处理装置、处理系统以及坐标校正方法制造方法及图纸

一种能够在减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际的坐标的偏差的处理装置、处理系统以及坐标校正方法，基板检查/测量装置(10)确定输送台(13)上载置的基板W中的模型的实际坐标，并将确定后的实际坐标登记到制程中(步骤S?114)，上述基板检查/测量装置(10)根据存储有基板W中的模型的检查/测量坐标的制程，对输送台(13)上载置的基板W中的模型进行检查/测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
以往，例如在对具有玻璃基板等较宽的处理对象面的基板进行检查、测量等处理的处理装置中，在检查/测量处理对象面的特定位置时，根据制程(recipe)中所登记的坐标来移动载置基板的载置台以及检查/测量单元。但是，制程中所登记的对象图案的坐标与载置台上的实际的对象图案的坐标未必一致。因此，例如在下面所示的专利文献1中，将载置有基板的检测载置台的与距离载置台原点的移动量相应的移动校正量预先存储到基板移动时的制程中，对于同一品种的基板，按照对所确定的坐标数据附加移动校正量而得到的坐标数据来移动基板。专利文献1 日本专利特开2002-107137号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在上述现有技术中，当制程中所登记的对象图案的坐标偏离实际的对象图案的坐标时，需要以手动的方式来确定实际的坐标并求得移动校正量。因此，在现有技术中存在如下问题容易增加处理工序和使工序复杂化、容易降低处理装置的生产效率。因此本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际的坐标的偏差的。用于解决问题的方案为了达成所涉及的目的，本专利技术的处理装置根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，该处理装置的特征在于，具备实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。另外，本专利技术的处理系统的特征在于，具备处理装置，其根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理；以及网络，其与多个上述处理装置相连接，其中，上述处理装置具有实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中；以及通信部，其向网络发送通过上述实际坐标登记单元登记有上述实际坐标的上述制程。另外，本专利技术的坐标校正方法用于校正制程中所登记的上述处理对象在载置台上载置的上述基板上的坐标，其中，使用上述制程在对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，上述坐标校正方法的特征在于，包括实际坐标确定步骤，确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及实际坐标登记步骤，将通过上述实际坐标确定步骤确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。专利技术的效果根据本专利技术，确定载置台上所载置的基板中的处理对象的实际坐标并将该实际坐标登记到制程中，因此能够实现以下一种其能够在减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际坐标的偏差。附图说明图1是表示实施方式的基板检查/测量系统的概要结构的示意图。图2是表示实施方式的基板检查/测量装置的概要结构的外观图。图3是表示实施方式中的输送台上的基板与检查/测量单元之间的关系的概要示意图。图4是表示实施方式的基板检查/测量装置的制程生成动作的概要的流程图。图5是用于说明实施方式的对准校正的概要图。图6是表示实施方式中的模型搜索处理的具体例的流程图。图7是表示实施方式中的外围搜索处理的具体例的流程图。图8是用于说明实施方式中的模型引入处理的图。图9是表示实施方式的基板检查/测量系统的概要结构的示意图。图10是表示实施方式的检查/测量动作的概要的流程图。附图标记说明10、IOA、10B、10C、10D、…基板检查 / 测量装置；11 控制 PC ；Ila 控制部；lib 处理部；lie 存储部；Ild 通信部；12 载置台控制器；13 输送台；L13 检查/测量线； 14 检查/测量单元；14a 构台；15A、15B、· · ·基板搬入搬出部；18 外壳；19 =FFU 风机滤网单元(Fan Filter Units) ； 100 主机 PC ； 110 网络；BL 位线(Bit line) ；WL 字线 (Wordline) ；IG:检查/测量区域；MD 模型；Dl 搬入/搬出方向；D2 长度方向；Mli,Mlr, M2i、M2r 对准标记；Rcp 制程；W、Wi、Wr 基板。具体实施例方式下面，与附图一起对用于实施本专利技术的方式进行详细说明。此外，在下面的说明中，每个附图只不过是在可能理解本专利技术的内容的程度上概要地表示了形状、大小以及位置关系，因而，本专利技术并不仅限定于各图中所例示的形状、大小以及位置关系。另外，在后述中例示的数值不过是本专利技术的优选例，因而，本专利技术并不限定于所例示的数值。(一个实施方式)首先，参照附图详细说明本专利技术的一个实施方式中的处理装置、处理系统、坐标校正方法以及坐标校正程序。此外，在下面的说明中，作为处理装置列举出检查/测量玻璃基板等基板的基板检查/测量装置。但是，并不限定于此，也能够应用以下的执行对基板处理的各种处理装置例如利用激光照射等来修复基板中的缺陷部位的所谓修复装置等。图1是表示本实施方式中的基板检查/测量系统的概要结构的示意图。如图1所示，基板检查/测量系统具备一个以上基板检查/测量装置10A、10B、...(以下，将不需要进行区别时的基板检查/测量装置的符号设为10)；基板搬入搬出部15A、15B、...(以下，将不需要进行区别时的基板搬入搬出部的符号设为15)，其向基板检查/测量装置10A、 IOB,...搬入/搬出基板；网络110，其与一个以上基板检查/测量装置10以及一个以上基板搬入搬出部15相连接；以及主计算机(PC) 100，其与网络110相连接。此外，网络110可以应用局域网(LAN)、因特网、以及专用线路等各种网络。每个基板检查/测量装置10具备输送台13，其输送作为检查/测量对象的基板； 载置台控制器12，其对输送台13进行控制；检查/测量单元14，其在特定位置对输送台13 上的基板进行检查/测量；以及控制计算机(PC) 11，其对载置台控制器12和检查/测量单元14进行控制。控制PC 11具备处理部11b，其处理由检查/测量单元14所获取的检查 /测量结果(例如图像)；存储部11c，其存储图像数据、制程、各种程序以及参数等；通信部 lld，其负责其它基板检查/测量装置10、基板搬入搬出部15以及主机PC 100之间的通信； 以及控制部11a，其执行控制PC 11内的各部的动作、各种处理。在制程中登记表示检查/测量对象(模型)相对于基板的位置的坐标(以下称为检查/测量坐标)、制程登记时的摄像的光量和倍率等信息来作为检查/测量时的参数。该制程例如通过网络110从主机PC 100或其它基板检查/测量装置10发送至各基板检查/ 测量装置10。即，在多个基板检查/测量装置10中制程是共享的。各基板检查/测量装置 10预先将接收到或者获取到的制程存储到存储部Ilc中，根据需要而读出。在此，利用附图来详细说明基板检查/测量装置10的概要结构。图2是表示本实施方式中的基板检查/测量装置的概要结构的外观图。如图2所示，在基板检查/测量装置10中，输送台13被固定在架台16上。架台16例如可以由组合了钢丝材料而形成的框架等构成。不过也可以使用块状的大理石等。另外，在架台16上固定有构台(gantry stage)本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种处理装置，该处理装置根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，上述处理装置的特征在于，具备：实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：菅义明，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP