本发明专利技术公开了一种真空保障及尾气处理集成系统，其用于对炉体抽真空和对由炉体排出的尾气进行处理，包括抽真空装置和尾气处理装置；抽真空装置包括一级罗茨泵和二级罗茨泵，二级罗茨泵的一端与炉体相连，一级罗茨泵的一端分别连接有机械泵和液环泵；抽真空装置还包括安装于循环管道上且用于为液环泵降温的冷却循环系统。本发明专利技术还公开了一种真空保障及尾气处理集成系统，包括炉内压力控制方法和尾气处理方法。与现有技术相比，本发明专利技术将抽真空装置和尾气处理装置集成在一起，用于对炉体抽真空和对由炉体排出的尾气进行处理，能同时保证抽真空和尾气处理的效果和效率，保证排出的尾气满足环保的要求。气满足环保的要求。气满足环保的要求。
【技术实现步骤摘要】
一种真空保障及尾气处理集成系统及其使用方法
[0001]本专利技术属于气相沉积设备
，尤其涉及一种真空保障及尾气处理集成系统及其使用方法。
技术介绍
[0002]沉积设备工作时，需要对炉体排出的酸性尾气进行处理。
[0003]现有技术中，采用碱液喷淋装置对尾气进行处理，该方案为相对比较粗犷的尾气处理方案，不能保证排出的尾气满足环保的要求。
技术实现思路
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]基于此，本专利技术提出了一种真空保障及尾气处理集成系统及其使用方法，该专利技术旨在解决现有技术中的采用碱液喷淋装置对尾气进行处理方案存在尾气处理效果不佳的技术问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为解决上述技术问题，本专利技术提出了一种真空保障及尾气处理集成系统，所述真空保障及尾气处理集成系统用于对炉体抽真空和对由炉体排出的尾气进行处理，所述真空保障及尾气处理集成系统包括抽真空装置和尾气处理装置；所述抽真空装置包括串联的一级罗茨泵和二级罗茨泵，所述二级罗茨泵远离所述一级罗茨泵的一端与所述炉体相连，所述一级罗茨泵远离所述二级罗茨泵的一端分别连接有机械泵和液环泵；所述尾气处理装置包括：酸碱中和罐和分别与所述酸碱中和罐连通的混合物进入管道和循环管道，所述酸碱中和罐内设有碱液；其中：所述液环泵泵腔内的介质为碱液；所述液环泵上设有：液环泵进口、液环泵出口和液环泵循环口，所述液环泵进口与二级罗茨泵相连；所述混合物进入管道连接所述液环泵出口和所述酸碱中和罐，所述循环管道连接所述液环泵循环口和所述酸碱中和罐；所述抽真空装置还包括安装于所述循环管道上且用于为所述液环泵降温的冷却循环系统。
[0008]优选的，所述酸碱中和罐包括气体入口和液体入口，所述混合物进入管道的下端分为混合物进入气管和混合物进入液管，所述混合物进入气管与所述气体入口连通，所述混合物进入液管和液体入口连通，所述混合物进入气管伸至所述酸碱中和罐内的碱液液面之下。
[0009]优选的，所述冷却循环系统包括：换热器、冷水机组和温度计，所述换热器安装于所述循环管道上，所述冷水机组与换热器相连，所述温度计设于所述换热器与所述液环泵循环口之间的管路上；所述冷水机组中的水温范围为5
‑
10℃。
[0010]优选的，所述真空保障及尾气处理集成系统还包括连入所述循环管道的清洗进水管，所述清洗进水管上设有清洗进水管手动开关阀；所述混合物进入液管上设有清洗排水管，所述清洗排水管上设有清洗排水管手动开关阀。
[0011]优选的，所述循环管道靠近所述酸碱中和罐的位置设有PH值传感器；所述酸碱中和罐上还设有排气管和排污管，所述排气管上设有排气手动球阀，所述排污管上设有排污手动球阀；所述的循环管道靠近所述酸碱中和罐的一端设有出液手动阀。
[0012]优选的，所述罗茨泵的泵腔镀有耐腐蚀合金，所述耐腐蚀合金为镍合金。
[0013]本专利技术还提供了一种如上述的真空保障及尾气处理集成系统的使用方法，所述真空保障及尾气处理集成系统的使用方法包括炉内压力控制方法和尾气处理方法；所述炉内压力控制方法包括如下步骤：在所述炉体未工作，炉内压力为大气压的情况下，启动所述机械泵，利用所述机械泵对所述炉体抽气，当所述炉体内压力达到第一预设压力时，开始对所述炉体升温；当所述炉体的温度升至预设工艺温度时，向所述炉体内充入工艺充气体；充入工艺充气体10
‑
40分钟后，保持工艺充气体的持续充入，同时关闭所述机械泵，再启动所述液环泵，利用所述液环泵继续对所述炉体抽气；当所述炉体内压力达到第二预设压力时，开启所述一级罗茨泵，通过所述液环泵和一级罗茨泵共同对所述炉体抽气；当所述炉体内压力达到第三预设压力时，开启所述二级罗茨泵，通过所述二级罗茨泵、一级罗茨泵和液环泵共同对所述炉体抽气；所述尾气处理方法包括如下步骤：在所述液环泵开始工作时，所述尾气处理装置同步工作，所述液环泵将所述炉体内的尾气由所述液环泵进口抽入，在所述液环泵内与所述液环泵内的碱液进行一级酸碱中和反应后，由所述液环泵出口排出气液混合物，所述气液混合物排向所述酸碱中和罐中，所述气液混合物与所述酸碱中和罐中的碱液进行二级酸碱中和反应，中和反应后的气体由所述排气管排出，中和反应后的液体经所述液环泵循环口回流至所述液环泵内，所述液环泵工作时，所述冷却循环系统同步工作。
[0014]优选的，所述PH值传感器对中和后的液体进行PH值检测，若中和后的液体的PH值未达到预设的排放要求，则需要向所述酸碱中和罐内补入碱，以实现对所述酸碱中和罐内的酸性物体进行进一步酸碱中和处理，直至PH值达到排放要求。
