一种真空设备用可伸缩气体源装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环上；外部气体连接管，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通；电极导入装置，与伸缩管相对于固定座异侧布置。本发明专利技术装置用以在高真空环境中进行反应，生长过程的原位观测，同时本发明专利技术提出一种利用脉冲局域的气体供应，可以在脉冲停止的时间窗口获得较好的真空度，从而可以利用该窗口来获得样品信息。

A retractable gas source device for vacuum equipment

The invention provides a scalable gas source device using a vacuum device, which comprises a fixed seat, a high vacuum chamber and vacuum equipment sealing flange is fixedly connected by vacuum capillary; trachea, and the fixed seat connected by a telescopic mechanism; the telescopic mechanism is composed of at least two telescopic tube, spring, pull wire, winding roller, rotary device; micro electric valve, fixed on the ring; the outer gas connecting pipe, relative to the fixed seat arrangement and the opposite side of the telescopic tube, and is connected with the flexible tube; electrode guiding device, relative to the fixed seat opposite arrangement and telescopic tube. The device of the invention used to react in a high vacuum environment, in situ observation of the growth process, at the same time, the invention provides a gas pulse using local supply, can get a better vacuum in the pulse stop time window, which can be obtained by using the sample information window.

【技术实现步骤摘要】
一种真空设备用可伸缩气体源装置
本专利技术应用于超高真空设备中原位局部化学气相沉积
，特别是在原位电子显微领域的观察，比如低能电子显微镜、透射电子显微镜以及其他电子能谱仪等，具体涉及一种真空设备用可伸缩气体源装置。
技术介绍
随着技术的发展，越来越多的高精密物质表征设备被开发了出来。为了提高精度和排除干扰，这些高精密物质表征设备大多工作在高真空环境中，例如透射电子显微镜，低能电子显微镜，电子能谱仪等。这就极大地限制了这些高精密物质表征设备的适用范围，导致这些设备无法对很多的反应，生长过程进行原位观测。东京工业大学于2009年(NaokiShirai,JapaneseJournalofAppliedPhysics，48(2009)036002)曾经开发了一种小孔射流装置来实现常压直流微小等离子体的产生，如图1所示，在该装置中，小孔装置(垂直的厚壁不锈钢管，内径190微米，外径350微米)被连接在气体源上，在气体源和微孔装置中间接入流量控制器来实现对气体流量的调控。微孔装置连接在直流电源的正极上，负极被接到微孔装置正对的液体内的不锈钢电极板上。该装置利用了微孔装置内径较细的特点，通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空设备用可伸缩气体源装置，其特征在于，包括：固定座(10)，与所述真空设备的高真空腔室(14)通过真空密封法兰(13)固接；毛细气管(1)，与固定座通过伸缩机构相连，用于向所述的高真空腔室喷射外部气体源；伸缩机构，由至少两节伸缩管(4)、弹簧(5)、拉伸丝(7)、绕线辊(8)、旋转装置(9)组成，多节所述伸缩管的一端通过圆环(2)与毛细气管密封连接，另一端通过卡套(6)与固定座密封连接，所述弹簧设于伸缩管内，所述拉伸丝设于伸缩管外，一端与圆环相连，另一端自多节伸缩管的远端向近端依次穿过多个卡套后接入绕线辊上，所述绕线辊可转动的设于固定座上，由所述的旋转装置控制其转动；微型电动阀(3)，固...

【技术特征摘要】
1.一种真空设备用可伸缩气体源装置，其特征在于，包括：固定座(10)，与所述真空设备的高真空腔室(14)通过真空密封法兰(13)固接；毛细气管(1)，与固定座通过伸缩机构相连，用于向所述的高真空腔室喷射外部气体源；伸缩机构，由至少两节伸缩管(4)、弹簧(5)、拉伸丝(7)、绕线辊(8)、旋转装置(9)组成，多节所述伸缩管的一端通过圆环(2)与毛细气管密封连接，另一端通过卡套(6)与固定座密封连接，所述弹簧设于伸缩管内，所述拉伸丝设于伸缩管外，一端与圆环相连，另一端自多节伸缩管的远端向近端依次穿过多个卡套后接入绕线辊上，所述绕线辊可转动的设于固定座上，由所述的旋转装置控制其转动；微型电动阀(3)，固定在圆环上，用于毛细气管连通与之相接的伸缩管；外部气体连接管(11)，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通，用于接驳所述的外部气体源；电极导入装置(12)，与伸缩管相对于固定座异侧布置，用于接驳外部电源。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昕，史浩飞，杨小东，唐文新，
申请(专利权)人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院，重庆大学，
类型：发明
国别省市：重庆,50