一种回收新鲜料系统重杂的装置制造方法及图纸

本技术公开了一种回收新鲜料系统重杂的装置，涉及多晶硅生产设备技术领域。本技术的主要技术方案为：一种回收新鲜料系统重杂的装置，通过将氧硅烷和氯硅烷的混合物以及新鲜料系统产生的重杂输入精馏塔中，液相氧硅烷与气相重杂形成逆流并相互传质传热，分离出重组分氧硅烷和轻组分氯硅烷，重组分氧硅烷进入塔釜，轻组分氯硅烷冷却后采出回收，不仅能够对高沸裂解剩余氧硅烷中夹杂的氯硅烷进行回收，还能够利用氧硅烷除去重杂中的络合物，从而达到对氯硅烷进行回收，进而达到节约能源和提高原料利用率的技术效果。本技术主要用于分离氯硅烷。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产设备，尤其涉及一种回收新鲜料系统重杂的装置。

技术介绍

1、采用西门子法生产多晶硅工艺的过程中，会产生副产物氧硅烷，氧硅烷和乙硅烷沸点相近，高沸裂解硅烷过程中，氧硅烷混入其中无法裂解，会逐步聚集，达到一定程度后将会影响高沸裂解反应，定期消除氧硅烷是满足高沸裂解反应的必要条件。

2、生产多晶硅工艺过程中，三氯氢硅的分离提纯是极为关键的工序，直接决定了生产的多晶硅质量等级，目前的生产过程中都采用精馏的方法对三氯氢硅进行分离提纯，有的在流程中加入一些吸附除杂装置，进一步去除一些难于通过精馏除去的轻组分微量杂质，对浓缩重杂质直接进行水解。

3、现有技术中，对于氧硅烷和氯硅烷的混合物以及浓缩的重杂的处理方式主要采用定期水解，定期水解能够有效的处理氧硅烷和氯硅烷的混合物以及浓缩的重杂中的络合物，但是，这样的方式会导致产量损失，同时，水解还会造成水资源的浪费，以年产4.5万吨多晶硅为例，新鲜料系统每小时产生重杂1.2t直接水解，导致产量损失，对每小时产生300kg的氧硅烷进行水解，每小时将有300kg的氯硅烷伴随氧硅烷带出参与本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种回收新鲜料系统重杂的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括：

【技术特征摘要】

1.一种回收新鲜料系统重杂的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：<...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘飞，牛刚，李鹏，畅强强，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：