一种自清洁过滤器制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种自清洁过滤器，方便进行自清洁；提高密封性；减弱风机震动；包括风机、左法兰和右法兰，风机输入端设置有过渡管，左法兰输入端设置有吸气管；还包括左吊杆、右吊杆、水槽、转轴、左转盘、右转盘、左过滤网和右过滤网，左吊杆和右吊杆下半区域分别设置有第二转动孔和第三转动孔，第二转动孔处和第三转动孔处分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承；还包括左固定环、右固定环、环形柔性膜、左环形卡圈、右环形卡圈、两组左固定板、两组右固定板、两组第一螺栓和两组第一螺母；还包括上底板、下底板、四组弹簧、四组第二螺栓、四组第二螺母和四组支腿。

A Self-cleaning Filter

【技术实现步骤摘要】
一种自清洁过滤器
本技术涉及晶圆制造附属装置的
，特别是涉及一种自清洁过滤器。
技术介绍
众所周知，过滤器是一种用于晶圆制造过程中，对产生的粉末进行收集并处理的装置，其在晶圆制造的领域中得到了广泛的使用；现有的过滤器包括风机、过滤布袋、左法兰和右法兰，风机输入端设置有过渡管，右法兰与过渡管固定连接，左法兰与右法兰螺装连接，左法兰输入端设置有吸气管，吸气管输出端与左法兰连接，过滤布袋安装在吸气管内部；现有的过滤器使用时，风机螺装至地面，左法兰和右法兰分别与吸气管和过渡管连接，左法兰和右法兰通过第一螺栓连接，风机转动带动吸气管输入端空气流动，吸气管输入端空气和粉末沿吸气管流动，通过过滤布袋时杂质留在过滤布袋内部，需要清理时，使用者将吸气管拆开进行清理；现有的过滤器使用中发现，较难实现自清洁，使用局限性较高；密封性较差，造成除尘效率低，使用可靠性较低；风机震动，故障率较高。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种方便进行自清洁，降低使用局限性；提高密封性，提高除尘效率，提高使用可靠性；减弱风机震动，降低故障率的自清洁过滤器。本技术的一种自清洁过滤器，包括风机、左法兰和右法兰，风机输入端设置有过渡管，右法兰与过渡管固定连接，左法兰与右法兰螺装连接，左法兰输入端设置有吸气管，吸气管输出端与左法兰连接；还包括左吊杆、右吊杆、水槽、转轴、左转盘、右转盘、左过滤网和右过滤网，所述吸气管右侧壁设置有第一转动孔，第一转动孔圆周侧壁上设置有第一放置槽，第一放置槽处设置有第一O形圈，第一O形圈圆周侧壁与第一放置槽圆周侧壁连接，所述左吊杆和右吊杆顶端分别与吸气管内顶端左半区域和右半区域连接，左吊杆和右吊杆下半区域分别设置有第二转动孔和第三转动孔，第二转动孔处和第三转动孔处分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，所述左转盘和右转盘中央区域横向分别设置有第四转动孔和第五转动孔，所述左过滤网和右过滤网均呈圆柱状，左过滤网和右过滤网内部分别设置有左过滤腔和右过滤腔，左过滤网左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与左过滤腔连通，右过滤网左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第三连接口和第四连接口，第三连接口和第四连接口均与右过滤腔连通，左转盘和右转盘分别位于左过滤网内和右过滤网内，并且左转盘和右转盘分别与左过滤网和右过滤网固定连接，转轴左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，转轴与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，转轴与左转盘和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴外侧壁固定连接，吸气管底端设置有清洗孔，所述水槽内部设置有清洗腔，水槽顶侧壁清洗口，清洗口与清洗腔连通，水槽顶端密封安装在清洗孔处，并且清洗口与清洗孔连通，水槽右侧壁底端和左侧壁上半区域分别设置有进水管和出水管，进水管和出水管上分别设置有进水阀门和出水阀门，左过滤网和右过滤网下半区域位于清洗腔内部，转轴右端设置有传动轴，传动轴左端与转轴右端连接，传动轴右端设置有电机，左转盘和右转盘分别横向设置有多组通气孔；还包括左固定环、右固定环、环形柔性膜、左环形卡圈、右环形卡圈、两组左固定板、两组右固定板、两组第一螺栓和两组第一螺母，所述吸气管和过渡管分别穿过左固定环和右固定环，并且吸气管和过渡管分别与左固定环和右固定环固定连接，所述环形柔性膜内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环和右固定环圆周外壁接触，所述