皮带轮旋转。11.根据权利要求10所述的塔式升降机构，其中所述驱动模块进一步包括：多个抵推单元，其分别被设置在所述正时皮带轮的两侧，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹泰烈，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR