尾气热量回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种尾气热量回收系统，涉及多晶硅加工技术领域，主要目的是提供一种能够回收还原炉的尾气所产生的热量的尾气热量回收系统。本实用新型专利技术的主要技术方案为：一种尾气热量回收系统，该系统包括：还原炉，还原炉用于产生尾气；缓冲罐，缓冲罐连接于还原炉，用于收集还原炉产生的尾气；换热器，换热器包括罐体、进气管、出气管和换热管，进气管的一端连接于缓冲罐，另一端连接于罐体，用于将缓冲罐内的气体通入罐体内，出气管连接于罐体，用于排出气体，换热管连接于罐体，用于将罐体内的气体的热量置换至换热管内的气体中。本实用新型专利技术主要用于回收尾气的热量。

【技术实现步骤摘要】
尾气热量回收系统
本技术涉及多晶硅加工
，尤其涉及一种尾气热量回收系统。
技术介绍
随着国内外电子信息产业的飞速发展和对新能源的巨大需求，多晶硅产品市场一直方兴未艾。在多晶硅生产工艺中，还原炉能够依靠电能将硅芯加热到1000度以上，从而产生大量的热能。现有的还原炉中，也考虑到将该热能利用，并且已经加入了进行热量回收的单元，例如在还原炉的炉筒和底盘位置增加回水系统，将冷水与热量进行热交换得到热水，并将热水运用到其他的生产过程中，经过回水系统冷却后的尾气的温度在140度左右，但是，还原炉产生的尾气中的氯硅烷组分较多，包括四氯化硅，二氯二氢硅，三滤氢硅，氯化氢等，以上物质的物理性质主要是凝点各不相同，使得还原炉的回水系统不能把尾气温度降得更低，否则会有冷凝液体出现，并堵塞管线，造成还原炉损坏。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供一种尾气热量回收系统，主要目的是提供一种能够回收还原炉的尾气所产生的热量的尾气热量回收系统。为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：本技术实施例提供了一种尾气热量回收系统，该系统包括：还原炉，还原炉用于产生尾气；缓冲罐，缓冲罐连接于还原炉，用于收集还原炉产生的尾气；换热器，换热器包括罐体、进气管、出气管和换热管，进气管的一端连接于缓冲罐，另一端连接于罐体，用于将缓冲罐内的气体通入罐体内，出气管连接于罐体，用于排出气体，换热管连接于罐体，用于将罐体内的气体的热量置换至换热管内的气体中。优选地，吸附器，吸附器的一端连接于输入装置，另一端连接于换热管的一端，用于将输入装置输入的氢气进行过滤，并通入换热管中。优选地，换热管的另一端连接于还原炉，用于向还原炉通入换热后的气体。优选地，冷凝器，冷凝器连接于出气管，用于冷凝出气管排出的气体。优选地，过滤器，过滤器设置在缓冲罐内，用于过滤还原炉的尾气中的杂质。优选地，换热管环绕连接于罐体的内表面。优选地，换热管包括进入管、排出管和多个连接管，进入管和排出管的一端分别穿过罐体，多个连接管设置在罐体内，并且连通进入管和排出管。优选地，相邻的两个连接管为第一连接管和第二连接管，第一连接管和第二连接管之间设置多个连通管，用于连通第一连接管和第二连接管。优选地，第一连接管与第二连接管交叉连接，并且相互连通。与现有技术相比，本技术具有如下技术效果：本技术实施例提供的技术方案中，还原炉在加热硅芯时，会产生大量的热能，热能被回水系统吸收一部分，还原炉所产生的尾气的温度依然处于140度左右，还原炉将高温尾气排入缓冲罐中，高温尾气中较大的颗粒在缓冲罐中进行沉淀，而尾气中的氢气通过进气管进入罐体，换热管通常会通入过滤之后的温度较低的氢气，换气管连接于罐体，尾气中的氢气的热量会通过换热管传递至换热管内的氢气，尾气的温度降低，换热管内的氢气的温度升高，从而完成热交换，现有技术中，采用直接将未处理的尾气排出的处理方式，并且，还原炉产生的尾气中的氯硅烷组分较多，包括四氯化硅，二氯二氢硅，三滤氢硅，氯化氢等，以上物质的物理性质主要是凝点各不相同，使得还原炉的回水系统不能把尾气温度降得更低，否则会有冷凝液体出现，并堵塞管线，造成还原炉损坏，本技术中，通过将高温尾气中较大的颗粒在缓冲罐中进行沉淀，而尾气中的氢气通过进气管进入罐体，换热管通常会通入过滤之后的温度较低的氢气，换气管连接于罐体，尾气中的氢气的热量会通过换热管传递至换热管内的氢气，尾气的温度降低，换热管内的氢气的温度升高，从而完成热交换，进而达到了将尾气中的热量重新利用的技术效果。附图说明图1为本技术实施例提供的一种尾气热量回收系统的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。如图1所示，本技术实施例提供了一种尾气热量回收系统，该系统包括：还原炉1，还原炉1用于产生尾气；缓冲罐2，缓冲罐2连接于还原炉1，用于收集还原炉1产生的尾气；换热器3，换热器3包括罐体31、进气管32、出气管33和换热管34，进气管32的一端连接于缓冲罐2，另一端连接于罐体31，用于将缓冲罐2内的气体通入罐体31内，出气管33连接于罐体31，用于排出气体，换热管34连接于罐体31，用于将罐体31内的气体的热量置换至换热管34内的气体中。