下载一种真空保障及尾气处理集成系统及其使用方法的技术资料

文档序号:35423779

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本发明公开了一种真空保障及尾气处理集成系统,其用于对炉体抽真空和对由炉体排出的尾气进行处理,包括抽真空装置和尾气处理装置;抽真空装置包括一级罗茨泵和二级罗茨泵,二级罗茨泵的一端与炉体相连,一级罗茨泵的一端分别连接有机械泵和液环泵;抽真空装置...
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