The utility model discloses a manipulator and multi reaction chamber can accurately control the quantity of flex boat on the system, the manipulator can accurately control the quantity of flex comprises a connecting arm is movably connected with the connecting arm, and along the straight reciprocating motion activities are installed on the connecting arm gripper, the first magnetic scale, motion the direction of the length direction of the first magnetic scale and gripper parallel gripper activities are installed on the first magnetic displacement sensor, detecting a first magnetic displacement sensor toward the first end of the magnetic ruler. The detection end of the first magnetic displacement sensor moves along the length direction of the first magnetic ruler when the movable hand is reciprocating on the arm. The utility model has the advantages of simple structure, accurate control, easy to debug and so on.
【技术实现步骤摘要】
可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统
本技术涉及机械手
,尤其涉及一种可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统。
技术介绍
机械手是扩散炉或PECVD设备上用于传送舟的一套机械传动结构,通过机械手可以实现舟在上下及前后方向各个位置上的传输。如图1所示,其中传输前后方向上依次设置有:安装于立柱4上的暂存架5、中间的升降通道8、推舟机构6的SIC桨,暂存架5用来摆放已工艺或待工艺的舟7,SIC桨用于将已工艺/待工艺的舟7从石英管内取出/送入;升降通道8是机械手上升及下降的运行区域,传输的上下位置为每管的SIC桨及各个暂存架位置。机械手在暂存架5或SIC桨上取放舟7后,均需先退回升降通道8,上升或下降至需要的高度,再运行下一步动作。如图1所示,理论上每管推舟机构6的SIC桨位置在同一垂直中心上。但是,如图2所示,由于设备的机架存在变形,且变形的程度根据设备的尺寸加大而增加,所以导致每一管推舟机构6的SIC桨位置存在些许差异,实际每管SIC桨位置的中心可能会在理论的垂直中心上存在偏差。从而机械手在每管推舟机构7的SIC桨上取舟7时所需运行的尺寸也不一致。而传统的机械手手臂运动时是以限位光电来定位,即A点启动B点停止,运行尺寸固定,无法控制每管的手臂及手爪运行尺寸,这使得当设备变形较大时现场调试十分困难。因此,如何设计一种结构简单、可精确控制伸缩量、且便于调试的机械手是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述缺陷,本技术提出一种可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统,该机械手的伸缩量可精确控制,有效弥补取拿位置不在同一垂直 ...
【技术保护点】
一种可精确控制伸缩量的机械手,包括:连接手臂、活动连接在所述连接手臂上且沿其直线往复运动的活动手爪,其特征在于,所述连接手臂上安装有第一磁尺,所述第一磁尺的长度方向与所述活动手爪的运动方向相互平行,所述活动手爪上安装有第一磁性位移传感器,所述第一磁性位移传感器的检测端朝向所述第一磁尺;所述活动手爪在连接手臂上往复运动时,所述第一磁性位移传感器的检测端沿所述第一磁尺的长度方向移动。
【技术特征摘要】
1.一种可精确控制伸缩量的机械手,包括:连接手臂、活动连接在所述连接手臂上且沿其直线往复运动的活动手爪,其特征在于,所述连接手臂上安装有第一磁尺,所述第一磁尺的长度方向与所述活动手爪的运动方向相互平行,所述活动手爪上安装有第一磁性位移传感器,所述第一磁性位移传感器的检测端朝向所述第一磁尺;所述活动手爪在连接手臂上往复运动时,所述第一磁性位移传感器的检测端沿所述第一磁尺的长度方向移动。2.如权利要求1所述的机械手,其特征在于,所述连接手臂的底部设有第一滑轨,所述活动手爪的顶部固定有活动套在所述第一滑轨上的第一滑块,所述第一滑块连接有推动其运动的第一电动机构,所述第一磁尺安装在所述连接手臂的底部,所述第一磁性位移传感器安装在所述活动手爪的顶部。3.如权利要求1或2所述的机械手,其特征在于,所述连接手臂活动连接在一固定手臂上,且沿所述固定手臂直线往复运动,所述固定手臂上安装有第二磁尺,所述第二磁尺的长度方向与所述连接手臂的运动方向相互平行,所述连接手臂上安装有第二磁性位移传感器,所述第二磁性位移传感器的检测端朝向所述第二磁尺;所述连接手臂在固定手臂上往复运动时,所述第二磁性位移传感器的检测端沿所述第二磁尺的长度方向移动。4.如权利要求3所述的机械手,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖岳南,张勇,
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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