本技术实施例提供的技术方案中，还原炉1在加热硅芯时，会产生大量的热能，热能被回水系统吸收一部分，还原炉1所产生的尾气的温度依然处于140度左右，还原炉1将高温尾气排入缓冲罐2中，高温尾气中较大的颗粒在缓冲罐2中进行沉淀，而尾气中的氢气通过进气管32进入罐体31，换热管34通常会通入过滤之后的温度较低的氢气，换气管连接于罐体31，尾气中的氢气的热量会通过换热管34传递至换热管34内的氢气，尾气的温度降低，换热管34内的氢气的温度升高，从而完成热交换，现有技术中，采用直接将未处理的尾气排出的处理方式，并且，还原炉1产生的尾气中的氯硅烷组分较多，包括四氯化硅，二氯二氢硅，三滤氢硅，氯化氢等，以上物质的物理性质主要是凝点各不相同，使得还原炉1的回水系统不能把尾气温度降得更低，否则会有冷凝液体出现，并堵塞管线，造成还原炉1损坏，本技术中，通过将高温尾气中较大的颗粒在缓冲罐2中进行沉淀，而尾气中的氢气通过进气管32进入罐体31，换热管34通常会通入过滤之后的温度较低的氢气，换气管连接于罐体31，尾气中的氢气的热量会通过换热管34传递至换热管34内的氢气，尾气的温度降低，换热管34内的氢气的温度升高，从而完成热交换，进而达到了将尾气中的热量重新利用的技术效果。上述还原炉1在多晶硅的生产过程中会产生尾气，尾气的热量约为1000度至1100度，还原炉1的回水系统将尾气的温度降低至140度左右，通过尾气中含有四氯化硅、二氯二氢硅、三滤氢硅或氯化氢等，将尾气通入缓冲罐2中，尾气中的四氯化硅、二氯二氢硅、三滤氢硅或氯化氢等颗粒会在缓冲罐2中进行沉积，尾气中的氢气会通过换热器3的进气管32进入到罐体31中，换热管34中被通入温度较低的氢气，换热管34中的氢气与罐体31中的氢气进行热量交换，换热管34中的氢气的温度上升，罐体31中的氢气的温度下降，从而完成热交换，进而达到了将尾气中的热量重新利用的技术效果。进一步的，如图1所示，增加吸附器4，吸附器4的一端连接于输入装置9，另一端连接于换热管34的一端，用于将输入装置9输入的氢气进行过滤，并通入换热管34中。本实施例中，增加了吸附器4，吸附器4的作用是将准备进入换热管34中的氢气内的微量杂质进行吸附，输入装置9中存储含有微量杂质的氢气，需要使用输入装置9中的氢气时，先将氢气通入吸附器4，吸附器4将氢气中的杂质进行吸附和过滤，再通入换热管34中，从而达到将氢气过滤的技术效果。进一步的，如图1所示，换热管34的另一端连接于还原炉1，用于向还原炉1通入换热后的气体。本实施例中，进一步限定了换热管34，将换热管34的另一端与还原炉1相连接，通过吸附器4过滤后的氢气进入换热管34，换热管34将温度较低的氢气通过热交换进行加热，然后再通入还原炉1内参加气相沉积化学反应，用于产出多晶硅材料，从而达到利用尾气的热量加热氢气的技术效果。进一步的，如图1所示，增加冷凝器5，冷凝器5连接于出气管33，用于冷凝出气管33本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种尾气热量回收系统，其特征在于，包括：还原炉，所述还原炉用于产生尾气；缓冲罐，所述缓冲罐连接于还原炉，用于收集所述还原炉产生的尾气；换热器，所述换热器包括罐体、进气管、出气管和换热管，所述进气管的一端连接于所述缓冲罐，另一端连接于所述罐体，用于将所述缓冲罐内的气体通入所述罐体内，所述出气管连接于所述罐体，用于排出气体，所述换热管连接于所述罐体，用于将所述罐体内的气体的热量置换至所述换热管内的气体中。

【技术特征摘要】
1.一种尾气热量回收系统，其特征在于，包括：还原炉，所述还原炉用于产生尾气；缓冲罐，所述缓冲罐连接于还原炉，用于收集所述还原炉产生的尾气；换热器，所述换热器包括罐体、进气管、出气管和换热管，所述进气管的一端连接于所述缓冲罐，另一端连接于所述罐体，用于将所述缓冲罐内的气体通入所述罐体内，所述出气管连接于所述罐体，用于排出气体，所述换热管连接于所述罐体，用于将所述罐体内的气体的热量置换至所述换热管内的气体中。2.根据权利要求1所述的尾气热量回收系统，其特征在于，还包括：吸附器，所述吸附器的一端连接于输入装置，另一端连接于所述换热管的一端，用于将所述输入装置输入的氢气进行过滤，并通入所述换热管中。3.根据权利要求2所述的尾气热量回收系统，其特征在于，所述换热管的另一端连接于所述还原炉，用于向所述还原炉通入换热后的气体。4.根据权利要求1所述的尾气热量回收系统，其特征在于，还包括：冷凝器，所述冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟平，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆,65