左环形卡圈和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜外侧壁左半区域和右半区域接触，所述两组左固定板底端分别与左环形卡圈前半区域和后半区域顶端连接，两组左固定板中央区域分别设置有两组左固定孔，一组所述第一螺栓穿过两组左固定孔，一组所述第一螺母螺装至一组所述第一螺栓上，所述两组右固定板底端分别与右环形卡圈前半区域和后半区域顶端连接，两组右固定板前半区域分别设置有两组右固定孔，另一组所述第一螺栓穿过两组右固定孔，另一组所述第一螺母螺装至另一组所述第一螺栓上；还包括上底板、下底板、四组弹簧、四组第二螺栓、四组第二螺母和四组支腿，所述风机底侧壁与上底板顶侧壁接触，上底板顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组螺纹槽，四组螺纹槽内侧壁上分别设置有内螺纹，上底板左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上固定孔，所述下底板左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下固定孔，上底板底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上卡装槽，下底板顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下卡装槽，所述四组弹簧顶端和底端分别插入四组上卡装槽内和四组下卡装槽内，每组所述第二螺栓均穿过一组上固定孔和一组下固定孔，每组所述第二螺母分别螺装至每组所述第二螺栓上，所述四组支腿顶端分别与下底板底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接。本技术的一种自清洁过滤器，所述水槽底端呈倾斜状。本技术的一种自清洁过滤器，所述水槽底侧壁右半区域连通设置有排污管，排污管输出端连通设置有排污阀门。本技术的一种自清洁过滤器，还包括多组刷毛，所述多组刷毛分别安装在左过滤网和右过滤网圆周外壁上，并且部分多组刷毛与吸气管内侧壁接触。本技术的一种自清洁过滤器，吸气管上连通设置有U形管，U形管中央区域底端连通设置有排水管，排水管输出端连通设置有排水阀门。本技术的一种自清洁过滤器，还包括支撑杆，所述支撑杆上半区域设置有贯通孔，贯通孔处设置有第三滚珠轴承，所述传动轴穿过第三滚珠轴承并且与第三滚珠轴承键连接。本技术的一种自清洁过滤器，还包括四组保护盖，所述四组保护盖中央区域分别设置有四组保护孔，四组保护盖分别安装在第一滚珠轴承和第二滚珠轴承处。本技术的一种自清洁过滤器，还包括四组碟簧垫片，所述四组第二螺栓分别穿过四组碟簧垫片，四组碟簧垫片顶端均与下底板底侧壁接触，四组碟簧垫片底端分别与四组第二螺母顶端接触。与现有技术相比本技术的有益效果为：转轴穿过第一转动孔，第一转动孔处设置有第一O形圈，第一O形圈有良好的密封性，降低转轴转动时吸气管内气体泄漏的可能性，左吊杆和右吊杆顶端分别与吸气管内顶端连接，左吊杆和右吊杆分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，左转盘和右转盘分别位于左过滤网和右过滤网内部，并且左转盘和右转盘分别与左过滤网和右过滤网固定连接，转轴左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，转轴与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，转轴与左转盘和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴外侧壁固定连接，使用者将电机通电，电机转动带动传动轴转动，从而转轴在第一滚珠轴承和第二滚珠轴承的作用下转动，转轴转动带动左转盘、右转盘、左过滤网和右过滤网转动，吸气管底端连通设置有水槽，水槽顶端密封安装在清洗孔处，使用者将进水管与外界水源连通，打开进水阀门和出水阀门，外界水源沿进水管进入水槽，左过滤网和右过滤网下半区域均位于水位以下，吸气管内粉末通过左过滤网和右过滤网时，粉末被拦截在左过滤网和右过滤网侧壁上，气体沿多组通气孔穿过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自清洁过滤器，包括风机（1）、左法兰（2）和右法兰（3），风机（1）输入端设置有过渡管（4），右法兰（3）与过渡管（4）固定连接，左法兰（2）与右法兰（3）螺装连接，左法兰（2）输入端设置有吸气管（5），吸气管（5）输出端与左法兰（2）连接；其特征在于，还包括左吊杆（6）、右吊杆、水槽（7）、转轴（8）、左转盘（9）、右转盘、左过滤网（10）和右过滤网，所述吸气管（5）右侧壁设