超重力化学沉积管内薄膜制备方法及其所需的系统技术方案

本发明专利技术公开了一种超重力化学沉积管内薄膜制备方法，包括以下步骤：使用雾化装置进行金属有机络合物气溶胶的制备；使用定位装置将化学沉积管夹紧，并使化学沉积管固定在支撑装置上；开启调速装置，使化学沉积管旋转形成超重力；将金属有机络合物气溶胶导入化学沉积管内，使用加热装置对化学沉积管进行加热；本发明专利技术的有益效果是：将化学沉积管沿轴线高速旋转产生超重力；并利用此力同时进行热处理，以促使成膜过程中所析出微粒沉降到化学沉积管内壁面，可实现小管径化学沉积管内壁面上的薄膜制备；加热装置可促使成膜过程中析出微粒加速沉降，以及溶剂的挥发，使成膜更均匀，有利于制备膜厚更薄的薄膜，可调控制备的薄膜厚度。

【技术实现步骤摘要】
超重力化学沉积管内薄膜制备方法及系统
本专利技术属于特殊薄膜制备
，具体涉及一种超重力化学液相沉积管内薄膜制备方法及系统。
技术介绍
管状工件内壁面镀膜技术目前一般采用物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)和电镀法等多种镀膜方法。但这些方法仍存在许多技术难题，例如，受到管件形状和直径尺寸的限制，普通镀膜方法很难实施，即使能实施也难以达到良好的镀膜效果，尤其是长径比大的管件。另外，普通镀膜方法的镀膜介质很难进入管件内部，即使能进入也难以保证镀膜层的均匀性。此外，镀膜层与管件内壁面的结合强度不高，也给薄膜制备增加了许多难度。液相沉积法(LiquidPhaseDeposition，LPD)是从溶液中析出晶体的过程，在旋转化学沉积管内壁面上很容易形成一层厚度均匀的液膜，避免了化学沉积管形状和直径尺寸的限制。这种制备过程比较简单、成本低、重现性好、可制备薄膜种类多。此外，液相沉积法还可以原位对前驱体薄膜在各种气氛中进行热、光照、掺杂等后处理，使薄膜功能化。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种超重力化学液相沉积管内薄膜制备方法及其系统，解决了长径比大的管件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超重力化学沉积管内薄膜制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、使用雾化装置进行金属有机络合物气溶胶的制备；S2、使用定位装置将化学沉积管夹紧，并使化学沉积管固定在支撑装置上；S3、开启调速装置，使化学沉积管旋转形成超重力；S4、将金属有机络合物气溶胶导入化学沉积管内，使用加热装置对化学沉积管进行加热。

【技术特征摘要】
1.一种超重力化学沉积管内薄膜制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、使用雾化装置进行金属有机络合物气溶胶的制备；S2、使用定位装置将化学沉积管夹紧，并使化学沉积管固定在支撑装置上；S3、开启调速装置，使化学沉积管旋转形成超重力；S4、将金属有机络合物气溶胶导入化学沉积管内，使用加热装置对化学沉积管进行加热。2.根据权利要求1所述的超重力化学沉积管内薄膜制备方法，其特征在于：所述金属有机络合物气溶胶的制备方法为：以柠檬酸银(C6H5Ag3O7)为导电金属前驱化合物，乙二醇单甲醚(C3H8O2)为保护性溶剂，单乙醇胺(C2H7NO)为络合剂，配置成无颗粒型有机Ag溶胶。3.根据权利要求1所述的超重力化学沉积管内薄膜制备方法，其特征在于：所述步骤S4后还包括以下步骤：S41：使用隔膜泵将化学沉积管中未沉降的气体进行过滤抽出。4.根据权利要求2所述的超重力化学沉积管内薄膜制备方法，其特征在于：所述步骤S1包括以下步骤：S11、在制备装置中配置无颗粒型金属有机溶胶；S12、在雾化器中采用氮气雾化金属有机溶胶来制备气溶胶。5.根据权利要求4所述的超重力化学沉积管内薄膜制备方法，其特征在于：步骤S11中，在制备装置中配置无颗粒型金属有机溶胶的工艺具体为：1)在室温下，首先将摩尔比为3：1的硝酸银粉末、柠檬酸钠粉末，分别溶解于去离子水中并搅拌形成溶液；然后把硝酸银溶液以适当速率，逐滴添加到柠檬酸钠溶液中，溶液中将马上出现白色沉淀；最后以600r/min搅拌30min；2)待完全反应后，利用真空过滤器进行过滤，选用乙醇、去离子水多次洗涤沉淀。将沉淀置于40℃恒温干燥箱中干燥5h，得到柠檬酸银白色粉末；3)将C3H8O2和C2H7NO混合，放置于5℃精密低温恒温槽中，低速搅拌5min；然后缓慢加入C6H5Ag3O7白色粉末，并保持搅拌；最后将配制好的溶液5℃搅拌1h，得到无颗粒型有机Ag溶液。6.如权利要求1-5任意一项所述的超重力化学沉积管内薄膜制备方法的系统，其特征在于：包括用于夹紧化...

【专利技术属性】
技术研发人员：申玉宽，何振辉，张兴斌，祁新梅，王莉，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：广东,44