多晶硅还原炉水冷却系统技术方案

本技术公开了一种多晶硅还原炉水冷却系统，涉及多晶硅还原炉技术领域，主要目的是节省拆棒流程中的硅棒自然冷却的时间。本技术的主要技术方案为：多晶硅还原炉水冷却系统，包括：第一进水管的一端连接于闪蒸罐的下端，另一端连接于还原炉钟罩夹套的下端进口，第一回水管的一端连接于还原炉钟罩夹套的上端出口，另一端连接于闪蒸罐的上端；第一水罐的下端连接于电极夹套进口，第二进水管连通于第一换热器，电极夹套出口连接于第二回水管的一端，第二回水管的另一端连接于第一水罐的上端；第二水罐的下端连接于还原炉钟罩夹套的下端进口，第三进水管连通于第二换热器的第一空间，还原炉钟罩夹套的上端出口连接于第二水罐的上端。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅还原炉，尤其涉及一种多晶硅还原炉水冷却系统。

技术介绍

1、多晶硅主要应用在太阳能光伏及电子通讯产品领域中，近年来，随着我国经济的不断发展太阳能光伏及电子通讯产品的市场迅速扩张，而多晶硅作为太阳能光伏及电子通讯产品的核心原材料，其需求也随之增加。现有多晶硅生产系统中，还原系统作为多晶硅生产过程中的重要一环，其运行效率是影响多晶硅产量的直接因素。

2、国内的多晶硅生产企业中，80％以上采用“改良西门子法”工艺，通过“改良西门子法”生产多晶硅时，三氯氢硅和氢气经过一定的配比混合后经过管道通过底盘喷嘴喷入还原炉中，在1080℃-1200℃、6bar条件下发生气相化学沉积反应，三氯氢硅还原后在通电的硅芯上沉积形成多晶硅棒。待多晶硅棒生长达到产品要求后，电极停电，对还原炉进行冷却，待多晶硅棒温度降到80℃以下时进行拆棒操作。

3、目前，大部分还原炉冷却系统中，还原炉钟罩用110-150℃的高温水进行冷却，底盘用80-100℃的热水进行冷却，电极用30-50℃的中温水进行冷却。在还原炉反应阶段，高温水将钟罩热量带走后通过高温水闪本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多晶硅还原炉水冷却系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉水冷却系统，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉水冷却系统，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉水冷却系统，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种多晶硅还原炉水冷却系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉水冷却系统，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志威，高明，秦征宇，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：

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