一种柔性阵列基板及其制作方法技术

本发明专利技术提供了一种柔性阵列基板及其制作方法，所述阵列基板包括玻璃基板、柔性衬底基板、缓冲层、有源层、栅绝缘层、第一金属层、间绝缘层、柔性有机层、第二金属层以及钝化层；其中，所述柔性有机层包括至少两个第一过孔，所述第一过孔依次穿过所述间绝缘层、所述栅绝缘层以及所述缓冲层。有益效果：通过在相邻的薄膜晶体管之间设置连续的所述第一过孔，并在所述第一过孔中填充所述柔性有机材料，使得所述柔性显示面板具有更强的耐弯折性，保证了所述柔性显示面板在小曲率半径下的显示效果。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性阵列基板及其制作方法
本专利技术涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种柔性阵列基板及其制作方法。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，研发人员开发出了可折叠或卷起的柔性显示装置，与传统的刚性显示装置(即制作在玻璃等不可弯曲的基材上的显示装置)相比，柔性显示装置具有诸多优势，如重量轻、体积小、携带更为方便；更高的耐冲击性以及更强的抗震性能。随着显示技术的不断发展，柔性显示装置因其自身的可弯曲、可折叠特性，越来越多的应用于曲面显示领域、可穿戴显示领域等，因此，也成为近年来显示领域的关注热点。柔性显示面板又称为可卷曲显示器，是用柔性材料制成可视柔性面板而构成的可弯曲变形的显示装置。柔性显示面板是显示
的最热趋势之一。虽然它还没有被上市普及，但可以预见，卷轴式的PDA或者电子书阅读器已经不再遥远，而大幅面的壁挂柔性显示面板也将会很快成为现实。例如，所有可视资料，包括各种书籍、报纸、杂志和视频文件都可以通过这种显示器来呈现，而且可以随时随地观看。柔性电子显示器具有无可比拟的优势，它就像报纸一样，在需要时将其展开，使用完毕后将其卷曲甚至折叠，在保证携带方便的同时充分的兼顾了视觉效果。柔性显示成为了目前显示的潮流，其体积小，可塑性强，携带方便，形式灵活。然而要做到可以任意弯折的柔性显示装置，还有很多问题需要克服，当曲率半径做到足够小时，弯折时，无机膜层的应力变大，且不能有效释放，严重可能导致膜层不可修复的损坏，这种影响对于显示器来说非常大，需要找到一种可靠的方法，将产生的应力及时释放。
技术实现思路
本专利技术提供一种柔性阵列基板及其制作方法，以解决目前的柔性显示装置在弯折时，柔性显示装置的无机膜层的应力将变大，且不能有效的释放而导致膜层的不可修复的损坏，从而影响柔性显示装置显示效果的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提出了一种柔性阵列基板，所述柔性阵列基板包括：玻璃基板；柔性衬底基板，形成于所述玻璃基板的表面；缓冲层，形成于所述柔性衬底基板的表面；有源层，形成于所述缓冲层的表面；栅绝缘层，形成于所述有源层的表面，所述栅极绝缘层将所述有源层与所述缓冲层覆盖；第一金属层，形成于所述栅绝缘层表面，所述第一金属层经图案化处理，形成薄膜晶体管的栅极与栅线；间绝缘层，形成于所述第一金属层表面，所述间绝缘层将所述第一金属层与所述栅绝缘层覆盖；以及柔性有机层，形成于所述间绝缘层表面；第二金属层，形成于所述柔性有机层表面，所述第二金属层经图案化处理，形成源电极和漏电极，所述源电极包括第二过孔，所述漏电极包括第三过孔；钝化层，形成于所述第二金属层表面；其中，所述柔性阵列基板还包括至少两个第一过孔，所述第一过孔中所填充的材料与所述柔性有机层的材料相同。