坐标校正方法和坐标测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及坐标校正方法和坐标测定装置。前级校正步骤包括：将测定探头(300PR)配置于驱动机构(220PR)；限制测定触头(306PR)；分别获取移动量(Mpr)和探头输出(Ppr)；生成用于校正探头输出(Ppr)的由线性校正元素(ALE)和非线性校正元素(ANLE)构成的前级校正矩阵(AA)。后级校正步骤包括：将测定探头(300)配置于驱动机构(220)；限制测定触头(306)；分别获取移动量(M)和探头输出(P)；生成用于校正探头输出(P)的由线性校正元素(BLE)构成的中间校正矩阵(BB)；利用基于中间校正矩阵(BB)和前级校正矩阵(AA)生成的后级校正矩阵(EE)校正探头输出(P)。

Coordinate calibration method and coordinate measuring device

The present invention relates to a coordinate correction method and a coordinate measuring device. First order correction steps as follows: the measuring probe (300PR) is arranged on the drive mechanism (220PR); limit determination of contact (306PR); to obtain displacement (Mpr) and probe output (Ppr); generated for correcting probe output (Ppr) by linear correction elements (ALE) and non linear correction elements (ANLE before a correction matrix) (AA). After the calibration steps are as follows: (300) measuring probe is arranged on the drive mechanism (220); limit determination of contact (306); to obtain displacement (M) and probe output (P); generated for correcting probe output (P) by linear correction elements (BLE) constitute a positive matrix (middle school BB); using intermediate correction based on the matrix (BB) and pre correction matrix (AA) level generation correction matrix (EE) probe calibration output (P).

【技术实现步骤摘要】
坐标校正方法和坐标测定装置2016年8月26日提交的日本专利申请2016-166345的包括说明书、附图和权利要求书的全部内容通过引用而被包含于此。
本专利技术涉及一种坐标校正方法和坐标测定装置，特别是涉及一种能够校正从测定探头输出的探头输出的非线性误差并且能够使紧挨着测定之前的校正简单化的坐标校正方法和坐标测定装置。
技术介绍
以往，已知一种坐标测定装置，具备：测定探头，其具备测针和探头主体，该测针具有用于与被测定物接触的测定触头(接触构件)，该探头主体将该测针以能够移动的方式支承，按照该测定触头的位移进行探头输出；驱动机构，其用于保持该测定探头并使该测定探头移动；以及处理装置，其基于该探头输出和由该驱动机构使该测定探头移动的移动量运算所述被测定物的形状坐标。在该处理装置中，通过将驱动机构使测定探头在坐标测定装置的坐标系即装置坐标系上的移动量{xm，ym，zm}T(称为M)与在测定探头的坐标系即探头坐标系的探头输出{xp，yp，zp}T(称为P)相加，能够运算式(1)所示的形状坐标{x，y，z}T(称为XX)。在此，在日本专利5297787号公报(以下称为日本专利文献1)中，为了降本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坐标校正方法，是使用于第一坐标测定装置的坐标校正方法，该第一坐标测定装置具备：第一测定探头，其具备第一测针和探头主体，该第一测针具有用于与被测定物接触的第一测定触头，该探头主体将该第一测针以能够移动的方式支承，并按照该第一测定触头的位移进行第一探头输出；第一驱动机构，其使该第一测定探头相对于所述被测定物相对地移动；以及第一处理装置，其基于该第一探头输出和由该第一驱动机构使该第一测定探头移动的第一移动量运算所述被测定物的形状坐标，该坐标校正方法的特征在于，作为前级校正步骤，包括以下步骤：将第二测定探头配置于第二坐标测定装置的第二驱动机构，该第二坐标测定装置具备所述第二驱动机构和第二处理装置，...