[0015]优选的，所述第一预设压力为10pa，所述第二预设压力为3000pa，所述第三预设压力为1000pa。
[0016]优选的，所述真空保障及尾气处理集成系统的使用方法还包括液环泵清洗的方法，过程如下：打开所述清洗进水管手动开关阀，由所述清洗进水管经所述冷却循环系统后，向所述液环泵的液环泵循环口引入清洗水，经所述液环泵后，由所述液环泵出口流出，并经所述清洗排水管排出。
[0017](三)有益效果
[0018]本专利技术与现有技术对比，本专利技术真空保障及尾气处理集成系统的有益效果主要包括：
[0019]本专利技术采用液环泵、机械泵、一级罗茨泵和二级罗茨泵形成真空泵组，既能保证对炉体抽真空的效率和效果，又能增加一道酸碱中和工序，提高尾气处理效果。采用本专利技术的结构，在液环泵将炉体的尾气抽至酸碱中和罐前，就对尾气进行了一道酸碱中和反应。由液环泵流出的气液混合物进入酸碱中和罐后，会进行第二道酸碱中和反应。采用该结构，实现二道酸碱中和反应，大大提高了废气处理的效果和效率。此外，本专利技术采用酸碱中和罐对尾气进行碱洗的方案代替现有技术的碱液喷淋方案，形成上述的第二道酸碱中和反应工序，进一步提高了酸碱中和的效果。
附图说明
[0020]图1为本专利技术的真空保障及尾气处理集成系统的应用状态示意图。
[0021]图2为本专利技术的真空保障及尾气处理集成系统的整体结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]100.炉体，200.真空保障及尾气处理集成系统。
[0024]1.一级罗茨泵，2.二级罗茨泵，3.机械泵，4.液环泵，5.酸碱中和罐，6.混合物进入管道，7.循环管道，8.换热器，9.冷水机组，10.温度计，11.清洗进水管，12.清洗进水管手动开关阀，13.清洗排水管，14.清洗排水管手动开关阀，15.排气管，16.排污管，17.PH值传感器，18.排气手动球阀，19.排污手动球阀，20.出液手动阀。
[0025]41.液环泵进口，42.液环泵出口，43.液环泵循环口。
[0026]51.气体入口，52.液体入口。
[0027]61.混合物进入气管，62.混合物进入液管。
具体实施方式
[0028]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空保障及尾气处理集成系统，其特征在于，所述真空保障及尾气处理集成系统用于对炉体抽真空和对由炉体排出的尾气进行处理，所述真空保障及尾气处理集成系统包括抽真空装置和尾气处理装置；所述抽真空装置包括串联的一级罗茨泵和二级罗茨泵，所述二级罗茨泵远离所述一级罗茨泵的一端与所述炉体相连，所述一级罗茨泵远离所述二级罗茨泵的一端分别连接有机械泵和液环泵；所述尾气处理装置包括：酸碱中和罐和分别与所述酸碱中和罐连通的混合物进入管道和循环管道，所述酸碱中和罐内设有碱液；其中：所述液环泵泵腔内的介质为碱液；所述液环泵上设有：液环泵进口、液环泵出口和液环泵循环口，所述液环泵进口与二级罗茨泵相连；所述混合物进入管道连接所述液环泵出口和所述酸碱中和罐，所述循环管道连接所述液环泵循环口和所述酸碱中和罐；所述抽真空装置还包括安装于所述循环管道上且用于为所述液环泵降温的冷却循环系统。2.根据权利要求1所述的真空保障及尾气处理集成系统，其特征在于，所述酸碱中和罐包括气体入口和液体入口，所述混合物进入管道的下端分为混合物进入气管和混合物进入液管，所述混合物进入气管与所述气体入口连通，所述混合物进入液管和液体入口连通，所述混合物进入气管伸至所述酸碱中和罐内的碱液液面之下。3.根据权利要求2所述的真空保障及尾气处理集成系统，其特征在于，所述冷却循环系统包括：换热器、冷水机组和温度计，所述换热器安装于所述循环管道上，所述冷水机组与换热器相连，所述温度计设于所述换热器与所述液环泵循环口之间的管路上；所述冷水机组中的水温范围为5
‑
10℃。4.根据权利要求3所述的真空保障及尾气处理集成系统，其特征在于，所述真空保障及尾气处理集成系统还包括连入所述循环管道的清洗进水管，所述清洗进水管上设有清洗进水管手动开关阀；所述混合物进入液管上设有清洗排水管，所述清洗排水管上设有清洗排水管手动开关阀。5.根据权利要求4所述的真空保障及尾气处理集成系统，其特征在于，所述循环管道靠近所述酸碱中和罐的位置设有PH值传感器；所述酸碱中和罐上还设有排气管和排污管，所述排气管上设有排气手动球阀，所述排污管上设有排污手动球阀；所述的循环管道靠近所述酸碱中和罐的一端设有出液手动阀。6.根据权利要求5所述的真空保障及尾气处理集成系统，其特征在于，所述罗茨泵的泵腔镀有耐腐蚀合金，所述耐腐蚀合金为镍合金。7.一种如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴煜，胡祥龙，周岳兵，魏巍，王艳艳，
申请(专利权)人：湖南顶立科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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