根据本专利技术一优选实施例，所述柔性有机层是通过对沉积于所述间绝缘层表面上的柔性有机材料进行图案化处理，并保留经过图案化处理的所述柔性有机材料的至少一部分来形成的；所述源电极和所述漏电极是通过对沉积于所述间绝缘层表面上的第二金属层进行图案化处理，并保留经过图案化处理的所述第二金属层的至少一部分来形成的；其中，所述源电极和所述漏电极与所述柔性有机层位于同一膜层结构上。根据本专利技术一优选实施例，所述第一过孔为连续的孔洞，所述第一过孔形成于相邻的薄膜晶体管之间；所述第一过孔依次穿过所述间绝缘层、所述栅绝缘层以及所述缓冲层。根据本专利技术一优选实施例，所述源电极、所述漏电极分别通过所述第二过孔、所述第三过孔与所述有源层相连通。根据本专利技术一优选实施例，所述第二过孔和所述第三过孔依次穿过所述柔性有机层、所述间绝缘层以及所述栅绝缘层。本专利技术还提出了一种柔性阵列基板的制作方法，所述制作方法包括：步骤S20、在栅绝缘层上沉积第一金属层，使用第一光罩对所述第一金属层实施第一光罩制程，以在所述栅绝缘层表面形成薄膜晶体管的栅极与栅线；步骤S30、在所述第一金属层上沉积间绝缘层，并在所述间绝缘层上形成至少两个第一过孔；步骤S40、在所述间绝缘层上沉积所述柔性有机层，其中，所述第一过孔中所填充的材料与所述柔性有机层的材料相同；步骤S50、在所述柔性有机层上沉积第二金属层，使用第二光罩对所述第二金属层实施第二光罩制程，以在所述柔性有机层表面形成源电极、漏电极；步骤S60、在所述第二金属层上沉积钝化层。根据本专利技术一优选实施例，所述制作方法还包括：步骤S10，提供一玻璃基板，在所述玻璃基板上依次沉积柔性衬底基板、缓冲层、有源层以及所述栅绝缘层。根据本专利技术一优选实施例，所述步骤S40包括：步骤S41、在所述间绝缘层上沉积所述柔性有机材料；步骤S42、对所述柔性有机材料进行图案化处理，并保留经过图案化处理的所述柔性有机材料中位于所述第一过孔附近的部分，以形成所述柔性有机层。根据本专利技术一优选实施例，所述步骤S50包括：步骤S51、在所述间绝缘层上沉积第二金属层；步骤S52，在所述第二金属层上涂布光刻胶；步骤S53，在所述光刻胶经曝光、显影后，对所述第二金属层进行蚀刻，以去除未被光刻胶遮挡的第二金属层，形成至少两个源电极、漏电极以及与所述源电极对应的第二过孔、与所述漏电极对应的第三过孔，其中，所述源电极和所述漏电极与所述柔性有机层位于同一膜层结构上；步骤S54，剥离光刻胶。根据本专利技术一优选实施例，所述第一过孔为连续的孔洞，所述第一过孔形成于相邻的薄膜晶体管之间，其中，所述第一过孔依次穿过所述间绝缘层、所述栅绝缘层以及所述缓冲层；所述源电极、所述漏电极分别通过所述第二过孔、所述第三过孔与所述有源层相连通，其中，所述第二过孔和所述第三过孔依次穿过所述柔性有机层、所述间绝缘层以及所述栅绝缘层。本专利技术的有益效果为：相比于现有技术，本专利技术提供的一种柔性阵列基板及其制作方法，通过在相邻的薄膜晶体管之间设置连续的第一过孔，在所述第一过孔区域内填充柔性有机材料作为支撑；此结构使得柔性显示装置在弯折时将应力及时向四周扩散，且相邻的薄膜晶体管之间互不影响，并且通过柔性的有机材料作为填充支撑材料，使得整个膜层更能耐弯折，从而保证了在小曲率半径下的显示效果。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术优选实施例一一种柔性阵列基板的膜层结构图；图2为本专利技术优选实施例一种柔性阵列基板的膜层结构俯视图设计A；图3为本专利技术优选实施例一种柔性阵列基板的膜层结构俯视图设计B；图4为本专利技术优选实施例一种柔性阵列基板的膜层结构俯视图设计C；图5为本专利技术优选实施例二一种柔性阵列基板的膜层结构图；图6为本专利技术优选实施例一种柔性阵列基板制作方法的步骤图；图7为本专利技术优选实施例三一种柔性阵列基板制作方法的工艺完成图；图8为本专利技术优选实施例四一种柔性阵列基板制作方法的工艺完成图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性阵列基板，其特征在于，包括：玻璃基板；柔性衬底基板，形成于所述玻璃基板的表面；缓冲层，形成于所述柔性衬底基板的表面；有源层，形成于所述缓冲层的表面；栅绝缘层，形成于所述有源层的表面，所述栅极绝缘层将所述有源层与所述缓冲层覆盖；第一金属层，形成于所述栅绝缘层表面，所述第一金属层经图案化处理，形成薄膜晶体管的栅极与栅线；间绝缘层，形成于所述第一金属层表面，所述间绝缘层将所述第一金属层与所述栅绝缘层覆盖；以及柔性有机层，形成于所述间绝缘层表面；第二金属层，形成于所述柔性有机层表面，所述第二金属层经图案化处理，形成源电极和漏电极，所述源电极包括第二过孔，所述漏电极包括第三过孔；钝化层，形成于所述第二金属层表面；其中，所述柔性阵列基板还包括至少两个第一过孔，所述第一过孔中所填充的材料与所述柔性有机层的材料相同。

【技术特征摘要】
1.一种柔性阵列基板，其特征在于，包括：玻璃基板；柔性衬底基板，形成于所述玻璃基板的表面；缓冲层，形成于所述柔性衬底基板的表面；有源层，形成于所述缓冲层的表面；栅绝缘层，形成于所述有源层的表面，所述栅极绝缘层将所述有源层与所述缓冲层覆盖；第一金属层，形成于所述栅绝缘层表面，所述第一金属层经图案化处理，形成薄膜晶体管的栅极与栅线；间绝缘层，形成于所述第一金属层表面，所述间绝缘层将所述第一金属层与所述栅绝缘层覆盖；以及柔性有机层，形成于所述间绝缘层表面；第二金属层，形成于所述柔性有机层表面，所述第二金属层经图案化处理，形成源电极和漏电极，所述源电极包括第二过孔，所述漏电极包括第三过孔；钝化层，形成于所述第二金属层表面；其中，所述柔性阵列基板还包括至少两个第一过孔，所述第一过孔中所填充的材料与所述柔性有机层的材料相同。2.根据权利要求1所述的柔性阵列基板，其特征在于，所述柔性有机层是通过对沉积于所述间绝缘层表面上的柔性有机材料进行图案化处理，并保留经过图案化处理的所述柔性有机材料的至少一部分来形成的；所述源电极和所述漏电极是通过对沉积于所述间绝缘层表面上的第二金属层进行图案化处理，并保留经过图案化处理的所述第二金属层的至少一部分来形成的；其中，所述源电极和所述漏电极与所述柔性有机层位于同一膜层结构上。3.根据权利要求1所述的柔性阵列基板，其特征在于，所述第一过孔为连续的孔洞，所述第一过孔形成于相邻的薄膜晶体管之间；所述第一过孔依次穿过所述间绝缘层、所述栅绝缘层以及所述缓冲层。4.根据权利要求1所述的柔性阵列基板，其特征在于，所述源电极、所述漏电极分别通过所述第二过孔、所述第三过孔与所述有源层相连通。5.根据权利要求1所述的柔性阵列基板，其特征在于，所述第二过孔和所述第三过孔依次穿过所述柔性有机层、所述间绝缘层以及所述栅绝缘层。6.一种柔性阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：步骤S20、在栅绝缘层上沉积第一金属层，使用第...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡俊艳，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42