置有第一转动孔，第一转动孔圆周侧壁上设置有第一放置槽，第一放置槽处设置有第一O形圈，第一O形圈圆周侧壁与第一放置槽圆周侧壁连接，所述左吊杆（6）和右吊杆顶端分别与吸气管（5）内顶端左半区域和右半区域连接，左吊杆（6）和右吊杆下半区域分别设置有第二转动孔和第三转动孔，第二转动孔处和第三转动孔处分别设置有第一滚珠轴承（11）和第二滚珠轴承，所述左转盘（9）和右转盘中央区域横向分别设置有第四转动孔和第五转动孔，所述左过滤网（10）和右过滤网均呈圆柱状，左过滤网（10）和右过滤网内部分别设置有左过滤腔和右过滤腔，左过滤网（10）左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与左过滤腔连通，右过滤网左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第三连接口和第四连接口，第三连接口和第四连接口均与右过滤腔连通，左转盘（9）和右转盘分别位于左过滤网（10）内和右过滤网内，并且左转盘（9）和右转盘分别与左过滤网（10）和右过滤网固定连接，转轴（8）左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承（11）和第二滚珠轴承，转轴（8）与第一滚珠轴承（11）和第二滚珠轴承键连接，转轴（8）与左转盘（9）和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴（8）外侧壁固定连接，吸气管（5）底端设置有清洗孔，所述水槽（7）内部设置有清洗腔，水槽（7）顶侧壁清洗口，清洗口与清洗腔连通，水槽（7）顶端密封安装在清洗孔处，并且清洗口与清洗孔连通，水槽（7）右侧壁底端和左侧壁上半区域分别设置有进水管（12）和出水管（13），进水管（12）和出水管（13）上分别设置有进水阀门和出水阀门，左过滤网（10）和右过滤网下半区域位于清洗腔内部，转轴（8）右端设置有传动轴（14），传动轴（14）左端与转轴（8）右端连接，传动轴（14）右端设置有电机，左转盘（9）和右转盘分别横向设置有多组通气孔；还包括左固定环（15）、右固定环、环形柔性膜（16）、左环形卡圈（17）、右环形卡圈、两组左固定板（18）、两组右固定板、两组第一螺栓（19）和两组第一螺母（20），所述吸气管（5）和过渡管（4）分别穿过左固定环（15）和右固定环，并且吸气管（5）和过渡管（4）分别与左固定环（15）和右固定环固定连接，所述环形柔性膜（16）内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环（15）和右固定环圆周外壁接触，所述左环形卡圈（17）和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜（16）外侧壁左半区域和右半区域接触，所述两组左固定板（18）底端分别与左环形卡圈（17）前半区域和后半区域顶端连接，两组左固定板（18）中央区域分别设置有两组左固定孔，一组所述第一螺栓（19）穿过两组左固定孔，一组所述第一螺母（20）螺装至一组所述第一螺栓（19）上，所述两组右固定板底端分别与右环形卡圈前半区域和后半区域顶端连接，两组右固定板前半区域分别设置有两组右固定孔，另一组所述第一螺栓（19）穿过两组右固定孔，另一组所述第一螺母（20）螺装至另一组所述第一螺栓（19）上；还包括上底板（21）、下底板（22）、四组弹簧（23）、四组第二螺栓（24）、四组第二螺母（25）和四组支腿（26），所述风机（1）底侧壁与上底板（21）顶侧壁接触，上底板（21）顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组螺纹槽，四组螺纹槽内侧壁上分别设置有内螺纹，上底板（21）左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上固定孔，所述下底板（22）左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下固定孔，上底板（21）底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上卡装槽，下底板（22）顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下卡装槽，所述四组弹簧（23）顶端和底端分别插入四组上卡装槽内和四组下卡装槽内，每组所述第二螺栓（24）均穿过一组上固定孔和一组下固定孔，每组所述第二螺母（25）分别螺装至每组所述第二螺栓（24）上，所述四组支腿（26）顶端分别与下底板（22）底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接。...

