下载超重力化学沉积管内薄膜制备方法及其所需的系统的技术资料

文档序号:17297816

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本发明公开了一种超重力化学沉积管内薄膜制备方法,包括以下步骤:使用雾化装置进行金属有机络合物气溶胶的制备;使用定位装置将化学沉积管夹紧,并使化学沉积管固定在支撑装置上;开启调速装置,使化学沉积管旋转形成超重力;将金属有机络合物气溶胶导入化学...
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