柔性基板及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性基板，包括二层柔性基底，在二层柔性基底之间设有至少一层由氧化硅和非晶硅构成的叠层材料。本发明专利技术还公开了一种柔性基板的制作方法，包括如下步骤：步骤一、制作一层第一柔性基底；步骤二、在第一柔性基底上制作至少一层由氧化硅和非晶硅构成的叠层材料；步骤三、对叠层材料进行一次去氢处理；步骤四、在叠层材料上再制作一层第二柔性基底，得到柔性基板。与现有技术相比，通过设置两层柔性基底以及在柔性基底之间设置叠层材料，能够提高多次弯折的稳定性；在制作完叠层材料后对叠层材料进行去氢处理，能够减少柔性基板在后端制程中缺陷的产生。

Flexible substrate and its fabrication method

【技术实现步骤摘要】
柔性基板及其制作方法
本专利技术涉及一种显示面板生产技术，特别是一种柔性基板及其制作方法。
技术介绍
柔性显示是一种基于柔性基底形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此具有广阔的应用前景和良好的市场潜力。目前，可用于柔性显示基底材料有超薄玻璃、塑料薄膜以及金属箔片等。聚酰亚胺(PI)是一类具有酰亚胺重复单元的聚合物，具有适用温度广、耐化学腐蚀、高强度、高绝缘等优点。PI作为一种特种工程材料，已广泛应用在航空、航天、微电子等领域。目前PI作为柔性基底材料已经成功的应用到一些柔性显示电子产品上。柔性显示基板是柔性OLED显示装置的一大难点，更是一项关键技术。柔性显示基板在后段制程的稳定性有利于大大提升array良率，柔性显示装置的弯折性最主要依赖于柔性基板的设计，包括柔性基板的材料、柔性基板的结构等，如何能够保证后端制程的稳定性，是一个有待解决的问题。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种柔性基板及其制作方法，解决现有的柔性基板与薄膜晶体管器件层之间应力失配的问题，同时提高了柔性基板多次弯折的稳定性。本专利技术提供了一种柔性基板，包括二层柔性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性基板，其特征在于：包括二层柔性基底(1)，在二层柔性基底(1)之间设有至少一层由氧化硅和非晶硅构成的叠层材料(2)。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板，其特征在于：包括二层柔性基底(1)，在二层柔性基底(1)之间设有至少一层由氧化硅和非晶硅构成的叠层材料(2)。2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于：所述柔性基底(1)的材料为聚酰亚胺。3.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于：所述叠层材料(2)中非晶硅设于氧化硅之上。4.根据权利要求1-3任意一项所述的柔性基板，其特征在于：二层柔性基底(1)的厚度不相同。5.一种柔性基板的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一、制作第一柔性基底(11)；步骤二、在第一柔性基底(11)上制作至少一层由氧化硅和非晶硅构成的叠层材料(2)；步骤三、对叠层材料(2)进行一次去氢处理；步骤四、在叠层材料(2)上再制作第二柔性基底(12)，得到柔性基板。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁博，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42