【技术特征摘要】
1.一种自清洁过滤器，包括风机（1）、左法兰（2）和右法兰（3），风机（1）输入端设置有过渡管（4），右法兰（3）与过渡管（4）固定连接，左法兰（2）与右法兰（3）螺装连接，左法兰（2）输入端设置有吸气管（5），吸气管（5）输出端与左法兰（2）连接；其特征在于，还包括左吊杆（6）、右吊杆、水槽（7）、转轴（8）、左转盘（9）、右转盘、左过滤网（10）和右过滤网，所述吸气管（5）右侧壁设置有第一转动孔，第一转动孔圆周侧壁上设置有第一放置槽，第一放置槽处设置有第一O形圈，第一O形圈圆周侧壁与第一放置槽圆周侧壁连接，所述左吊杆（6）和右吊杆顶端分别与吸气管（5）内顶端左半区域和右半区域连接，左吊杆（6）和右吊杆下半区域分别设置有第二转动孔和第三转动孔，第二转动孔处和第三转动孔处分别设置有第一滚珠轴承（11）和第二滚珠轴承，所述左转盘（9）和右转盘中央区域横向分别设置有第四转动孔和第五转动孔，所述左过滤网（10）和右过滤网均呈圆柱状，左过滤网（10）和右过滤网内部分别设置有左过滤腔和右过滤腔，左过滤网（10）左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与左过滤腔连通，右过滤网左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第三连接口和第四连接口，第三连接口和第四连接口均与右过滤腔连通，左转盘（9）和右转盘分别位于左过滤网（10）内和右过滤网内，并且左转盘（9）和右转盘分别与左过滤网（10）和右过滤网固定连接，转轴（8）左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承（11）和第二滚珠轴承，转轴（8）与第一滚珠轴承（11）和第二滚珠轴承键连接，转轴（8）与左转盘（9）和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴（8）外侧壁固定连接，吸气管（5）底端设置有清洗孔，所述水槽（7）内部设置有清洗腔，水槽（7）顶侧壁清洗口，清洗口与清洗腔连通，水槽（7）顶端密封安装在清洗孔处，并且清洗口与清洗孔连通，水槽（7）右侧壁底端和左侧壁上半区域分别设置有进水管（12）和出水管（13），进水管（12）和出水管（13）上分别设置有进水阀门和出水阀门，左过滤网（10）和右过滤网下半区域位于清洗腔内部，转轴（8）右端设置有传动轴（14），传动轴（14）左端与转轴（8）右端连接，传动轴（14）右端设置有电机，左转盘（9）和右转盘分别横向设置有多组通气孔；还包括左固定环（15）、右固定环、环形柔性膜（16）、左环形卡圈（17）、右环形卡圈、两组左固定板（18）、两组右固定板、两组第一螺栓（19）和两组第一螺母（20），所述吸气管（5）和过渡管（4）分别穿过左固定环（15）和右固定环，并且吸气管（5）和过渡管（4）分别与左固定环（15）和右固定环固定连接，所述环形柔性膜（16）内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环（15）和右固定环圆周外壁接触，所述左环形卡圈（17）和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜（16）外侧壁左半区域和右半区域接触，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：盐城盈信通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32