一种化学气相沉积炉制造技术

本申请公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述进气装置包括有主进气管路、分气器和加热器，所述主进气管路连通所述分气器，所述分气器连通所述炉体内部的炉腔，所述分气器用于向炉腔内均匀分布气流，所述加热器设在所述分气器外部，所述加热器用于对所述分气器加热。本申请提供的化学气相沉积炉，碳源气体从主进气管路进入，并通过分气器进行分散进入炉腔内，分气器可向炉腔底部空间进行均匀布气，同时缓冲气流的速率，使气流可充分与炉腔底部的产品反应，并且在分气器上设置加热器，可对进入的碳源气体进行预热，确保碳源气体在炉腔底部开始充分裂解挥发，能够在底部产品进行沉积反应，从而提高产品的整体沉积效果。

A chemical vapor deposition furnace

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉
本专利技术属于化学气相沉积设备
，具体涉及一种化学气相沉积炉。
技术介绍
炭-炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对炭-炭复合材料产品的质量有了更高的要求。化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭-炭复合材料的工艺方法。现有的化学气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过多路进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。由于现有的沉积炉的这种进气结构，碳源气体从进气管路直接进入沉积室底部的料盘，并以1～3m/s的速度快速进入沉积炉中部的高温区，造成沉积炉最底端的产品温度过低，达不到沉积温度，而且碳源气体迅速通过底部的产品，还未来得及在底部产品上沉积就跑到了中部产品，从而导致沉积炉内底端产品的沉积效果不佳，使得沉积炉内不同位置的产品质量不一致，或者同一个产品上不同部位的质量不一致。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本专利技术的目的在于提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学气相沉积炉，包括炉体(1)和设于所述炉体(1)底部的进气装置，其特征在于，所述进气装置包括有主进气管路(2)、分气器(3)和加热器，所述主进气管路(2)连通所述分气器(3)，所述分气器(3)连通所述炉体(1)内部的炉腔(4)，所述分气器(3)用于向炉腔(4)内均匀分布气流，所述加热器设在所述分气器(3)外部，所述加热器用于对所述分气器(3)加热。

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉，包括炉体(1)和设于所述炉体(1)底部的进气装置，其特征在于，所述进气装置包括有主进气管路(2)、分气器(3)和加热器，所述主进气管路(2)连通所述分气器(3)，所述分气器(3)连通所述炉体(1)内部的炉腔(4)，所述分气器(3)用于向炉腔(4)内均匀分布气流，所述加热器设在所述分气器(3)外部，所述加热器用于对所述分气器(3)加热。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述分气器(3)上至少设有两个分气孔，所述分气孔连通所述主进气管路(2)和炉腔(4)。3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述分气器(3)上的所述分气孔呈蜂窝状分布。4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述分气器(3)由石墨制成，所述加热器为感应线圈(5)，所述感应线圈(5)设置在所述分气器(3)外侧，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡祥龙，戴煜，杨毅成，
申请(专利权)人：湖南顶立科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43