一种自动芯片磨削设备制造技术

本发明专利技术提供一种自动芯片磨削设备，包括安全栅栏，以及设置在所述安全栅栏内的取料机械手、进料盒、磨削机床和出料盒；所述取料机械手和所述磨削机床均与所述控制装置通信连接并受控于控制装置；所述取料机械手的末端执行器包括两个夹爪，从而提高芯片加工作业的精度和安全性。

An automatic chip grinding equipment

The invention provides an automatic chip grinding device, including a safety fence, a reclaimer, a feed box, a grinding machine, and a feed box arranged in the safety fence. The reclaimer and the grinding machine are all connected to the control device and controlled by the control device. The end effector includes two clamping jaws to improve the accuracy and safety of chip processing.

【技术实现步骤摘要】
一种自动芯片磨削设备
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种自动芯片磨削设备。
技术介绍
随着科学技术的进步，自动化设备已经把人类从繁重的体力劳动、部分脑力劳动以及恶劣、危险的工作环境中解放出来，而且能扩展人的器官功能，极大地提高劳动生产率，增强人类认识世界和改造世界的能力。因此，自动化设备被广泛运用于工业生产中。在现今的生活上，机械人手臂与有人类的手臂最大区别就在于灵活度与耐力度，也就是机械手的最大优势可以重复的做同一动作在机械正常情况下永远也不会觉得累，机械手的应用也将会越来越广泛，如今较多使用的是单臂机械手，需要完成多个作业时，常采用多个机械手协作，或单机械手完成所有作业，作业效率较低。半导体晶圆芯片的制造包括：从晶体上将半导体晶圆切割下来，接下来是许多连续的去除材料的加工步骤。这些加工步骤是为了获得尽可能光滑的表面、半导体晶圆的平行侧面以及提供具有倒圆棱边的半导体晶圆。通常考虑的去除材料的加工步骤包含：半导体晶圆的棱边倒圆、研磨或双面研磨、蚀刻及抛光。在半导体晶圆芯片的加工作业中，存在大量的重复性劳动，同时对于作业环境要求较高，将机械手应用于晶圆芯片的加工作业中是当今社会发展本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动芯片磨削设备，其特征在于：包括安全栅栏，以及设置在所述安全栅栏内的取料机械手、进料盒、磨削机床和出料盒；所述取料机械手和所述磨削机床均与所述控制装置通信连接并受控于控制装置；所述取料机械手中均设置有机械手控制单元、位置检测单元、数据采集与处理单元和无线通信模块，所述机械手控制单元与所述控制装置通过无线通信模块进行通信连接，其中位置检测单元，用于获得取料机械手的机械臂与进料盒、磨削机床和出料盒之间的相对位置坐标，所述数据采集与处理单元用于接收所述相对位置坐标并向机械手控制单元和控制装置传送处理结果。

【技术特征摘要】
1.一种自动芯片磨削设备，其特征在于：包括安全栅栏，以及设置在所述安全栅栏内的取料机械手、进料盒、磨削机床和出料盒；所述取料机械手和所述磨削机床均与所述控制装置通信连接并受控于控制装置；所述取料机械手中均设置有机械手控制单元、位置检测单元、数据采集与处理单元和无线通信模块，所述机械手控制单元与所述控制装置通过无线通信模块进行通信连接，其中位置检测单元，用于获得取料机械手的机械臂与进料盒、磨削机床和出料盒之间的相对位置坐标，所述数据采集与处理单元用于接收所述相对位置坐标并向机械手控制单元和控制装置传送处理结果。2.根据权利要求1所述的一种自动芯片磨削设备，其特征在于：所述取料机械手包括基座、升降平台、大臂、前臂和末端执行器，所述升降平台设置在基座上，所述升降平台包括一升降轴，所述前臂通过第一减速电机与升降轴连...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖梓健，王昌华，
申请(专利权)人：盐城盈信通科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32