【技术特征摘要】
2016.08.26 JP 2016-1663451.一种坐标校正方法，是使用于第一坐标测定装置的坐标校正方法，该第一坐标测定装置具备：第一测定探头，其具备第一测针和探头主体，该第一测针具有用于与被测定物接触的第一测定触头，该探头主体将该第一测针以能够移动的方式支承，并按照该第一测定触头的位移进行第一探头输出；第一驱动机构，其使该第一测定探头相对于所述被测定物相对地移动；以及第一处理装置，其基于该第一探头输出和由该第一驱动机构使该第一测定探头移动的第一移动量运算所述被测定物的形状坐标，该坐标校正方法的特征在于，作为前级校正步骤，包括以下步骤：将第二测定探头配置于第二坐标测定装置的第二驱动机构，该第二坐标测定装置具备所述第二驱动机构和第二处理装置，该第二驱动机构使所述第二测定探头移动，该第二测定探头具备将具有第二测定触头的第二测针以能够移动的方式支承的所述探头主体，该第二处理装置基于按照所述第二测定触头的位移的第二探头输出和由该第二驱动机构使该第二测定探头移动的第二移动量求出能够对针对该第二移动量的该第二探头输出进行校正的前级校正矩阵；限制所述第二测定触头的平动位移；在由所述第二驱动机构使所述第二测定探头进行了移动时分别获取所述第二移动量和所述第二探头输出；以及使用所述第二移动量和所述第二探头输出来生成所述前级校正矩阵，所述前级校正矩阵由分别用于对所述第二探头输出的线性坐标成分和非线性坐标成分进行校正的第二线性校正元素和第二非线性校正元素构成，所述第二移动量和所述第二探头输出是在该第二线性校正元素的数量与该第二非线性校正元素的数量的合计数以上的测定点处分别获取的，作为后级校正步骤，包括以下步骤：将所述第一测定探头配置于所述第一驱动机构；限制所述第一测定触头的平动位移；在由所述第一驱动机构使所述第一测定探头进行了移动时分别获取所述第一移动量和所述第一探头输出；使用所述第一移动量和所述第一探头输出来生成由用于对该第一探头输出的线性坐标成分进行校正的第一线性校正元素构成的中间校正矩阵；以及利用基于所述中间校正矩阵和所述前级校正矩阵生成的后级校正矩阵来校正所述第一探头输出。2.根据权利要求1所述的坐标校正方法，其特征在于，作为所述前级校正步骤，还包括以下步骤：将仅由所述第二线性校正元素构成的前级线性校正矩阵的逆矩阵与所述前级校正矩阵相乘来生成前级中间校正矩阵，作为所述后级校正步骤，还包括以下步骤：使用所述前级中间校正矩阵生成所述后级校正矩阵。3.根据权利要求2所述的坐标校正方法，其特征在于，利用基于所述中间校正矩阵和所述前级校正矩阵生成的后级校正矩阵来校正所述第一探头输出的步骤包括以下步骤：将所述中间校正矩阵与所述前级中间校正矩阵相乘来生成所述后级校正矩阵。4.根据权利要求2所述的坐标校正方法，其特征在于，作为所述前级校正步骤，还包括以下步骤：与所述第二测定探头的不同的形态数对应地变更该第二测定探头的形态，重复进行从将该第二测定探头配置于所述第二驱动机构的步骤至生成所述前级校正矩阵的步骤；以及基于多个该前级校正矩阵，生成所述第二线性校正元素或该第二测定探头的形态与所述前级中间校正矩阵的非线性校正元素之间的相关关系，利用基于所述中间校正矩阵和所述前级校正矩阵生成的后级校正矩阵来校正所述第一探头输出的步骤包括以下步骤：使用所述相关关系求出所述第一线性校正元素来代替所述第二线性校正元素，或者使用所述相关关系求出与所述第一测定探头的形态对应的所述前级中间校正矩阵的非线性校正元素来代替与所述第二测定探头的形态对应的非线性校正元素；以及利用所述第一线性校正元素和该前级中间校正矩阵的非线性校正元素生成所述后级校正矩阵。5.根据权利要求4所述的坐标校正方法，其特征在于，所述第二测定探头的不同的形态数基于所述第二测针的不同的形态数，并且所述第一测定探头的形态基于所述第一测针的形态。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的坐标校正方法，其特征在于，限制所述第二测定触头的平动位移的步骤被设为如下的步骤：在该第二测定触头的位移为0的基准位置处限制该第二测定触头的平动位移，且不限制该第二测定触头的以其中心位置为旋转中心的旋转位移，在由所述第二驱动机构使所述第二测定探头进行了移动时分别获取所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川英幸，石川修弘，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP