一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备制造技术

一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，包括镀膜设备和后期处理设备；所述镀膜设备包括镀膜机体壳，镀膜机体壳内通过隔板分割之后，由上至下形成前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室；在镀膜机体壳内还设有绕卷装置和冷却装置，其中绕卷装置贯穿前处理室和磁控溅射室；所述磁控溅射室内设有磁控溅射靶装置，所述蒸镀室内设有蒸发装置；所述前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室均外接有一个抽真空装置；所述后期处理设备包括放料装置、前处理槽、第一级电镀铜槽、第二级电镀铜槽、水洗槽、抗氧化处理槽、烘干箱、收料装置。本实用新型专利技术能有效的提高到导电膜层的附着力，满足高附着力要求产品的需要，实现了磁控溅射镀膜与蒸发镀膜有机结合。

【技术实现步骤摘要】
一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备
本技术涉及电子行业领域，特别是一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备。
技术介绍
柔性线路板材料的生产方法有溅镀法、涂布法、层压法等多种方法，其中磁控溅镀法和蒸镀法是公认的环保绿色生产导电带的方法。蒸镀法生产导电带效率很高但金属附着力较差，有些产品不能满足使用要求；溅射法生产导电带金属附着力好但生产效率低，有时还需要进行金属层电镀增厚才能达到要求。随着科技的不断发展，单一的蒸镀法或磁控溅射法已经无法满足实际生产的要求。技术专利CN201420841569.6公开了一种磁控溅射电子束蒸镀系统，将磁控溅射和电子束蒸镀联合使用，有效地提高了研究人员的生产科研效率。但是，此技术仅适用于科学研究或镀膜样品的生产，无法规模化大批量生产，不能满足社会生产的要求。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种可以高效率规模化生产，同时产品质量有保障的低轮廓柔性线路板材料的生产设备。一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，包括镀膜设备和后期处理设备；所述镀膜设备包括镀膜机体壳，镀膜机体壳内通过隔板分割之后，由上至下形成前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室；在镀膜机体壳内还设有绕卷装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：包括镀膜设备和后期处理设备；所述镀膜设备包括镀膜机体壳，镀膜机体壳内通过隔板分割之后，由上至下形成前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室；在镀膜机体壳内还设有绕卷装置和冷却装置，其中绕卷装置贯穿前处理室和磁控溅射室；所述磁控溅射室内设有磁控溅射靶装置，所述蒸镀室内设有蒸发装置；所述前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室均外接有一个抽真空装置；所述后期处理设备包括放料装置、前处理槽、第一级电镀铜槽、第二级电镀铜槽、水洗槽、抗氧化处理槽、烘干箱、收料装置。

【技术特征摘要】
1.一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：包括镀膜设备和后期处理设备；所述镀膜设备包括镀膜机体壳，镀膜机体壳内通过隔板分割之后，由上至下形成前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室；在镀膜机体壳内还设有绕卷装置和冷却装置，其中绕卷装置贯穿前处理室和磁控溅射室；所述磁控溅射室内设有磁控溅射靶装置，所述蒸镀室内设有蒸发装置；所述前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室均外接有一个抽真空装置；所述后期处理设备包括放料装置、前处理槽、第一级电镀铜槽、第二级电镀铜槽、水洗槽、抗氧化处理槽、烘干箱、收料装置。2.如权利要求1所述的一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张燕聪，张燕华，陈昌服，
申请(专利权)人：福建新嵛高新柔性材料有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35