显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置。该显示基板包括：基板；薄膜晶体管，设置在基板的第一表面，且包括电极和绝缘层，该绝缘层覆盖所述电极；其中，绝缘层远离电极的表面形成有凹槽，该凹槽的底壁在基板上的正投影与电极在基板上的正投影重叠。本发明专利技术所提出的显示基板，其电极远离基板的绝缘层表面被平整化，从而可使后续形成的各层结构具有更好的平整性，进而能够改善显示基板弯曲时容易出现断层、断裂等问题。

Display substrate and its making method, display panel and display device

The invention provides a display substrate and a method for making a display plate, a display panel and a display device. The display substrate includes a substrate; a thin film transistor is arranged on the first surface of the substrate, and includes the electrode and the insulating layer, the insulating layer covers the electrode; wherein, the insulating surface layer away from the electrode groove is formed, the orthographic projection orthographic projection and the bottom wall of the groove of the electrode on the substrate on the substrate overlap. The surface of the display substrate is smoothed away from the substrate insulation layer, so that the subsequent formation of each layer structure has better flatness, and further improves the problems of fault and fracture when the display substrate is bent.

【技术实现步骤摘要】
显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置
本专利技术涉及显示
，具体的，本专利技术涉及显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置。
技术介绍
柔性显示技术是近些年来发展起来的新兴技术，表现为有机发光二极管(OLED)显示技术。相比传统的液晶显示，OLED技术具有良好的柔韧性，其工艺条件能够满足柔性基板的需求。随着柔性显示的大力发展，随着而来的是一系列柔性材料得到了人们的重视，具有代表性的有：有机材料、聚噻吩材料、液态金属、碳基柔性材料等。目前的液晶显示技术中，一般先在基板的一侧溅射形成栅极，再沉积一层厚度均匀的栅绝缘层，这使得栅绝缘层在栅极对应的位置会出现台阶结构(其高度差为300～500nm)，从而使后续沉积形成的各个层结构的平整性都不佳，而这些过大的高度断差使得柔性显示基板容易发生金属走线断裂、膜层断层的问题。因此，现阶段柔性显示技术的结构设计仍有待改进。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。本专利技术是基于专利技术人的下列发现而完成的：本专利技术人在研究过程中发现，现有的底栅结构会存在300～500nm高的台阶结构，从而使得后续各层(栅绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板，其特征在于，包括：基板；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管设置在所述基板的第一表面，且包括电极和绝缘层，所述绝缘层覆盖所述电极；其中，所述绝缘层远离所述电极的表面形成有凹槽，所述凹槽的底壁在所述基板上的正投影与所述电极在所述基板上的正投影重叠。

【技术特征摘要】
1.一种显示基板，其特征在于，包括：基板；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管设置在所述基板的第一表面，且包括电极和绝缘层，所述绝缘层覆盖所述电极；其中，所述绝缘层远离所述电极的表面形成有凹槽，所述凹槽的底壁在所述基板上的正投影与所述电极在所述基板上的正投影重叠。2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述凹槽的深度不超过200nm。3.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述基板为柔性基板。4.根据权利要求1或2所述的显示基板，其特征在于，所述绝缘层包括：第一绝缘层，所述第一绝缘层上设置有沟槽，所述电极设置在所述沟槽中，且所述电极的高度不大于所述沟槽的深度；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述第一绝缘层远离所述基板的一侧，且覆盖所述电极和所述第一绝缘层，所述第二绝缘层远离所述第一绝缘层的表面形成有所述凹槽。5.根据权利要求4所述的显示基板，其特征在于，所述电极的材料包括液态金属。6.根据权利要求5所述的显示基板，其特征在于，所述液态金属包括选自铜铝合金、铜银合金、镓铟锡合金和铟铋合金中的至少一种。7.根据权利要求1或2所述的显示基板，其特征在于，所述电极为栅极，所述栅极设置在所述基板的第一表面上；所述绝缘层为栅绝缘层，且所述栅绝缘层包括：第一栅绝缘层，所述第一栅绝缘层设置在所述基板的第一表面，且具有第一沟槽，所述栅极设置在所述第一沟槽中，并且所述栅极的高度不大于所述第一沟槽的深度；第二栅绝缘层，所述第二栅绝缘层覆盖所述栅极和所述第一栅绝缘层，且所述第二栅绝缘层远离所述第一栅绝缘层的表面形成有所述凹槽。8.根据权利要求1或2所述的显示基板，其特征在于，所述电极为源极和漏极；所述绝缘层为保护层，且所述保护层包括：第一保护层，所述第一保护层具有第二沟槽和第三沟槽，所述第二沟槽与所述第三沟槽之间设置有间隔，且所述源极设置在所述第二沟槽中，所述漏极设置在所述第三沟槽中，并且所述源极的高度不大于所述第二沟槽的深...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔宁，赛加坐，李砚秋，喻娟，
申请(专利权)人：北京京东方显示技术有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11