抑制极电源及离子注入机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种抑制极电源及离子注入机，涉及半导体元器件生产技术领域，该抑制极电源包括：电源箱体和电源电路；电源电路固定设置于电源箱体内；电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；滤波电路的输出端输出直流高压；保护电路包括接地的保护电阻；输出端与保护电阻连接；联锁电路与输出端连接，包括固态继电器，固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。本实用新型专利技术实施例提供的抑制极电源，可以提供平滑稳定可靠电压，具有体积小、重量轻、结构紧凑，发热量小的特点，维护简单且使用安全。

Suppressor power supply and ion injector

【技术实现步骤摘要】
抑制极电源及离子注入机
本技术涉及半导体元器件生产
，尤其是涉及一种抑制极电源及离子注入机。
技术介绍
随着半导体领域的飞速发展，半导体元器件越来越精密，其中离子注入机是半导体领域的关键设备。半导体元器件离子注入过程中，抑制极电源在注入机的终端法拉第线性加速器中起着抑制二次电子和隔离高能量连锁的作用，对电源电压质量要求较高，如果抑制极电源质量不好，直接影响注入机故障频率和生产效率。由于350D/CF3000/300XP/CF5型注入机生产年代较早，抑制极电源在设计上采用一体油浸变压包，使在长时间工作后，易造成变压包体鼓包漏油，内部损毁，导致设备异常停机，而设备工程师不能独自完成维修，需要专业厂家维修，维修成本高，周期长，严重影响注入机生产效率。针对现有技术中作为抑制极电源的一体油浸变压包存在的容易损坏的问题，目前尚未提出有效解决方案。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种抑制极电源及离子注入机，散热性能好且运行安全可靠。第一方面，本技术实施例提供了一种抑制极电源，应用于离子注入机，包括：电源箱体和电源电路；电源电路固定设置于电源箱体内；电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；滤波电路的输出端输出直流高压；保护电路包括接地的保护电阻；输出端与保护电阻连接；联锁电路与输出端连接，包括固态继电器，固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，电源箱体包括箱体盒和底部的底板，电源电路固定设置于箱体盒内壁板上。结合第一方面的第一种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，交流升压变压器是干式变压器，干式变压器固定于箱体盒的上端；在箱体盒侧壁板上均匀分布多个孔位，多个功率电阻通过绝缘柱分别固定在孔位内；固态继电器和滤波电路的滤波电容固定于箱体盒内顶壁。结合第一方面的第一种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，电源箱体下端的壁板上安装有插头，插头用于与离子注入机的电源控制装置连接。结合第一方面的第一种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，电源箱体左右任一侧的壁板设置有输出孔，高压输出线由输出孔穿出用于向离子注入机供电。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第五种可能的实施方式，电源电路还包括指示电路；指示电路与交流升压变压器的输入侧，用于指示抑制极电源的工作状态。结合第一方面的第五种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，指示电路包括电源指示灯。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第七种可能的实施方式，电源电路还包括熔断器；熔断器设置于交流升压变压器的输入侧与交流电源之间。结合第一方面的第一种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，底板为绝缘材料制成。第二方面，本技术实施例还提供一种离子注入机，包括第一方面及其各可能实施方式之一提供的抑制极电源，还包括离子源、质量分析器、加速器、透镜和靶室；抑制极电源与加速器连接。本技术实施例带来了以下有益效果：本技术实施例提供的抑制极电源及离子注入机，电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；保护电路包括接地的保护电阻；输出端与保护电阻连接；联锁电路与输出端连接，包括固态继电器，固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源；可以提供平滑稳定可靠电压，具有体积小、重量轻、结构紧凑，发热量小的特点，工作时不用单独降温系统，自然降温即可，维护简单且使用安全。本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的一种抑制极电源的结构示意图；图2为本技术实施例提供的一种抑制极电源的电源电路的电路图；图3为抑制极电源结构主示意图；图4为抑制极电源结构右视示意图。图标：100-电源箱体；200-电源电路；21-指示电路；22-交流升压变压器；23-整流电路；24-滤波电路；25-联锁电路；31-电源箱体；32-干式变压器线圈；33-支柱；34-插头；35-固定孔；36-输出孔；41-孔位；42-功率电阻；43-固态继电器；44-滤波电容；45-电源指示灯；46-熔断器；47-整流模块；48-保护电阻；49-箱体穿线孔。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。目前部分离子注入机的抑制极电源在设计上采用一体油浸变压包的方式，使在长时间工作后，易造成变压包体鼓包漏油，内部损毁，导致设备异常停机，影响注入机生产效率，基于此，本技术实施例提供的一种抑制极电源及离子注入机，可以提高散热性能且运行安全可靠。为便于对本实施例进行理解，首先对本技术实施例所公开的一种抑制极电源进行详细介绍。实施例1本技术实施例1提供了一种抑制极电源，应用于离子注入机，参见图1所示的抑制极电源的结构示意图，包括：电源箱体100和电源电路200。其中，电源电路200固定设置于电源箱体100内。具体地，电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路。交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；滤波电路的输出端输出直流高压；保护电路包括接地的保护电阻；输出端与保护电阻连接；联锁电路与输出端连接，包括固态继电器，固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。考虑到指示抑制极电源通电情况的需要，进一步上述电源电路还包括指示电路；指示电路与交流升压变压器的输入侧，用于指示抑制极电源的工作状态。其中指示电路包括电源指示灯，该电源指示灯可以使用发光二极管。出于保障抑制极电源使用安全的要求，上述电源电路还包括熔断器；熔断器设置于交流升压变压器的输入侧与交流电源之间。参见图2所示的电源电路的电路图，其中输入电源电路的交流电的电压为110-120AC、50/60HZ。在图2中示出了指示电路21、交流升压变压器22、整流电路23、滤波电路24和联锁电路25。输入的交流电先经过熔断器F1，再经过指示电路21，发光二极管DS本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抑制极电源，其特征在于，应用于离子注入机，包括：电源箱体和电源电路；所述电源电路固定设置于所述电源箱体内；所述电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；所述交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；所述交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；所述滤波电路的输出端输出直流高压；所述保护电路包括接地的保护电阻；所述输出端与所述保护电阻连接；所述联锁电路与所述输出端连接，包括固态继电器，所述固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。

【技术特征摘要】
1.一种抑制极电源，其特征在于，应用于离子注入机，包括：电源箱体和电源电路；所述电源电路固定设置于所述电源箱体内；所述电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；所述交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；所述交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；所述滤波电路的输出端输出直流高压；所述保护电路包括接地的保护电阻；所述输出端与所述保护电阻连接；所述联锁电路与所述输出端连接，包括固态继电器，所述固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。2.根据权利要求1所述的抑制极电源，其特征在于，所述电源箱体包括箱体盒和底板，所述电源电路固定设置于所述箱体盒内壁板上。3.根据权利要求2所述的抑制极电源，其特征在于，所述交流升压变压器是干式变压器，所述干式变压器固定于所述箱体盒的上端；在所述箱体盒侧壁板上均匀分布多个孔位，多个功率电阻通过绝缘柱分别固定在所述孔位内；所述固态继电器和所述滤波电路的滤波电容固定于所述箱体盒内顶壁。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：奚志有，李东平，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22